Gốm sứ cacbua silic

VeTek Semiconductor là đối tác sáng tạo của bạn trong lĩnh vực xử lý chất bán dẫn. Với danh mục mở rộng gồm các tổ hợp vật liệu Gốm sứ Silicon Carbide cấp bán dẫn, khả năng sản xuất linh kiện và dịch vụ kỹ thuật ứng dụng, chúng tôi có thể giúp bạn vượt qua những thách thức đáng kể. Kỹ thuật gốm sứ cacbua silic được ứng dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn do hiệu suất vật liệu đặc biệt của chúng. Gốm sứ cacbua silic siêu tinh khiết của VeTek Semiconductor thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất và xử lý chất bán dẫn.

KHUẾCH TÁN & XỬ LÝ LPCVD

VeTek Semiconductor cung cấp các thành phần gốm kỹ thuật được thiết kế đặc biệt cho các yêu cầu khuếch tán hàng loạt và LPCVD, bao gồm:

• Vách ngăn & giá đỡ
• Kim phun
• Ống lót & ống xử lý
• Mái chèo đúc hẫng silicon cacbua
• Thuyền wafer và bệ

Mái chèo đúc hẫng SiC Ống xử lý SiC Ống xử lý cacbua silic Thuyền wafer dọc SiC Thuyền wafer ngang SiC Thuyền wafer hình vuông SiC Thuyền wafer SiC LPCVD Thuyền tấm ngang SiC Vòng đệm gốm SiC

THÀNH PHẦN QUY TRÌNH ETCH

Giảm thiểu ô nhiễm và bảo trì đột xuất với các thành phần có độ tinh khiết cao được thiết kế để đáp ứng yêu cầu khắt khe của quá trình xử lý khắc axit bằng plasma, bao gồm:

Vòng lấy nét

Vòi phun

Khiên

Vòi sen

Cửa sổ / Nắp

Các thành phần tùy chỉnh khác

CÁC THÀNH PHẦN XỬ LÝ NHIỆT NHANH VÀ QUY TRÌNH epitaxy

VeTek Semiconductor cung cấp các thành phần vật liệu tiên tiến được thiết kế riêng cho các ứng dụng xử lý nhiệt ở nhiệt độ cao trong ngành bán dẫn. Các ứng dụng này bao gồm các quá trình RTP, Epi, khuếch tán, oxy hóa và ủ. Gốm sứ kỹ thuật của chúng tôi được thiết kế để chịu được các cú sốc nhiệt, mang lại hiệu suất ổn định và đáng tin cậy. Với các thành phần của VeTek Semiconductor, các nhà sản xuất chất bán dẫn có thể đạt được quy trình xử lý nhiệt hiệu quả và chất lượng cao, góp phần vào thành công chung của ngành sản xuất chất bán dẫn.

• Máy khuếch tán

• Chất cách điện

• Chất nhạy cảm

• Các thành phần nhiệt tùy chỉnh khác

Tính chất vật lý của cacbua silic kết tinh
Tài sản	Giá trị điển hình
Nhiệt độ làm việc (°C)	1600°C (có oxy), 1700°C (môi trường khử)
Nội dung SiC/SiC	> 99,96%
Hàm lượng Si/Si tự do	< 0,1%
Mật độ lớn	2,60-2,70 g/cm3
Độ xốp rõ ràng	< 16%
Cường độ nén	> 600 MPa
Độ bền uốn nguội	80-90 MPa (20°C)
Độ bền uốn nóng	90-100 MPa (1400°C)
Giãn nở nhiệt @1500°C	4,70 10-6/°C
Độ dẫn nhiệt @1200°C	23 W/m·K
mô đun đàn hồi	240 GPa
Chống sốc nhiệt	Cực kỳ tốt

Nguyên liệu thô CVD SiC có độ tinh khiết cao 7N

Chất lượng của nguyên liệu nguồn ban đầu là yếu tố chính hạn chế năng suất tấm bán dẫn trong quá trình sản xuất các tinh thể đơn SiC. Khối lượng lớn CVD SiC có độ tinh khiết cao 7N của VETEK cung cấp giải pháp thay thế đa tinh thể mật độ cao cho các loại bột truyền thống, được thiết kế đặc biệt cho Vận chuyển hơi vật lý (PVT). Bằng cách sử dụng biểu mẫu CVD số lượng lớn, chúng tôi loại bỏ các khiếm khuyết tăng trưởng phổ biến và cải thiện đáng kể năng suất lò. Mong nhận được yêu cầu của bạn.

