Quá trình oxy hóa và lò khuếch tán

● Điện trở nhiệt độ cao (lên đến 1600)

● Độ dẫn nhiệt tuyệt vời và độ ổn định nhiệt

● Khả năng chống ăn mòn hóa học tốt

● Hệ số giãn nở nhiệt thấp

● Sức mạnh và độ cứng cao

● Đời sống dịch vụ lâu dài

Trong các lò oxy hóa và khuếch tán, do sự hiện diện của nhiệt độ cao và khí ăn mòn, nhiều thành phần đòi hỏi phải sử dụng các vật liệu nhiệt độ cao và chống ăn mòn, trong đó silicon cacbua (SIC) là một lựa chọn thường được sử dụng. Sau đây là các thành phần cacbua silicon phổ biến được tìm thấy trong lò oxy hóa và lò khuếch tán:

● Thuyền wafer

Thuyền wafer silicon cacbua là một thùng chứa được sử dụng để mang theo các tấm silicon, có thể chịu được nhiệt độ cao và sẽ không phản ứng với các tấm silicon.

● Ống lò

Ống lò là thành phần cốt lõi của lò khuếch tán, được sử dụng để chứa các tấm silicon và kiểm soát môi trường phản ứng. Các ống lò cacbua silicon có hiệu suất chống ăn mòn và nhiệt độ cao tuyệt vời.

● Tấm vách ngăn

Được sử dụng để điều chỉnh luồng khí và phân phối nhiệt độ bên trong lò

● ống bảo vệ cặp nhiệt điện

Được sử dụng để bảo vệ nhiệt độ đo các cặp nhiệt điện khỏi tiếp xúc trực tiếp với khí ăn mòn.

● Cantilever Paddle

Các mái chèo đúc hẫng cacbua silicon có khả năng chống lại nhiệt độ cao và ăn mòn, và được sử dụng để vận chuyển thuyền silicon hoặc thuyền thạch anh mang bánh silicon vào các ống lò khuếch tán.

● kim phun khí

Được sử dụng để đưa khí phản ứng vào lò, nó cần phải có khả năng chống lại nhiệt độ cao và ăn mòn.

● tàu sân bay

Hãng vận chuyển thuyền wafer silicon cacbua được sử dụng để sửa chữa và hỗ trợ các tấm silicon, có những ưu điểm như sức mạnh cao, khả năng chống ăn mòn và ổn định cấu trúc tốt.

● Cửa lò

Lớp phủ hoặc linh kiện silicon cacbua cũng có thể được sử dụng ở bên trong cửa lò.

● Phần tử sưởi ấm

Các yếu tố gia nhiệt cacbua silicon phù hợp với nhiệt độ cao, công suất cao và có thể nhanh chóng tăng nhiệt độ lên hơn 1000.

● Lớp lót sic

Được sử dụng để bảo vệ thành bên trong của các ống lò, nó có thể giúp giảm sự mất năng lượng nhiệt và chịu được môi trường khắc nghiệt như nhiệt độ cao và áp suất cao.