Đầu vòi hoa sen hình đĩa sic rắn

Vai trò của đầu vòi hoa sen hình đĩa SIC trong quá trình CVD là phân phối đều khí phản ứng phía trên khu vực lắng đọng để khí có thể được khuếch tán đều trong lò phản ứng để có được một màng phẳng và đồng đều.

Đầu vòi hoa sen rắn được đặt ở đầu lò CVD hoặc gần đầu vào khí. Khí phản ứng đi vào cấu trúc hình đĩa qua các lỗ phân bố trên đầu vòi hoa sen và khuếch tán xung quanh dọc theo bề mặt của đầu vòi hoa sen. Thông qua thiết kế nhiều kênh và các cửa hàng phân bố đều, khí phản ứng có thể chảy đều đến toàn bộ khu vực lò phản ứng, tránh nồng độ hoặc nhiễu loạn và đảm bảo tính nhất quán của độ dày lớp lắng đọng trên đế.

Đồng thời, cấu trúc của đầu vòi hoa sen hình đĩa bán dẫn cũng có hiệu ứng khuếch tán, có thể làm giảm hiệu quả tốc độ dòng của khí, do đó nó có thể được khuếch tán đồng đều ở đầu ra vòi phun và giảm tác động của sự thay đổi lưu lượng khí cục bộ đối với hiệu ứng lắng đọng. Nó giúp tránh tác động khí trực tiếp đến chất nền và ngăn chặn vấn đề lắng đọng không đồng đều.

Từ góc độ của vật liệu, đầu vòi hoa sen khí sic rắn được làm bằng vật liệu SIC có khả năng kháng nhiệt độ cao, chống ăn mòn và vật liệu rắn có độ bền cao với độ ổn định rất cao. Nó có thể hoạt động ổn định trong một thời gian dài trong lò CVD và có tuổi thọ dài.

Bán dẫn Vetek cung cấp các dịch vụ tùy chỉnh chất lượng cao. Bố cục hình dạng và lỗ của đầu vòi hoa sen hình đĩa SIC có thể được điều chỉnh linh hoạt theo các yêu cầu quy trình của khách hàng để thích ứng với các loại khí, tốc độ dòng chảy và vật liệu lắng đọng khác nhau. Đối với các kích thước khác nhau của lò phản ứng hoặc kích thước chất nền, đầu vòi hoa sen hình đĩa với đường kính và phân phối lỗ khác nhau có thể được tùy chỉnh để tối ưu hóa hiệu ứng phân phối khí.

Bán dẫn Vetek có các quy trình trưởng thành và các công nghệ tiên tiến cho các sản phẩm đầu vòi hoa sen SIC SIC SIC, giúp một số lượng lớn khách hàng đạt được tiến bộ liên tục trong các quy trình CVD. Bán dẫn Vetek mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc.

Tính chất vật lý của sic rắn

Nó bán dẫnCửa hàng sản xuất đầu vòi hoa sen hình đĩa sic