Các sản phẩm
Vòng lấy nét cacbua silic
  • Vòng lấy nét cacbua silicVòng lấy nét cacbua silic

Vòng lấy nét cacbua silic

Vòng lấy nét Veteksemian được thiết kế đặc biệt cho các thiết bị khắc chất bán dẫn có yêu cầu cao, đặc biệt là các ứng dụng khắc SiC. Được gắn xung quanh mâm cặp tĩnh điện (ESC), gần với tấm bán dẫn, chức năng chính của nó là tối ưu hóa sự phân bổ trường điện từ trong buồng phản ứng, đảm bảo hoạt động plasma đồng đều và tập trung trên toàn bộ bề mặt tấm bán dẫn. Vòng lấy nét hiệu suất cao cải thiện đáng kể độ đồng đều của tốc độ khắc và giảm hiệu ứng cạnh, trực tiếp tăng năng suất sản phẩm và hiệu quả sản xuất.

Thông tin chung về sản phẩm

Nơi xuất xứ:
Trung Quốc
Tên thương hiệu:
Đối thủ của tôi
Số mô hình:
Vòng lấy nét SiC-01
Chứng nhận:
ISO9001


Điều kiện kinh doanh sản phẩm

Số lượng đặt hàng tối thiểu:
Có thể thương lượng
Giá:
Liên hệ để báo giá tùy chỉnh
Chi tiết đóng gói:
Gói xuất khẩu tiêu chuẩn
Thời gian giao hàng:
Thời gian giao hàng: 30-45 ngày sau khi xác nhận đơn hàng
Điều khoản thanh toán:
T/T
Khả năng cung cấp:
500 đơn vị/tháng


Ứng dụng: Trong quy trình khắc khô chất bán dẫn, vòng lấy nét là thành phần quan trọng đảm bảo tính đồng nhất của quy trình. Nó bao quanh chặt tấm bán dẫn và bằng cách kiểm soát chính xác sự phân bố plasma ở các cạnh của tấm bán dẫn, trực tiếp xác định tính đồng nhất và nhất quán của quá trình ăn mòn, khiến nó trở thành một phần không thể thiếu trong việc đảm bảo năng suất chip.


Các dịch vụ có thể được cung cấp: phân tích kịch bản ứng dụng của khách hàng, tài liệu phù hợp, giải quyết vấn đề kỹ thuật.


Hồ sơ công ty: Veteksicon có 2 phòng thí nghiệm, đội ngũ chuyên gia có 20 năm kinh nghiệm về vật liệu, có năng lực R&D và sản xuất, thử nghiệm và xác minh.


Thông số kỹ thuật

dự án
tham số
Vật liệu chính
SiC thiêu kết có độ tinh khiết cao
Vật liệu tùy chọn
SiC tráng có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu của khách hàng
Quy trình áp dụng
khắc SiC, Khắc sâu Si, khắc bán dẫn hợp chất khác
Thiết bị áp dụng
Áp dụng cho các nền tảng thiết bị khắc khô chính thống (các mẫu cụ thể có thể được tùy chỉnh)
Kích thước chính
Tùy chỉnh theo mô hình thiết bị và yêu cầu bản vẽ của khách hàng
Độ nhám bề mặt
Ra 0,2 μm (có thể điều chỉnh theo yêu cầu của quy trình)
Các tính năng chính
Khả năng chống ăn mòn cao, độ tinh khiết cao, độ cứng cao, ổn định nhiệt tuyệt vời và hình thành hạt thấp


Ưu điểm cốt lõi của vòng tập trung Veteksemian


1. Khoa học vật liệu đặc biệt, sinh ra cho môi trường khắc nghiệt


Vật liệu cacbua silic mật độ cao, độ tinh khiết cao được lựa chọn của chúng tôi có thể dễ dàng chịu được sự bắn phá plasma dữ dội và sự ăn mòn khí hóa học có chứa flo trong quá trình ăn mòn SiC. Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời của nó trực tiếp dẫn đến tuổi thọ sử dụng dài hơn và tần suất thay thế linh kiện thấp hơn, không chỉ giảm thời gian ngừng hoạt động của thiết bị mà còn giảm đáng kể nguy cơ ô nhiễm hạt do mài mòn linh kiện, mang lại cho bạn hiệu quả chi phí toàn diện và ổn định lâu dài.


