Công nghệ phun nhiệt bán dẫn

Công nghệ phun nhiệt chất bán dẫn là một quá trình tiên tiến để phun vật liệu ở trạng thái nóng chảy hoặc bán tạo trên bề mặt chất nền để tạo thành lớp phủ. Công nghệ này được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, chủ yếu được sử dụng để tạo ra các lớp phủ với các chức năng cụ thể trên bề mặt chất nền, như độ dẫn điện, cách điện, kháng ăn mòn và kháng oxy hóa. Ưu điểm chính của công nghệ phun nhiệt bao gồm hiệu quả cao, độ dày lớp phủ có thể kiểm soát và độ bám dính của lớp phủ tốt, làm cho nó đặc biệt quan trọng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi độ chính xác và độ tin cậy cao.

Ứng dụng công nghệ phun nhiệt trong chất bán dẫn

Etching chùm huyết tương (khắc khô)

Thường đề cập đến việc sử dụng phóng điện phát sáng để tạo ra các hạt hoạt động trong huyết tương có chứa các hạt tích điện như huyết tương và electron và các nguyên tử và phân tử trung tính hoạt động hóa học cao và các gốc tự do, khuếch tán đến một phần được khắc Sản phẩm và được loại bỏ, do đó hoàn thành công nghệ khắc của chuyển mẫu. Đây là một quá trình không thể thay thế để hiện thực hóa việc chuyển giao độ chính xác cao của các mẫu tốt từ các mẫu quang khắc sang các tấm wafer trong việc sản xuất các mạch tích hợp quy mô cực lớn.

Một số lượng lớn các gốc tự do hoạt động như Cl và F sẽ được tạo ra. Khi khắc các thiết bị bán dẫn, chúng sẽ ăn mòn bề mặt bên trong của các bộ phận khác của thiết bị, bao gồm hợp kim nhôm và các bộ phận cấu trúc bằng gốm. Sự xói mòn mạnh này tạo ra một số lượng lớn các hạt, không chỉ đòi hỏi phải bảo trì thiết bị sản xuất thường xuyên mà còn gây ra hỏng hóc cho buồng quá trình ăn mòn và làm hỏng thiết bị trong trường hợp nghiêm trọng.

Y2O3 là vật liệu có tính chất hóa học và nhiệt rất ổn định. Điểm nóng chảy của nó cao hơn 2400oC. Nó có thể duy trì ổn định trong môi trường ăn mòn mạnh. Khả năng chống lại sự bắn phá plasma của nó có thể kéo dài đáng kể tuổi thọ của các bộ phận và giảm thiểu các hạt trong buồng ăn mòn.

Giải pháp chính là phun lớp phủ Y2O3 có độ tinh khiết cao để bảo vệ buồng khắc và các thành phần quan trọng khác.