Chất bán dẫn VeTek là nhà sản xuất vật liệu phủ Tantalum Carbide hàng đầu cho ngành bán dẫn. Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm các bộ phận phủ cacbua tantalum CVD, các bộ phận phủ TaC thiêu kết để tăng trưởng tinh thể SiC hoặc quy trình epit Wax bán dẫn. Đạt tiêu chuẩn ISO9001, VeTek Semiconductor có khả năng kiểm soát tốt về chất lượng. VeTek Semiconductor nỗ lực trở thành nhà đổi mới trong ngành phủ Tantalum cacbua thông qua nghiên cứu và phát triển liên tục các công nghệ lặp lại.
Các sản phẩm chính làVòng dẫn hướng tráng TaC, Vòng dẫn hướng ba cánh được phủ CVD TaC, Tantalum cacbua TaC phủ Halfmoon, Lớp phủ CVD TaC chất nhạy cảm epiticular SiC hành tinh, Vòng phủ cacbua Tantalum, Tantalum cacbua phủ than chì xốp, Chất nhạy cảm xoay lớp phủ TaC, Vòng cacbua tantali, Tấm xoay lớp phủ TaC, Chất nhạy cảm wafer được phủ TaC, Vòng làm lệch hướng phủ TaC, Vỏ phủ CVD TaC, Chuck phủ TaCv.v., độ tinh khiết dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng.
Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền. Ưu điểm được thể hiện trong hình dưới đây:
Lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đã thu hút được sự chú ý nhờ điểm nóng chảy cao lên tới 3880°C, độ bền cơ học, độ cứng và khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời, khiến nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn cho các quy trình epit Wax bán dẫn hỗn hợp có yêu cầu nhiệt độ cao hơn, chẳng hạn như hệ thống Aixtron MOCVD và quy trình epit Wax LPE SiC. Nó cũng có ứng dụng rộng rãi trong quy trình phát triển tinh thể SiC theo phương pháp PVT.
Các tính năng chính:
●Ổn định nhiệt độ
●Độ tinh khiết cực cao
●Kháng H2, NH3, SiH4,Si
●Khả năng chịu nhiệt
●Độ bám dính mạnh với than chì
●Lớp phủ phủ phù hợp
● Kích thước đường kính lên tới 750 mm (Nhà sản xuất duy nhất ở Trung Quốc đạt kích thước này)
Ứng dụng:
●Chất mang wafer
● Cảm biến nhiệt cảm ứng
● Bộ phận làm nóng bằng điện trở
●Đĩa vệ tinh
●đầu vòi hoa sen
●Vòng dẫn hướng
●Bộ thu LED Epi
●Vòi phun
●Vòng che
● Tấm chắn nhiệt
Lớp phủ tantalum cacbua (TaC) trên mặt cắt cực nhỏ:
Thông số của lớp phủ cacbua tantalum bán dẫn VeTek:
|
Tính chất vật lý của lớp phủ TaC
|
|
Tỉ trọng
|
14,3 (g/cm³)
|
|
Độ phát xạ cụ thể
|
0.3
|
|
Hệ số giãn nở nhiệt
|
6,3 10-6/K
|
|
Độ cứng (HK)
|
2000 HK
|
|
Sức chống cự
|
1×10-5Ohm*cm
|
|
Độ ổn định nhiệt
|
<2500oC
|
|
Thay đổi kích thước than chì
|
-10~-20um
|
|
độ dày lớp phủ
|
≥20um giá trị điển hình (35um±10um)
|
Dữ liệu EDX lớp phủ TaC：
Dữ liệu cấu trúc tinh thể lớp phủ TaC:
|
Yếu tố
|
Phần trăm nguyên tử
|
|
|
Pt. 1
|
Pt. 2
|
Pt. 3
|
Trung bình
|
|
C K
|
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
|
Họ
|
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
