Nghiên cứu điển hình

Khám phá cách công nghệ laser dẫn hướng bằng nước của VeTek mang lại các lỗ xuyên Φ0,15 mm đồng đều trên nền SiC 2 mm không có độ côn, HAZ tối thiểu và năng suất cao cho các ứng dụng bán dẫn.

Vấn đề kỹ thuật thách thức nhất đối với các chân nâng rỗng của thiết bị bán dẫn không phải là lớp phủ bề mặt bên ngoài mà là đạt được lớp phủ CVD ổn định và đồng nhất trên thành trong của cấu trúc rỗng. Từ việc kiểm soát tính đồng nhất của lớp phủ thành bên trong đến đảm bảo độ sạch của lỗ khoan bên trong, mỗi bước của quy trình đều ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất bán bán dẫn. Bài viết này phân tích những thách thức cốt lõi của lớp phủ tường bên trong chốt nâng rỗng và các lộ trình kỹ thuật chính.