Gốm sứ cacbua silic

VeTek Semiconductor là đối tác sáng tạo của bạn trong lĩnh vực xử lý chất bán dẫn. Với danh mục mở rộng gồm các tổ hợp vật liệu Gốm sứ Silicon Carbide cấp bán dẫn, khả năng sản xuất linh kiện và dịch vụ kỹ thuật ứng dụng, chúng tôi có thể giúp bạn vượt qua những thách thức đáng kể. Kỹ thuật gốm sứ cacbua silic được ứng dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn do hiệu suất vật liệu đặc biệt của chúng. Gốm sứ cacbua silic siêu tinh khiết của VeTek Semiconductor thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất và xử lý chất bán dẫn.

KHUẾCH TÁN & XỬ LÝ LPCVD

VeTek Semiconductor cung cấp các thành phần gốm kỹ thuật được thiết kế đặc biệt cho các yêu cầu khuếch tán hàng loạt và LPCVD, bao gồm:

• Vách ngăn & giá đỡ
• Kim phun
• Ống lót & ống xử lý
• Mái chèo đúc hẫng silicon cacbua
• Thuyền wafer và bệ

Mái chèo đúc hẫng SiC Ống xử lý SiC Ống xử lý cacbua silic Thuyền wafer dọc SiC Thuyền wafer ngang SiC Thuyền wafer hình vuông SiC Thuyền wafer SiC LPCVD Thuyền tấm ngang SiC Vòng đệm gốm SiC

THÀNH PHẦN QUY TRÌNH ETCH

Giảm thiểu ô nhiễm và bảo trì đột xuất với các thành phần có độ tinh khiết cao được thiết kế để đáp ứng yêu cầu khắt khe của quá trình xử lý khắc axit bằng plasma, bao gồm:

CÁC THÀNH PHẦN XỬ LÝ NHIỆT NHANH VÀ QUY TRÌNH epitaxy

VeTek Semiconductor cung cấp các thành phần vật liệu tiên tiến được thiết kế riêng cho các ứng dụng xử lý nhiệt ở nhiệt độ cao trong ngành bán dẫn. Các ứng dụng này bao gồm các quá trình RTP, Epi, khuếch tán, oxy hóa và ủ. Gốm sứ kỹ thuật của chúng tôi được thiết kế để chịu được các cú sốc nhiệt, mang lại hiệu suất ổn định và đáng tin cậy. Với các thành phần của VeTek Semiconductor, các nhà sản xuất chất bán dẫn có thể đạt được quy trình xử lý nhiệt hiệu quả và chất lượng cao, góp phần vào thành công chung của ngành sản xuất chất bán dẫn.