Những vật liệu nào được sử dụng trong các thành phần gốm bán dẫn?

Gốm sứ alumina (al₂o₃)

Gốm Alumina là "công việc" để sản xuất các thành phần gốm. Chúng thể hiện các tính chất cơ học tuyệt vời, các điểm nóng chảy cực cao và độ cứng, khả năng chống ăn mòn, độ ổn định hóa học mạnh, điện trở suất cao và cách điện vượt trội. Chúng thường được sử dụng để chế tạo các tấm đánh bóng, chuck chân không, cánh tay gốm và các bộ phận tương tự.

‌Aluminum nitride gốm sứ (ALN)

Gốm sứ nhôm nitride có độ dẫn nhiệt cao, hệ số giãn nở nhiệt phù hợp với silicon, và hằng số điện môi thấp và mất. Với những ưu điểm như điểm nóng chảy cao, độ cứng, độ dẫn nhiệt và cách nhiệt, chúng chủ yếu được sử dụng trong các chất nền phân tán nhiệt, vòi phun gốm và mâm cặp tĩnh điện.

‌Yttria gốm sứ (y₂o₃)

Gốm Yttria tự hào có điểm nóng chảy cao, độ ổn định hóa học và quang hóa tuyệt vời, năng lượng phonon thấp, độ dẫn nhiệt cao và độ trong suốt tốt. Trong ngành công nghiệp bán dẫn, chúng thường được kết hợp với gốm alumina, ví dụ, lớp phủ Yttria được áp dụng cho gốm sứ alumina để sản xuất các cửa sổ gốm.

‌ silicon nitride gốm sứ (Si₃n₄)

Gốm silicon nitride được đặc trưng bởi điểm nóng chảy cao, độ cứng đặc biệt, độ ổn định hóa học, hệ số giãn nở nhiệt thấp, độ dẫn nhiệt cao và khả năng chống sốc nhiệt mạnh. Họ duy trì khả năng chống va đập nổi bật và sức mạnh dưới 1200 ° C, làm cho chúng trở nên lý tưởng cho chất nền gốm, móc chịu tải, ghim định vị và ống gốm.

‌Silicon gốm cacbua (sic) ‌

Gốm silicon cacbua, giống như kim cương trong các đặc tính, là vật liệu nhẹ, cực kỳ cứng và cường độ cao. Với hiệu suất toàn diện đặc biệt, khả năng chống mài mòn và khả năng chống ăn mòn, chúng được sử dụng rộng rãi trong ghế van, vòng bi trượt, đầu đốt, vòi phun và trao đổi nhiệt.

‌Zirconia gốm (zro₂)

Gốm Zirconia cung cấp cường độ cơ học cao, khả năng chịu nhiệt, kháng axit/kiềm và cách nhiệt tuyệt vời. Dựa trên nội dung Zirconia, chúng được phân loại thành:

• Gốm sứ chính xác (nội dung vượt quá 99,9%, được sử dụng cho chất nền mạch tích hợp và vật liệu cách điện tần số cao).
• Gốm sứ thông thường (đối với các sản phẩm gốm đa năng).

Đặc điểm cấu trúc củaGốm bán dẫn Các thành phần

Gốm sứ ‌

Gốm dày đặc được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn. Chúng đạt được mật độ bằng cách giảm thiểu lỗ chân lông và được chuẩn bị thông qua các phương pháp như thiêu kết phản ứng, thiêu kết không áp lực, thiêu kết pha lỏng, ép nóng và ép đẳng nhiệt nóng.

Gốm sứ

Trái ngược với gốm sứ dày đặc, gốm xốp chứa một khối lượng khoảng trống được kiểm soát. Chúng được phân loại theo kích thước lỗ rỗng thành gốm sứ vi mô, trung mô và macropious. Với mật độ khối lượng thấp, cấu trúc nhẹ, diện tích bề mặt riêng lớn, các đặc tính lọc/cách nhiệt hiệu quả/giảm xóc âm thanh và hiệu suất hóa học/vật lý ổn định, chúng được sử dụng để sản xuất các thành phần khác nhau trong thiết bị bán dẫn.