Sử dụng cacbua silicon rắn

SiC silicon rắn là một vật liệu gốm tiên tiến bao gồm silicon (SI) và carbon (C). Nó không phải là một chất được tìm thấy rộng rãi trong tự nhiên và thường đòi hỏi tổng hợp nhiệt độ cao. Sự kết hợp độc đáo của các tính chất vật lý và hóa học làm cho nó trở thành một vật liệu chính hoạt động tốt trong môi trường khắc nghiệt, đặc biệt là trong sản xuất chất bán dẫn.

Ⅰ. Tính chất vật lý quan trọng của cacbua silicon rắn (SIC rắn)

▶ Độ cứng cao và khả năng chống mài mòn:

SIC có độ cứng Mohs khoảng 9-9,5, chỉ đứng sau kim cương. Điều này mang lại cho nó vết xước tuyệt vời và khả năng chống mài mòn, và nó hoạt động tốt trong các môi trường cần phải chịu được căng thẳng cơ học hoặc xói mòn hạt.

▶ Sức mạnh và độ ổn định nhiệt độ cao tuyệt vời

1. SIC có thể duy trì cường độ cơ học và tính toàn vẹn cấu trúc của nó ở nhiệt độ cực cao (hoạt động ở nhiệt độ lên tới 1600 ° C hoặc thậm chí cao hơn, tùy thuộc vào loại và độ tinh khiết).

2. Hệ số giãn nở nhiệt thấp của nó có nghĩa là nó có độ ổn định kích thước tốt và không dễ bị biến dạng hoặc nứt khi nhiệt độ thay đổi mạnh mẽ.

▶ Độ dẫn nhiệt cao:

Không giống như nhiều vật liệu gốm khác, SIC có độ dẫn nhiệt tương đối cao. Điều này cho phép nó tiến hành và tiêu tan nhiệt hiệu quả, điều này rất quan trọng đối với các ứng dụng yêu cầu kiểm soát nhiệt độ và tính đồng nhất chính xác.

Hòa bình hóa hóa học vượt trội và khả năng chống ăn mòn:

SIC thể hiện sự kháng thuốc cực mạnh đối với hầu hết các axit mạnh, bazơ mạnh và khí ăn mòn thường được sử dụng trong các quá trình bán dẫn (như khí dựa trên fluorine và clo trong môi trường plasma), ngay cả ở nhiệt độ cao. Điều này là rất quan trọng để ngăn chặn các thành phần buồng quá trình bị ăn mòn hoặc bị ô nhiễm.

▶ Tiềm năng cho độ tinh khiết cao:

Lớp phủ sic có độ tinh khiết cực kỳ cao hoặc các bộ phận sic rắn có thể được sản xuất thông qua các quy trình sản xuất cụ thể (như lắng đọng hơi hóa học - CVD). Trong sản xuất chất bán dẫn, độ tinh khiết vật liệu ảnh hưởng trực tiếp đến mức độ ô nhiễm của wafer và năng suất của sản phẩm cuối cùng.

▶ Độ cứng cao (mô đun của Young):

SIC có mô đun Young của High Young, có nghĩa là nó rất khó và không dễ biến dạng dưới tải. Điều này rất quan trọng đối với các thành phần cần duy trì hình dạng và kích thước chính xác (chẳng hạn như người mang wafer).

▶ Tính chất điện có thể điều chỉnh:

Mặc dù nó thường được sử dụng như một chất cách điện hoặc chất bán dẫn (tùy thuộc vào dạng tinh thể và pha tạp của nó), khả năng điện trở suất cao của nó giúp quản lý hành vi plasma hoặc ngăn chặn xả hồ quang không cần thiết trong một số ứng dụng thành phần.

