Quá trình oxy hóa và lò khuếch tán

Các lò oxy hóa và khuếch tán được sử dụng trong các trường khác nhau như thiết bị bán dẫn, thiết bị riêng biệt, thiết bị quang điện tử, thiết bị điện tử, pin mặt trời và sản xuất mạch tích hợp quy mô lớn. Chúng được sử dụng cho các quá trình bao gồm khuếch tán, oxy hóa, ủ, hợp kim và thiêu kết các tấm wafer.

Vetek S bán dẫn là nhà sản xuất hàng đầu chuyên sản xuất các thành phần than chì, silicon cacbua và thạch anh tinh khiết cao trong các lò oxy hóa và khuếch tán. Chúng tôi cam kết cung cấp các thành phần lò chất lượng cao cho các ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện, và đi đầu trong công nghệ phủ bề mặt, như CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon, v.v.

Những lợi thế của các thành phần silicon bán dẫn vetek:

● Điện trở nhiệt độ cao (lên đến 1600)

● Độ dẫn nhiệt tuyệt vời và độ ổn định nhiệt

● Khả năng chống ăn mòn hóa học tốt

● Hệ số giãn nở nhiệt thấp

● Sức mạnh và độ cứng cao

● Đời sống dịch vụ lâu dài

Trong các lò oxy hóa và khuếch tán, do sự hiện diện của nhiệt độ cao và khí ăn mòn, nhiều thành phần đòi hỏi phải sử dụng các vật liệu nhiệt độ cao và chống ăn mòn, trong đó silicon cacbua (SIC) là một lựa chọn thường được sử dụng. Sau đây là các thành phần cacbua silicon phổ biến được tìm thấy trong lò oxy hóa và lò khuếch tán:

● Thuyền wafer

Thuyền wafer silicon cacbua là một thùng chứa được sử dụng để mang theo các tấm silicon, có thể chịu được nhiệt độ cao và sẽ không phản ứng với các tấm silicon.

● Ống lò

Ống lò là thành phần cốt lõi của lò khuếch tán, được sử dụng để chứa các tấm silicon và kiểm soát môi trường phản ứng. Các ống lò cacbua silicon có hiệu suất chống ăn mòn và nhiệt độ cao tuyệt vời.

● Tấm vách ngăn

Được sử dụng để điều chỉnh luồng khí và phân phối nhiệt độ bên trong lò

● ống bảo vệ cặp nhiệt điện

Được sử dụng để bảo vệ nhiệt độ đo các cặp nhiệt điện khỏi tiếp xúc trực tiếp với khí ăn mòn.

● Cantilever Paddle

Các mái chèo đúc hẫng cacbua silicon có khả năng chống lại nhiệt độ cao và ăn mòn, và được sử dụng để vận chuyển thuyền silicon hoặc thuyền thạch anh mang bánh silicon vào các ống lò khuếch tán.

● kim phun khí

Được sử dụng để đưa khí phản ứng vào lò, nó cần phải có khả năng chống lại nhiệt độ cao và ăn mòn.

● tàu sân bay

Hãng vận chuyển thuyền wafer silicon cacbua được sử dụng để sửa chữa và hỗ trợ các tấm silicon, có những ưu điểm như sức mạnh cao, khả năng chống ăn mòn và ổn định cấu trúc tốt.

● Cửa lò

Lớp phủ hoặc linh kiện silicon cacbua cũng có thể được sử dụng ở bên trong cửa lò.

● Phần tử sưởi ấm

Các yếu tố gia nhiệt cacbua silicon phù hợp với nhiệt độ cao, công suất cao và có thể nhanh chóng tăng nhiệt độ lên hơn 1000.

● Lớp lót sic

Được sử dụng để bảo vệ thành bên trong của các ống lò, nó có thể giúp giảm sự mất năng lượng nhiệt và chịu được môi trường khắc nghiệt như nhiệt độ cao và áp suất cao.

View as

Lò nung ép nóng chân không hạt giống cacbua silic

Công nghệ liên kết hạt SiC là một trong những quá trình quan trọng ảnh hưởng đến sự phát triển của tinh thể. VETEK đã phát triển lò ép nóng chân không chuyên dụng để liên kết hạt dựa trên đặc điểm của quá trình này. Lò có thể giảm thiểu một cách hiệu quả các khuyết tật khác nhau được tạo ra trong quá trình liên kết hạt giống, từ đó cải thiện năng suất và chất lượng cuối cùng của thỏi tinh thể.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Thuyền Cassette Silicon

Thuyền Cassette Silicon của Veteksemiaon là một thiết bị mang wafer được thiết kế chính xác được phát triển đặc biệt cho các ứng dụng lò bán dẫn nhiệt độ cao, bao gồm quá trình oxy hóa, khuếch tán, truyền động và ủ. Được chế tạo từ silicon có độ tinh khiết cực cao và được hoàn thiện theo các tiêu chuẩn kiểm soát ô nhiễm tiên tiến, nó cung cấp một nền tảng trơ về mặt hóa học, ổn định nhiệt, phù hợp chặt chẽ với các đặc tính của tấm bán dẫn silicon. Sự liên kết này giảm thiểu ứng suất nhiệt, giảm sự hình thành trượt và khuyết tật, đồng thời đảm bảo phân phối nhiệt đặc biệt đồng đều trong suốt mẻ

