Tấm quay lớp phủ TAC

Tấm xoay lớp phủ TAC của chất bán dẫn Vetek có thành phần có độ tinh khiết cao, hàm lượng tạp chất dưới 5ppm và cấu trúc dày đặc và đồng nhất, được sử dụng rộng rãi trong LPE EPI, hệ thống AIXTRON, hệ thống NUFLARE, Hệ thống TEL CVD, Hệ thống VEECO, Hệ thống TSI.

● Tính chất cơ học tuyệt vời:

Độ cứng lớp phủ lên đến 2300HV, với khả năng chống mài mòn tuyệt vời.

Độ bám dính giữa lớp phủ và chất nền rất mạnh, và không dễ để rơi ra hoặc gọt vỏ.

Lớp phủ vẫn có thể duy trì sự ổn định cấu trúc tốt ở nhiệt độ cao.

●  Kháng ăn mòn tuyệt vời:

Bản thân vật liệu TAC có độ ổn định hóa học tuyệt vời và khả năng chống ăn mòn.

Lớp phủ của chất bán dẫn Vetek hoạt động tốt trong nhiều môi trường khí hung hăng.

Có thể bảo vệ hiệu quả các thành phần bên trong của thiết bị khỏi thiệt hại ăn mòn.

● Kết thúc bề mặt cao:

Bán dẫn Vetek sử dụng một quy trình phủ chính xác để tạo ra lớp hoàn thiện mong muốn.

Độ nhám bề mặt thấp giúp giảm tích lũy và lắng đọng hạt.

● Tính nhất quán của lớp phủ là tốt:

Bán dẫn Vetek có hệ thống điều khiển chất lượng âm thanh để đảm bảo hiệu suất nhất quán giữa các lô.

Độ dày lớp phủ được phân phối đồng đều và không có khiếm khuyết cục bộ rõ ràng.

● Hiệu suất ứng dụng thực tế tuyệt vời:

Lớp phủ TAC của Bán dẫn Vetek được sử dụng rộng rãi trong nhiều nhà sản xuất thiết bị epiticular nổi tiếng trong và ngoài nước.

Thông số vật lý của sản phẩm của tấm xoay được phủ TAC:

Lớp phủ cacbua tantalum trên mặt cắt bằng kính hiển vi