2. Thiết kế kỹ thuật chính xác đảm bảo quy trình nhất quán


Mỗi vòng lấy nét Veteksemiaon đều trải qua quá trình gia công CNC siêu chính xác để đảm bảo rằng các kích thước chính như độ phẳng, đường kính trong và chiều cao bậc thang đạt được độ chính xác ở mức micron, đảm bảo khớp hoàn hảo với nhà sản xuất thiết bị gốc (OEM). Nhóm kỹ thuật của chúng tôi tối ưu hóa hơn nữa cấu hình bằng cách sử dụng mô phỏng plasma. Thiết kế này dẫn hướng điện trường một cách hiệu quả, giảm hiện tượng ăn mòn bất thường ở các cạnh của tấm bán dẫn và do đó kiểm soát tính đồng nhất ăn mòn của toàn bộ tấm bán dẫn đến mức cực độ.


3. Hiệu suất đáng tin cậy cải thiện hiệu quả sản xuất


Trong môi trường sản xuất hàng loạt đòi hỏi khắt khe, toàn bộ giá trị sản phẩm của chúng tôi sẽ được hiện thực hóa. Bằng cách đảm bảo phân phối huyết tương tập trung và ổn định, vòng lấy nét Veteksemiaon góp phần trực tiếp vào việc cải thiện tính đồng nhất của tốc độ ăn mòn và tối ưu hóa khả năng lặp lại quy trình theo từng đợt. Điều này có nghĩa là dây chuyền sản xuất của bạn có thể cung cấp các sản phẩm có năng suất cao một cách nhất quán, đồng thời được hưởng lợi từ chu kỳ bảo trì dài hơn, giảm chi phí tiêu hao trên mỗi tấm bán dẫn một cách hiệu quả và mang lại cho bạn lợi thế cạnh tranh đáng kể.


4. Chứng thực xác minh chuỗi sinh thái


Quá trình xác minh chuỗi sinh thái của vòng tập trung Veteksemicon bao gồm nguyên liệu thô cho sản xuất, đã đạt chứng nhận tiêu chuẩn quốc tế và có một số công nghệ được cấp bằng sáng chế để đảm bảo độ tin cậy và tính bền vững của nó trong lĩnh vực bán dẫn và năng lượng mới.


Để biết thông số kỹ thuật chi tiết, sách trắng hoặc sắp xếp thử nghiệm mẫu, vui lòng liên hệ với Nhóm hỗ trợ kỹ thuật của chúng tôi để khám phá cách Veteksemian có thể nâng cao hiệu quả quy trình của bạn.


Các lĩnh vực ứng dụng chính

Hướng ứng dụng
Kịch bản điển hình
Sản xuất thiết bị điện SiC
Khắc cổng và mesa của MOSFET, SBD, IGBT và các thiết bị khác.
Thiết bị RF GaN-on-SiC
Quá trình khắc cho các thiết bị tần số vô tuyến tần số cao, công suất cao.
Khắc sâu thiết bị MEMS
Gia công hệ thống vi cơ điện tử có yêu cầu cực kỳ cao về hình thái khắc và tính đồng nhất.


Cửa hàng sản phẩm Veteksemiaon

Veteksemicon products shop


Thẻ nóng: Vòng lấy nét cacbua silic
Gửi yêu cầu
Thông tin liên lạc
  • Địa chỉ

    Đường Wangda, phố Ziyang, huyện Wuyi, thành phố Kim Hoa, tỉnh Chiết Giang, Trung Quốc

  • điện thoại

    +86-15988690905

Nếu có thắc mắc về Lớp phủ silicon cacbua, Lớp phủ cacbua Tantalum, Than chì đặc biệt hoặc bảng giá, vui lòng để lại email của bạn cho chúng tôi và chúng tôi sẽ liên hệ trong vòng 24 giờ.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept