Đầu vòi hoa sen khí SiC rắn

Đầu vòi hoa sen khí SiC rắn

Vetek S bán dẫn là một công ty tích hợp dành riêng cho nghiên cứu, sản xuất và bán hàng. Chất bán dẫn Vetek đã làm việc trên epitaxy bán dẫn, khắc và các sản phẩm liên quan đến quá trình khác trong nhiều năm, đặc biệt là lớp phủ CVD SIC, lớp phủ CVD TAC và CVD SIC SIC là sản phẩm hàng đầu của chúng tôi.

Đầu vòi hoa sen khí SiC rắn bán dẫn VeTek thường được sử dụng để phân phối đều các khí tiền chất lên bề mặt đế trong quá trình CVD bán dẫn. Sử dụng vật liệu CVD-SiC cho đầu vòi hoa sen mang lại một số lợi ích. Độ dẫn nhiệt cao của nó giúp tản nhiệt sinh ra trong quá trình CVD, đảm bảo phân bổ nhiệt độ đồng đều trên bề mặt. Ngoài ra, độ ổn định hóa học của vòi sen CVD sic cho phép nó chịu được các loại khí ăn mòn và môi trường khắc nghiệt thường gặp trong quy trình CVD. 

Thiết kế của vòi hoa sen CVD SiC có thể được điều chỉnh cho phù hợp với các yêu cầu quy trình và hệ thống CVD cụ thể. Tuy nhiên, chúng thường bao gồm một tấm hoặc thành phần hình đĩa với một loạt các lỗ hoặc khe được khoan chính xác. Mẫu lỗ và hình dạng được thiết kế cẩn thận để đảm bảo phân phối khí đồng đều và tốc độ dòng chảy trên bề mặt chất nền.

Tính chất vật lý của SiC rắn