Ⅱ. Các ứng dụng cụ thể và lợi thế của các sản phẩm hoàn chỉnh silicon cacbua rắn (SIC) trong sản xuất chất bán dẫn

Dựa trên các tính chất vật lý ở trên, SIC SIC được sản xuất thành các thành phần chính xác khác nhau và được sử dụng rộng rãi trong nhiều liên kết chính của các quy trình mặt trước bán dẫn.

1) Solid sic wafer hãng

Ứng dụng:

Được sử dụng để mang và chuyển các tấm silicon trong các quá trình nhiệt độ cao (như khuếch tán, oxy hóa, LPCVD-lắng đọng hơi hóa học áp suất thấp).

Phân tích lợi thế:

1. Tính ổn định nhiệt độ cao: Ở nhiệt độ quá trình vượt quá 1000 ° C, các chất mang SIC sẽ không làm mềm, biến dạng hoặc sag dễ dàng như thạch anh và có thể duy trì chính xác khoảng cách wafer để đảm bảo tính đồng nhất của quá trình.

2. Cuộc sống lâu dài và thế hệ hạt thấp: Độ cứng và khả năng chống mài mòn của SIC vượt xa thạch anh, và không dễ để tạo ra các hạt nhỏ để làm ô nhiễm các tấm wafer. Tuổi thọ dịch vụ của nó thường là nhiều lần hoặc thậm chí hàng chục lần của các nhà mạng thạch anh, giảm tần suất thay thế và chi phí bảo trì.

3. Hiệu chứng hóa học: Nó có thể chống lại sự xói mòn hóa học trong bầu không khí quá trình và làm giảm sự ô nhiễm của wafer gây ra bởi sự kết tủa của các vật liệu của chính nó.

4. Độ dẫn nhiệt: Độ dẫn nhiệt tốt giúp đạt được sự gia nhiệt nhanh chóng và đồng đều và làm mát của các chất mang và tấm wafer, cải thiện hiệu quả của quá trình và tính đồng nhất nhiệt độ.

5. Độ tinh khiết cao: Các nhà mạng SIC có độ tinh khiết cao có thể được sản xuất để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của các nút nâng cao để kiểm soát tạp chất.

Giá trị người dùng:

Cải thiện tính ổn định của quy trình, tăng năng suất sản phẩm, giảm thời gian chết do thất bại hoặc ô nhiễm thành phần và giảm chi phí sở hữu tổng thể trong thời gian dài.

2) Đầu vòi hoa sen / gas hình sol / gas:

Ứng dụng:

Được lắp đặt trên đỉnh của buồng phản ứng của thiết bị như khắc plasma, lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), v.v., chịu trách nhiệm phân phối các khí xử lý đều đến bề mặt wafer bên dưới.

Phân tích lợi thế:

1. Tính dung nạp huyết tương: Trong môi trường plasma năng lượng cao, hoạt tính hóa học, đầu vòi hoa sen SIC thể hiện khả năng kháng mạnh cực mạnh đối với bắn phá huyết tương và ăn mòn hóa học, vượt trội hơn nhiều so với thạch anh hoặc alumina.

2. Tính đồng nhất và ổn định: Đầu vòi hoa sen sic được gia công chính xác có thể đảm bảo rằng dòng khí được phân phối đều trên toàn bộ bề mặt wafer, điều này rất quan trọng đối với tính đồng nhất của độ dày màng, tính đồng nhất thành phần hoặc tốc độ khắc. Nó có sự ổn định lâu dài tốt và không dễ biến dạng hoặc tắc nghẽn.

3. Quản lý nhiệt: Độ dẫn nhiệt tốt giúp duy trì tính đồng nhất nhiệt độ trên bề mặt vòi hoa sen, điều này rất quan trọng đối với nhiều quá trình lắng đọng hoặc khắc nhiệt.

4. Sự ô nhiễm thấp: Độ tinh khiết và trơ hóa hóa cao làm giảm sự ô nhiễm của các vật liệu riêng của vòi hoa sen trong quá trình này.