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Mái chèo đúc hẫng silicon cacbua để xử lý wafer

Mái chèo đúc hẫng bằng silicon cacbua của Veteksemiaon được thiết kế để xử lý tấm bán dẫn tiên tiến trong sản xuất chất bán dẫn. Được làm bằng SiC có độ tinh khiết cao, nó mang lại độ ổn định nhiệt vượt trội, độ bền cơ học vượt trội và khả năng chống chịu tuyệt vời với nhiệt độ cao và môi trường ăn mòn. Những tính năng này đảm bảo xử lý tấm wafer chính xác, kéo dài tuổi thọ và hiệu suất đáng tin cậy trong các quy trình như MOCVD, epit Wax và khuếch tán. Chào mừng bạn đến tham khảo ý kiến.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Cánh tay robot cacbua silicon

Cánh tay robot silicon cacbua (SIC) của chúng tôi được thiết kế để xử lý wafer hiệu suất cao trong sản xuất chất bán dẫn tiên tiến. Được làm từ cacbua silicon có độ tinh khiết cao, cánh tay robot này cung cấp khả năng chống lại nhiệt độ cao, ăn mòn huyết tương và tấn công hóa học, đảm bảo hoạt động đáng tin cậy trong môi trường phòng sạch. Sức mạnh cơ học đặc biệt và độ ổn định kích thước của nó cho phép xử lý wafer chính xác trong khi giảm thiểu rủi ro ô nhiễm, làm cho nó trở thành một lựa chọn lý tưởng cho MOCVD, epitax, cấy ion và các ứng dụng xử lý wafer quan trọng khác. Chúng tôi hoan nghênh yêu cầu của bạn.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Thuyền silicon cacbide sic

Các thuyền wafer sic vetksemia được sử dụng rộng rãi trong các quá trình nhiệt độ cao quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, đóng vai trò là chất mang đáng tin cậy cho quá trình oxy hóa, khuếch tán và ủ cho các mạch tích hợp dựa trên silicon. Họ cũng xuất sắc trong lĩnh vực bán dẫn thế hệ thứ ba, hoàn toàn phù hợp cho các quy trình đòi hỏi như tăng trưởng epiticular (EPI) và lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD) cho các thiết bị SIC và GaN. Họ cũng hỗ trợ chế tạo nhiệt độ cao của pin mặt trời hiệu quả cao trong ngành công nghiệp quang điện. Mong được tư vấn thêm của bạn.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Mái chèo sic đúc

BÀI VIẾT CANTILEVER VETEKSOMONON là cánh tay hỗ trợ cacbua silicon có độ tinh khiết cao được thiết kế để xử lý wafer trong lò khuếch tán ngang và lò phản ứng epiticular. Với độ dẫn nhiệt đặc biệt, khả năng chống ăn mòn và cường độ cơ học, các mái chèo này đảm bảo sự ổn định và sạch sẽ trong môi trường bán dẫn đòi hỏi. Có sẵn trong các kích thước tùy chỉnh và được tối ưu hóa cho cuộc sống dịch vụ lâu dài.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Là một nhà sản xuất và nhà cung cấp chuyên nghiệp Quá trình oxy hóa và lò khuếch tán tại Trung Quốc, chúng tôi có nhà máy riêng của chúng tôi. Cho dù bạn cần các dịch vụ tùy chỉnh để đáp ứng các nhu cầu cụ thể của khu vực của bạn hoặc muốn mua nâng cao và bền Quá trình oxy hóa và lò khuếch tán được thực hiện tại Trung Quốc, bạn có thể để lại cho chúng tôi một tin nhắn.

Mã QR

Về chúng tôi

Các sản phẩm

Liên hệ chúng tôi

Điện thoại
+86-15988690905
Số fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Địa chỉ
Đường Wangda, phố Ziyang, huyện Wuyi, thành phố Kim Hoa, tỉnh Chiết Giang, Trung Quốc

Trình đơn web

Tìm kiếm sản phẩm

Ngôn ngữ

Thoát khỏi menu

Quá trình oxy hóa và lò khuếch tán

Những lợi thế của các thành phần silicon bán dẫn vetek:

Lò nung ép nóng chân không hạt giống cacbua silic

Thuyền Cassette Silicon

Mái chèo đúc hẫng silicon cacbua để xử lý wafer

Cánh tay robot cacbua silicon

Thuyền silicon cacbide sic

Mái chèo sic đúc

Gửi yêu cầu

Mã QR

Về chúng tôi

Các sản phẩm

Liên hệ chúng tôi

Điện thoại

Số fax

E-mail

Địa chỉ