Các sản phẩm

Halfmoon là thành phần than chì được sử dụng bên trong lò phản ứng LPE SiC, chủ yếu được lắp đặt xung quanh vùng nóng trong buồng. Mặc dù nó không tiếp xúc trực tiếp với wafer nhưng nó vẫn đóng vai trò trong việc ổn định dòng khí và vận hành lò phản ứng trong quá trình tăng trưởng epiticular. Để xử lý các điều kiện quá trình phản ứng và nhiệt độ cao, thành phần này thường được bảo vệ bằng lớp phủ CVD SiC, trong khi lớp phủ TaC cũng có sẵn cho một số ứng dụng. VETEK cũng cung cấp vật liệu cách nhiệt bằng than chì và các bộ phận được phủ than chì khác cho hệ thống epitaxy SiC.

Vòng trên cùng SiC epi 8 inch là bộ phận phần cứng của lò phản ứng bán dẫn. Nó hoạt động bên trong hệ thống Si/SiC epit Wax và MOCVD/CVD. Vòng này ổn định nhiệt bên trong buồng. Nó cũng kiểm soát dòng khí. Vật liệu này là cacbua silic CVD có độ tinh khiết cao. Nó không có vấn đề thoát khí như than chì. Nó cũng làm giảm ô nhiễm hạt trong quá trình sản xuất. Chúng tôi hoan nghênh các yêu cầu của bạn.

VETEK đã phát triển nỉ mềm bằng sợi carbon bằng cách sử dụng sự kết hợp giữa công nghệ chải thô chính xác và phun khí. chúng tôi có thể đảm bảo cấu trúc sợi có độ đồng đều cao trên toàn bộ vật liệu. Nó được chế tạo để chịu được sức nóng dữ dội của lò nung công nghiệp trong khi vẫn cực kỳ nhẹ. Nhờ khối lượng nhiệt thấp và kết cấu linh hoạt, nó dễ dàng lắp đặt và vừa khít với các góc lò, giúp tối đa hóa hiệu quả sử dụng năng lượng trong mỗi chu trình.

Chất lượng của nguyên liệu nguồn ban đầu là yếu tố chính hạn chế năng suất tấm bán dẫn trong quá trình sản xuất các tinh thể đơn SiC. Khối lượng lớn CVD SiC có độ tinh khiết cao 7N của VETEK cung cấp giải pháp thay thế đa tinh thể mật độ cao cho các loại bột truyền thống, được thiết kế đặc biệt cho Vận chuyển hơi vật lý (PVT). Bằng cách sử dụng biểu mẫu CVD số lượng lớn, chúng tôi loại bỏ các khiếm khuyết tăng trưởng phổ biến và cải thiện đáng kể năng suất lò. Mong nhận được yêu cầu của bạn.

Trong chế tạo tiên tiến như Khuếch tán, Oxy hóa hoặc LPCVD, thuyền bán dẫn không chỉ là vật chứa—nó là một phần quan trọng của môi trường nhiệt. Ở nhiệt độ lên tới 1000°C đến 1400°C, vật liệu tiêu chuẩn thường bị hỏng do cong vênh hoặc thoát khí. Giải pháp SiC-on-SiC của VETEK (Chất nền có độ tinh khiết cao với lớp phủ CVD dày đặc) được thiết kế đặc biệt để ổn định các biến nhiệt độ cao này.

Môi trường nhiệt độ cao và phản ứng hóa học của MOCVD, khả năng bảo vệ buồng phản ứng và độ chính xác của kiểm soát quy trình là điều tối quan trọng. VETEK cung cấp các thành phần Thạch anh đục (Trắng sữa) cao cấp, được thiết kế đặc biệt để hoạt động như "phòng sạch" và "cổng chính xác" trong thiết bị bán dẫn của bạn. Những thành phần này cung cấp giải pháp hiệu suất cao nhưng tiết kiệm chi phí để quản lý bức xạ nhiệt và ngăn ngừa ô nhiễm.