Lò nung ép nóng chân không hạt giống cacbua silic

Công nghệ liên kết hạt SiC là một trong những quá trình quan trọng ảnh hưởng đến sự phát triển của tinh thể. VETEK đã phát triển lò ép nóng chân không chuyên dụng để liên kết hạt dựa trên đặc điểm của quá trình này. Lò có thể giảm thiểu một cách hiệu quả các khuyết tật khác nhau được tạo ra trong quá trình liên kết hạt giống, từ đó cải thiện năng suất và chất lượng cuối cùng của thỏi tinh thể.

Thuyền Cassette Silicon

Thuyền Cassette Silicon của Veteksemiaon là một thiết bị mang wafer được thiết kế chính xác được phát triển đặc biệt cho các ứng dụng lò bán dẫn nhiệt độ cao, bao gồm quá trình oxy hóa, khuếch tán, truyền động và ủ. Được chế tạo từ silicon có độ tinh khiết cực cao và được hoàn thiện theo các tiêu chuẩn kiểm soát ô nhiễm tiên tiến, nó cung cấp một nền tảng trơ về mặt hóa học, ổn định nhiệt, phù hợp chặt chẽ với các đặc tính của tấm bán dẫn silicon. Sự liên kết này giảm thiểu ứng suất nhiệt, giảm sự hình thành trượt và khuyết tật, đồng thời đảm bảo phân phối nhiệt đặc biệt đồng đều trong suốt mẻ

Mái chèo đúc hẫng silicon cacbua để xử lý wafer

Mái chèo đúc hẫng bằng silicon cacbua của Veteksemiaon được thiết kế để xử lý tấm bán dẫn tiên tiến trong sản xuất chất bán dẫn. Được làm bằng SiC có độ tinh khiết cao, nó mang lại độ ổn định nhiệt vượt trội, độ bền cơ học vượt trội và khả năng chống chịu tuyệt vời với nhiệt độ cao và môi trường ăn mòn. Những tính năng này đảm bảo xử lý tấm wafer chính xác, kéo dài tuổi thọ và hiệu suất đáng tin cậy trong các quy trình như MOCVD, epit Wax và khuếch tán. Chào mừng bạn đến tham khảo ý kiến.

Cánh tay robot cacbua silicon

Cánh tay robot silicon cacbua (SIC) của chúng tôi được thiết kế để xử lý wafer hiệu suất cao trong sản xuất chất bán dẫn tiên tiến. Được làm từ cacbua silicon có độ tinh khiết cao, cánh tay robot này cung cấp khả năng chống lại nhiệt độ cao, ăn mòn huyết tương và tấn công hóa học, đảm bảo hoạt động đáng tin cậy trong môi trường phòng sạch. Sức mạnh cơ học đặc biệt và độ ổn định kích thước của nó cho phép xử lý wafer chính xác trong khi giảm thiểu rủi ro ô nhiễm, làm cho nó trở thành một lựa chọn lý tưởng cho MOCVD, epitax, cấy ion và các ứng dụng xử lý wafer quan trọng khác. Chúng tôi hoan nghênh yêu cầu của bạn.

Thuyền silicon cacbide sic

Các thuyền wafer sic vetksemia được sử dụng rộng rãi trong các quá trình nhiệt độ cao quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, đóng vai trò là chất mang đáng tin cậy cho quá trình oxy hóa, khuếch tán và ủ cho các mạch tích hợp dựa trên silicon. Họ cũng xuất sắc trong lĩnh vực bán dẫn thế hệ thứ ba, hoàn toàn phù hợp cho các quy trình đòi hỏi như tăng trưởng epiticular (EPI) và lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD) cho các thiết bị SIC và GaN. Họ cũng hỗ trợ chế tạo nhiệt độ cao của pin mặt trời hiệu quả cao trong ngành công nghiệp quang điện. Mong được tư vấn thêm của bạn.

Mã QR

Về chúng tôi

Các sản phẩm

Liên hệ chúng tôi

Điện thoại
+86-18069220752
+86-15988690905
Số fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Địa chỉ
Đường Wangda, phố Ziyang, huyện Wuyi, thành phố Kim Hoa, tỉnh Chiết Giang, Trung Quốc

Trình đơn web

Tìm kiếm sản phẩm

Ngôn ngữ

Thoát khỏi menu