Đầu vòi hoa sen phủ than chì CVD Silicon Carbide(SiC)

Các tính năng chính

• Độ tinh khiết cực cao – Lớp phủ SiC bịt kín hoàn toàn than chì, do đó không thoát khí hoặc nhiễm bẩn kim loại.

• Phân phối khí tuyệt vời – Mỗi đầu vòi hoa sen được gia công để cung cấp tốc độ khí ổn định trên toàn bộ tấm bán dẫn.

• Khả năng chống ăn mòn vượt trội – CVD SiC không phản ứng với halogen hoặc cặn xử lý. Nó tồn tại lâu hơn nhiều so với than chì hoặc thạch anh trần.

• Hiệu suất nhiệt vượt trội – Lớp phủ phù hợp chặt chẽ với sự giãn nở nhiệt của than chì, do đó không bị nứt khi tăng nhiệt độ nhanh.

• Sản xuất chính xác – Chúng tôi sử dụng gia công CNC và phủ CVD nội bộ. Đường kính lỗ và mẫu được giữ ở mức dung sai chặt chẽ.

Thông số kỹ thuật

Ứng dụng

Những vòi hoa sen này được sử dụng trong:

• Hệ thống CVD bán dẫn (cả sản xuất và R&D)

• Thiết bị PECVD – chất điện môi nhiệt độ thấp

• Lò phản ứng MOCVD – Hợp chất III‑V như GaN, InP

• Epitaxy silicon (Si Epi) – dùng cho thiết bị điện và CMOS

• SiC epitaxy – điện tử công suất cao áp

• Nhà máy bán dẫn phức hợp

• Đóng gói tiên tiến (ví dụ: lắng đọng lớp lót TSV)

• Bất kỳ dụng cụ màng mỏng nào cần bộ phân phối khí có độ tinh khiết cao, chống ăn mòn

Tại sao chọn VETEK?

• Chúng tôi không phải là công ty thương mại. Mọi thứ – từ gia công than chì đến lớp phủ CVD SiC cuối cùng – đều được thực hiện tại nhà. Điều đó có nghĩa là chúng tôi kiểm soát chất lượng, thời gian thực hiện và chi phí.

• Hoàn thiện quá trình sản xuất nội bộ – không có bất ngờ khi thuê ngoài

• Công nghệ phủ tiên tiến – SiC CVD dày đặc, không có lỗ kim

• Hỗ trợ kỹ thuật tùy chỉnh – gửi cho chúng tôi bản vẽ vòi hoa sen của bạn hoặc chỉ mô hình lò phản ứng

• Chuỗi cung ứng chất bán dẫn đáng tin cậy – chúng tôi đã cung cấp cho các nhà máy và OEM trong nhiều năm

• Bạn không cần phải xác nhận lại thiết kế mới mỗi lần. Chúng tôi đã phủ đầu vòi hoa sen cho nhiều nền tảng phổ biến (AMAT, TEL, LAM, ASM, v.v.).