Chuck chân không xốp SiC

Chuck chân không sic bán dẫn vetek chủ yếu bao gồm cacbua silicon (sic), một vật liệu gốm có hiệu suất tuyệt vời. Chuck chân không sic xốp có thể đóng vai trò hỗ trợ và cố định wafer trong quá trình xử lý bán dẫn. Sản phẩm này có thể đảm bảo sự phù hợp gần giữa wafer và mâm cặp bằng cách cung cấp lực hút đồng đều, tránh hiệu quả sự cong vênh và biến dạng của wafer, do đó đảm bảo độ phẳng của dòng chảy trong quá trình xử lý. Ngoài ra, điện trở nhiệt độ cao của cacbua silicon có thể đảm bảo sự ổn định của mâm cặp và ngăn wafer rơi ra do sự giãn nở nhiệt. Chào mừng bạn đến tham khảo ý kiến ​​thêm.

Trong lĩnh vực thiết bị điện tử, mâm cặp chân không sic xốp có thể được sử dụng làm vật liệu bán dẫn để cắt laser, thiết bị năng lượng sản xuất, mô -đun quang điện và các thành phần điện tử. Độ dẫn nhiệt cao và điện trở nhiệt độ cao của nó làm cho nó trở thành một vật liệu lý tưởng cho các thiết bị điện tử. Trong lĩnh vực quang điện tử, có thể sử dụng mâm cặp chân không sic xốp để sản xuất các thiết bị quang điện tử như laser, vật liệu đóng gói LED và pin mặt trời. Tính chất quang học tuyệt vời và khả năng chống ăn mòn của nó giúp cải thiện hiệu suất và tính ổn định của thiết bị.

Chất bán dẫn Vetek có thể cung cấp:

1. Sạch sẽ: Sau khi xử lý, khắc, khắc và phân phối cuối cùng SIC, nó phải được tăng cường ở 1200 độ trong 1,5 giờ để đốt cháy tất cả các tạp chất và sau đó được đóng gói trong túi chân không.

2. Sản phẩm phẳng: Trước khi đặt tấm wafer, nó phải ở trên -60kpa khi đặt trên thiết bị để ngăn chất mang bay đi trong quá trình truyền nhanh. Sau khi đặt wafer, nó phải ở trên -70kpa. Nếu nhiệt độ không tải thấp hơn -50kpa, máy sẽ tiếp tục cảnh báo và không thể hoạt động. Vì vậy, độ phẳng của mặt sau là rất quan trọng.

3. Thiết kế đường dẫn khí: tùy chỉnh theo yêu cầu của khách hàng.

3 giai đoạn kiểm tra khách hàng:

1. Thử nghiệm oxy hóa: không có oxy (khách hàng làm nóng nhanh tới 900 độ nên sản phẩm cần được ủ ở 1100 độ).

2. Thử nghiệm dư lượng kim loại: Nhiệt nhanh lên tới 1200 độ, không có tạp chất kim loại nào được giải phóng để làm ô nhiễm wafer.

3. Kiểm tra chân không: Sự khác biệt giữa áp suất có và không có wafer nằm trong +2KA (lực hút).

Bảng đặc điểm đặc điểm của Sic Semicductor Sic Bacuum Chuck:

Các cửa hàng Chuck Chuck Bán dẫn Sic Chuck Porous Chuck của Vetek:

Tổng quan về chuỗi công nghiệp epitaxy chip bán dẫn: