Chất bán dẫn VeTek là nhà sản xuất vật liệu phủ Tantalum Carbide hàng đầu cho ngành bán dẫn. Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm các bộ phận phủ cacbua tantalum CVD, các bộ phận phủ TaC thiêu kết để phát triển tinh thể SiC hoặc quy trình epit Wax bán dẫn. Đạt tiêu chuẩn ISO9001, VeTek Semiconductor có khả năng kiểm soát tốt về chất lượng. VeTek Semiconductor nỗ lực trở thành nhà đổi mới trong ngành phủ Tantalum cacbua thông qua nghiên cứu và phát triển liên tục các công nghệ lặp lại.
Các sản phẩm chính là Vòng dẫn hướng được phủ TaC, Vòng dẫn hướng ba cánh được phủ CVD TaC, Halfmoon được phủ Tantalum Carbide TaC, Chất nhạy cảm epiticular SiC phủ CVD TaC, Vòng phủ Tantalum cacbua, Than chì xốp được phủ Tantalum cacbua, Chất cảm biến xoay lớp phủ TaC, Vòng cacbua Tantalum, Tấm xoay lớp phủ TaC, Chất nhạy cảm wafer được phủ TaC, Vòng làm lệch lớp phủ TaC, CVD Vỏ phủ TaC, Chuck tráng TaC, v.v., độ tinh khiết dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng.
Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền. Ưu điểm được thể hiện trong hình dưới đây:
Lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đã thu hút được sự chú ý nhờ điểm nóng chảy cao lên tới 3880°C, độ bền cơ học, độ cứng và khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời, khiến nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn cho các quy trình epit Wax bán dẫn hỗn hợp có yêu cầu nhiệt độ cao hơn, chẳng hạn như hệ thống Aixtron MOCVD và quy trình epit Wax LPE SiC. Nó cũng có ứng dụng rộng rãi trong quy trình tăng trưởng tinh thể SiC theo phương pháp PVT.
Các tính năng chính
● Độ ổn định nhiệt độ lên tới 2500°C với khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời.
● Độ tinh khiết cực cao (<5ppm) và độ bám dính mạnh với than chì giúp giảm thiểu việc tạo ra hạt.
● Khả năng chống lại hơi H₂, NH₃, SiH₄ và Si vượt trội trong môi trường xử lý khắc nghiệt.
● Lớp phủ phủ phù hợp với khả năng kích thước có đường kính lên tới 750mm, chỉ có ở Trung Quốc.
Đặc điểm kỹ thuật sản phẩm
Thông số của lớp phủ cacbua Tantalum bán dẫn VeTek:
| Tính chất vật lý của lớp phủ TaC |
| Tỉ trọng |
14,3 g/cm³ |
| độ cứng |
2000 HK |
| Sự giãn nở nhiệt |
6,3×10⁻⁶/K |
| Sức chống cự |
1×10⁻⁵ Ohm·cm |
| Độ ổn định nhiệt |
<2500°C |
| độ dày lớp phủ |
≥20μm (điển hình là 35±10μm) |
lớp phủ cacbua (TaC) trên mặt cắt cực nhỏ:
Dữ liệu EDX lớp phủ TaC:
Dữ liệu cấu trúc tinh thể lớp phủ TaC:
| Yếu tố |
Phần trăm nguyên tử |
|
|
Pt. 1 |
Pt. 2 |
Pt. 3 |
Trung bình |
| C K |
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
| Tạ M |
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
Ứng dụng
Để đáp ứng nhu cầu đa dạng của quy trình bán dẫn, VeTek cung cấp các sản phẩm Lớp phủ Tantalum Carbide có mục tiêu. Bảng sau đây phân loại chúng theo các lĩnh vực ứng dụng chính, liệt kê các thành phần điển hình và quy trình áp dụng:
| Trường ứng dụng |
Sản phẩm tiêu biểu |
Mô tả ứng dụng |
| Epitaxy SiC |
Chất nhạy cảm hành tinh được phủ CVD TaC,Chất nhạy cảm wafer được phủ TaC,Vòng dẫn hướng được phủ TaC
|
Thích hợp cho các quy trình epiticular SiC ở nhiệt độ cao (ví dụ: phương pháp LPE), mang lại độ ổn định nhiệt cao và bề mặt ít nhiễm bẩn để đảm bảo tính đồng nhất của màng. |
| Epitaxy GaN / LED (MOCVD) |
Đầu vòi hoa sen, đĩa vệ tinh, vòng che, tấm chắn nhiệt, vòi phun |
Thích hợp cho hệ thống Aixtron MOCVD, chống ăn mòn H₂/NH₃, giảm ô nhiễm hạt và cải thiện hiệu suất epiticular LED. |
| Tăng trưởng tinh thể SiC (Phương pháp PVT) |
Than chì xốp phủ TaC,Bán nguyệt phủ TaC,vòng dẫn hướng,che phủ,mâm cặp
|
Được sử dụng trong quá trình tăng trưởng phôi PVT SiC, chịu được nhiệt độ lên tới 2500°C, ngăn ngừa phản ứng than chì và đảm bảo độ tinh khiết của tinh thể. |
| Các bộ phận hỗ trợ và sưởi ấm nhiệt độ cao |
Cảm ứng nhiệt cảm ứng,yếu tố làm nóng điện trở, chất mang wafer
|
Thích hợp cho các hệ thống sưởi cảm ứng hoặc điện trở, mang lại độ cứng cao và khả năng chống sốc nhiệt, kéo dài tuổi thọ linh kiện lên 3–5 lần. |
Để biết thêm các giải pháp khớp quy trình chi tiết, vui lòng tham khảoEpitaxy cacbua silictrang ứng dụng liên quan.
Chúng tôi hỗ trợ các dịch vụ tùy chỉnh dựa trên yêu cầu của khách hàng. Đã thông qua ISO9001 với kiểm soát chất lượng tốt.
Chào mừng bạn liên hệ với chúng tôi để được tư vấn thêm hoặc để lại tin nhắn
