Sic xốp

Vetek S bán dẫn là nhà sản xuất gốm sic xốp hàng đầu cho ngành công nghiệp bán dẫn. Đã qua ISO9001, chất bán dẫn Vetek có quyền kiểm soát tốt chất lượng. Chất bán dẫn Vetek luôn cam kết trở thành một nhà đổi mới và lãnh đạo trong ngành công nghiệp gốm sic xốp.

Đĩa gốm sic xốp

Gốm sic xốp là vật liệu gốm được bắn ở nhiệt độ cao và có một số lượng lớn lỗ chân lông liên kết hoặc đóng bên trong. Nó còn được gọi là cốc hút chân không vi mô, với kích thước lỗ rỗng từ 2 đến 100um.

Gốm sic xốp đã được sử dụng rộng rãi trong luyện kim, công nghiệp hóa chất, bảo vệ môi trường, sinh học, chất bán dẫn và các lĩnh vực khác. Gốm sic xốp có thể được điều chế bằng phương pháp tạo bọt, phương pháp gel sol, phương pháp đúc băng, phương pháp thiêu kết rắn và phương pháp nhiệt phân ngâm tẩm.

Chuẩn bị gốm sic xốp bằng phương pháp thiêu kết

Tính chất của gốm silicon xốp gốm sứ được điều chế bằng các phương pháp khác nhau như là một hàm của độ xốp

cốc hút sic xốp trong chế tạo wafer bán dẫn

Gốm sứ sic xốp của Bán dẫn Vetek đóng vai trò kẹp và mang theo các tấm wafer trong sản xuất chất bán dẫn. Chúng dày đặc và đồng đều, sức mạnh cao, tính thấm không khí tốt và đồng đều trong hấp phụ.

Họ giải quyết hiệu quả nhiều vấn đề khó khăn như thụt wafer và phân hủy tĩnh điện chip, và giúp đạt được việc xử lý các tấm wafer chất lượng cao.

Biểu đồ làm việc của gốm sic xốp:

Nguyên tắc làm việc của gốm sic xốp: wafer silicon được cố định theo nguyên tắc hấp phụ chân không. Trong quá trình xử lý, các lỗ nhỏ trên gốm sic xốp được sử dụng để chiết xuất không khí giữa wafer silicon và bề mặt gốm, do đó wafer silicon và bề mặt gốm ở áp suất thấp, do đó cố định silicon wafer.

Sau khi chế biến, nước plasma chảy ra khỏi các lỗ để ngăn wafer silicon bám vào bề mặt gốm, đồng thời, wafer silicon và bề mặt gốm được làm sạch.

Cấu trúc vi mô của gốm sic xốp

Làm nổi bật lợi thế và tính năng:

● Điện trở nhiệt độ cao

● Khả năng chống hao mòn

● Kháng hóa học

● Sức mạnh cơ học cao

● Dễ dàng tái tạo

● Điện trở sốc nhiệt tuyệt vời

mục	đơn vị	Gốm sic xốp
Đường kính lỗ chân lông	một	10 ~ 30
Tỉ trọng	g / cm3	1.2 ~ 1.3
Bề mặt rougHness	một	2,5 ~ 3
Giá trị hấp thụ không khí	KPA	-45
Sức mạnh uốn	MPA	30
Hằng số điện môi	1MHz	33
Độ dẫn nhiệt	W/(m · k)	60 ~ 70

Có một số yêu cầu cao đối với gốm sic xốp:

1. Hấp phụ chân không mạnh mẽ

2. Độ phẳng rất quan trọng, nếu không sẽ có vấn đề trong quá trình hoạt động

3. Không biến dạng và không có tạp chất kim loại

Do đó, giá trị hấp thụ không khí của gốm sic xốp của chất bán dẫn vetek đạt -45kpa. Đồng thời, chúng được tăng cường ở mức 1200 ℃ trong 1,5 giờ trước khi rời khỏi nhà máy để loại bỏ tạp chất và được đóng gói trong túi chân không.

Gốm sic xốp được sử dụng rộng rãi trong công nghệ xử lý wafer, chuyển giao và các liên kết khác. Họ đã đạt được những thành tựu tuyệt vời trong liên kết, cắt bỏ, gắn kết, đánh bóng và các liên kết khác.