Giá trị người dùng:

Cải thiện đáng kể tính đồng nhất và độ lặp lại của kết quả quá trình, mở rộng tuổi thọ dịch vụ của vòi hoa sen, giảm thời gian bảo trì và các vấn đề về hạt, và hỗ trợ các điều kiện quy trình tiên tiến và nghiêm ngặt hơn.

3) Vòng tập trung khắc sic rắn (vòng tập trung / vòng cạnh sic sic):

Ứng dụng:

Chủ yếu được sử dụng trong buồng của thiết bị khắc plasma (như CCP plasma kết hợp điện dung hoặc ETCHER ICP plasma được ghép nối tự động), thường được đặt trên cạnh của chất mang wafer (Chuck), bao quanh wafer. Chức năng của nó là hạn chế và hướng dẫn plasma để nó hoạt động đều hơn trên bề mặt wafer trong khi bảo vệ các thành phần khác của buồng.

Phân tích lợi thế:

1. Kháng mạnh đối với xói mòn huyết tương: Đây là lợi thế nổi bật nhất của vòng tập trung SIC. Trong các plasma khắc cực kỳ tích cực (như hóa chất chứa flo hoặc clo), sic mặc chậm hơn nhiều so với thạch anh, alumina hoặc thậm chí yttria (oxit yttri) và có tuổi thọ cực kỳ dài.

2. Duy trì kích thước tới hạn: Độ cứng và độ cứng cao cao cho phép các vòng tập trung SIC để duy trì tốt hơn hình dạng và kích thước chính xác của chúng trong thời gian sử dụng dài, điều này rất quan trọng để ổn định hình thái huyết tương và đảm bảo khắc tính đồng nhất.

3. Tạo hạt thấp: Do khả năng chống hao mòn, nó làm giảm đáng kể các hạt được tạo ra bởi sự lão hóa thành phần, do đó cải thiện năng suất.

4. Độ tinh khiết cao: Tránh giới thiệu kim loại hoặc các tạp chất khác.

Giá trị người dùng:

Mở rộng đáng kể các chu kỳ thay thế thành phần, giảm đáng kể chi phí bảo trì và thời gian ngừng hoạt động của thiết bị; cải thiện tính ổn định và độ lặp lại của các quá trình khắc; Giảm khuyết điểm và cải thiện năng suất sản xuất chip cao cấp.

.Bản tóm tắt

Carbide silicon rắn đã trở thành một trong những vật liệu chính không thể thiếu trong sản xuất chất bán dẫn hiện đại do sự kết hợp độc đáo của các tính chất vật lý - độ cứng cao, điểm nóng chảy cao, độ dẫn nhiệt cao, độ ổn định hóa học tuyệt vời và khả năng chống ăn mòn. Cho dù đó là một nhà cung cấp để mang theo các tấm wafer, một vòi hoa sen để kiểm soát phân phối khí, hoặc một vòng tập trung để hướng dẫn plasma, các sản phẩm SIC rắn giúp các nhà sản xuất chip đối phó với các thách thức quá trình ngày càng nghiêm ngặt với hiệu suất và độ tin cậy tuyệt vời của chúng, cải thiện hiệu quả sản xuất và năng suất sản phẩm, và thúc đẩy sự phát triển bền vững của toàn bộ ngành công nghiệp.

Là nhà sản xuất và nhà cung cấp hàng đầu các sản phẩm cacbua silicon rắn ở Trung Quốc,Bán kếtCác sản phẩm củaTàu sân bay / thuyền sol sic, Đầu vòi hoa sen / vòi phun khí SIC SIC, Nhẫn tập trung / cạnh tập trung vào sicđược bán rộng rãi ở châu Âu và Hoa Kỳ, và đã giành được sự khen ngợi và sự công nhận cao từ những khách hàng này. Chúng tôi chân thành mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc. Chào mừng bạn đến tham khảo ý kiến.

Mob/whatsapp: +86-180 6922 0752

Email: anny@veteksemi.com