Các sản phẩm

Nồi nấu kim loại thạch anh cấp bán dẫn Veteksemian là vật tư tiêu hao chính trong quá trình tăng trưởng đơn tinh thể Czochralski. Lấy độ tinh khiết cực cao và độ ổn định nhiệt vượt trội làm trọng tâm cốt lõi, chúng tôi cam kết cung cấp cho khách hàng những sản phẩm chất lượng cao có hiệu suất ổn định và khả năng chống kết tinh tuyệt vời trong môi trường nhiệt độ và áp suất cao. Điều này đảm bảo chất lượng của các thanh tinh thể từ nguồn, giúp việc sản xuất tấm bán dẫn silicon đạt được năng suất cao hơn và hiệu quả chi phí tốt hơn.

Vòng lấy nét Veteksemian được thiết kế đặc biệt cho các thiết bị khắc chất bán dẫn có yêu cầu cao, đặc biệt là các ứng dụng khắc SiC. Được gắn xung quanh mâm cặp tĩnh điện (ESC), gần với tấm bán dẫn, chức năng chính của nó là tối ưu hóa sự phân bổ trường điện từ trong buồng phản ứng, đảm bảo hoạt động plasma đồng đều và tập trung trên toàn bộ bề mặt tấm bán dẫn. Vòng lấy nét hiệu suất cao cải thiện đáng kể độ đồng đều của tốc độ khắc và giảm hiệu ứng cạnh, trực tiếp tăng năng suất sản phẩm và hiệu quả sản xuất.

Tấm mang cacbua silic Veteksemian để khắc LED, được thiết kế đặc biệt để sản xuất chip LED, là vật tư tiêu hao cốt lõi trong quá trình khắc. Được làm từ cacbua silic có độ tinh khiết cao được thiêu kết chính xác, nó có khả năng kháng hóa chất đặc biệt và ổn định kích thước ở nhiệt độ cao, chống ăn mòn hiệu quả từ axit, bazơ và plasma mạnh. Đặc tính nhiễm bẩn thấp của nó đảm bảo năng suất cao cho các tấm wafer LED, trong khi độ bền của nó vượt xa so với các vật liệu truyền thống, giúp khách hàng giảm chi phí vận hành tổng thể, khiến nó trở thành sự lựa chọn đáng tin cậy để cải thiện tính nhất quán và hiệu quả của quy trình khắc.

Thuyền than chì Veteksemian dành cho PECVD được gia công chính xác từ than chì có độ tinh khiết cao và được thiết kế đặc biệt cho các quá trình lắng đọng hơi hóa học tăng cường bằng plasma. Tận dụng sự hiểu biết sâu sắc của chúng tôi về vật liệu trường nhiệt bán dẫn và khả năng gia công chính xác, chúng tôi cung cấp thuyền than chì có độ ổn định nhiệt vượt trội, độ dẫn điện tuyệt vời và tuổi thọ lâu dài. Những chiếc thuyền này được thiết kế để đảm bảo sự lắng đọng màng mỏng có độ đồng đều cao trên mọi tấm wafer trong môi trường quy trình PECVD đòi hỏi khắt khe, cải thiện hiệu suất và năng suất quy trình.

Vòng than chì phủ CVD TaC của Veteksemiaon được thiết kế để đáp ứng nhu cầu khắc nghiệt về xử lý tấm bán dẫn. Bằng cách sử dụng công nghệ lắng đọng hơi hóa học (CVD), lớp phủ Tantalum Carbide (TaC) dày đặc và đồng nhất được áp dụng cho chất nền than chì có độ tinh khiết cao, đạt được độ cứng đặc biệt, khả năng chống mài mòn và độ trơ hóa học. Trong chế tạo chất bán dẫn, Vòng than chì được phủ CVD TaC được sử dụng rộng rãi trong các buồng tăng trưởng MOCVD, khắc, khuếch tán và epiticular, đóng vai trò là thành phần cấu trúc hoặc bịt kín quan trọng cho các chất mang bán dẫn, chất nhạy cảm và cụm che chắn. Rất mong nhận được sự tư vấn thêm của bạn.

Vòng than chì được phủ TaC xốp do VETEK sản xuất sử dụng chất nền than chì xốp nhẹ và được phủ một lớp phủ cacbua tantalum có độ tinh khiết cao, có khả năng chống chịu nhiệt độ cao, khí ăn mòn và xói mòn plasma tuyệt vời