Trong sản xuất chất bán dẫn, công nghệ xử lý bề mặt đóng một vai trò quan trọng trong việc nâng cao độ bền, hiệu suất và độ tin cậy của các bộ phận bằng cách sửa đổi tính chất bề mặt của chúng thông qua các phương pháp phủ và lắng đọng tiên tiến.
Lắng đọng hơi vật lý (PVD)
Lắng đọng hơi vật lý PVD là một quá trình phủ dựa trên chân không, lắng đọng các màng mỏng lên các chất nền thông qua quá trình bay hơi của vật liệu rắn. Nó tăng cường độ cứng bề mặt, khả năng chịu nhiệt và độ dẫn điện, khiến nó trở nên cần thiết cho các công cụ bán dẫn và các bộ phận chính xác.
Công nghệ phun nhiệt bán dẫn
Kỹ thuật này liên quan đến việc phun bột mịn ở nhiệt độ cao lên bề mặt để tạo ra lớp phủ bảo vệ dày đặc. Nó tăng cường đáng kể khả năng chịu nhiệt, mài mòn và ăn mòn trong các thành phần bán dẫn quan trọng tiếp xúc với môi trường khắc nghiệt.
Bột nano pha MAX
Bột nano pha MAX là gốm sứ phân lớp có đặc tính kim loại, mang lại độ bền, độ dẫn điện và khả năng chống sốc nhiệt cao. Chúng lý tưởng cho lớp phủ bảo vệ và các ứng dụng bán dẫn mới nổi đòi hỏi độ ổn định nhiệt độ cao.
Các tính năng chính
- Lớp phủ chân không PVD: màng mỏng có độ chính xác cao với độ cứng, khả năng chịu nhiệt, độ dẫn điện và độ bám dính cao.
- Phun nhiệt: lớp phủ bảo vệ dày đặc với độ dày có thể kiểm soát được, khả năng chịu nhiệt/mài mòn/ăn mòn cao cho môi trường khắc nghiệt.
- Bột nano pha MAX: gốm nhiều lớp kết hợp các đặc tính kim loại và gốm - độ bền, độ dẫn điện và khả năng chống sốc nhiệt cao.
- Bùn đánh bóng CMP: làm phẳng cơ học hóa học để làm phẳng bề mặt ở cấp độ nano trong xử lý chất bán dẫn và chính xác.
- Các giải pháp tập trung vào ứng dụng dành cho các công cụ bán dẫn, nồi nung thiêu kết MLCC, các bộ phận xử lý và các thiết bị điện tử nhiệt độ cao mới nổi.
Ứng dụng
Để đáp ứng nhu cầu đa dạng về sản xuất chất bán dẫn và độ chính xác, VeTek cung cấp các giải pháp Công nghệ xử lý bề mặt có mục tiêu. Bảng sau đây phân loại chúng theo các lĩnh vực ứng dụng và công nghệ chính:
| Công nghệ/Lĩnh vực |
Sản phẩm/Giải pháp tiêu biểu |
Mô tả ứng dụng |
| Lắng đọng hơi vật lý (PVD) |
Lớp phủ màng mỏng PVD cho dụng cụ và linh kiện chính xác |
Lắng đọng màng mỏng bằng chân không để tăng cường độ cứng bề mặt, khả năng chịu nhiệt và độ dẫn điện cho các công cụ bán dẫn và các bộ phận có độ chính xác cao. |
| Phun nhiệt bán dẫn |
Lớp phủ phun nhiệt, lớp phủ nồi nấu kim loại MLCC |
Phun bột ở nhiệt độ cao để tạo thành lớp phủ bảo vệ dày đặc có khả năng chịu nhiệt, mài mòn và ăn mòn; được sử dụng rộng rãi cho các thành phần bán dẫn và nồi nấu kim loại vật liệu MLCC. |
| Vật liệu pha MAX |
Bột nano pha MAX |
Gốm sứ phân lớp có đặc tính kim loại dành cho lớp phủ bảo vệ và các ứng dụng bán dẫn mới nổi đòi hỏi độ bền, độ dẫn điện và khả năng chống sốc nhiệt cao. |
| CMP / Lập kế hoạch |
Bùn đánh bóng CMP |
Vật liệu đánh bóng cơ-hóa học cho độ phẳng và chất lượng bề mặt ở cấp độ nano trong sản xuất chất bán dẫn và gia công vật liệu chính xác. |
| Bảo vệ thành phần & Tuổi thọ |
Lớp phủ bảo vệ phun PVD và phun nhiệt |
Sửa đổi bề mặt của các bộ phận thiết bị bán dẫn quan trọng để cải thiện độ bền, giảm mài mòn và kéo dài tuổi thọ sử dụng trong môi trường xử lý khắc nghiệt. |
Để biết thêm các giải pháp vật liệu và lớp phủ liên quan, vui lòng tham khảoLớp phủ cacbua tantaliVàLớp phủ silicon cacbuatrang.
Là nhà sản xuất và cung cấp Công nghệ xử lý bề mặt chuyên nghiệp tại Trung Quốc, chúng tôi có nhà máy riêng. Cho dù bạn cần các dịch vụ tùy chỉnh để đáp ứng nhu cầu cụ thể trong khu vực của mình hay muốn mua Công nghệ xử lý bề mặt tiên tiến và bền bỉ được sản xuất tại Trung Quốc, bạn có thểđể lại cho chúng tôi một tin nhắn.
