Lò oxy hóa và khuếch tán

Lò oxy hóa và khuếch tán được sử dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau như thiết bị bán dẫn, thiết bị rời rạc, thiết bị quang điện tử, thiết bị điện tử công suất, pin mặt trời và sản xuất mạch tích hợp quy mô lớn. Chúng được sử dụng cho các quá trình bao gồm khuếch tán, oxy hóa, ủ, tạo hợp kim và thiêu kết các tấm bán dẫn.

VeTek Semiconductor là nhà sản xuất hàng đầu chuyên sản xuất các thành phần than chì, cacbua silic và thạch anh có độ tinh khiết cao trong lò oxy hóa và lò khuếch tán. Chúng tôi cam kết cung cấp các thành phần lò chất lượng cao cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện, đồng thời đi đầu trong công nghệ phủ bề mặt, như CVD-SiC, CVD-TaC, pyrocarbon, v.v.

Ưu điểm của linh kiện cacbua silic bán dẫn VeTek:

Chịu nhiệt độ cao (lên tới 1600oC)

Độ dẫn nhiệt tuyệt vời và ổn định nhiệt

Chống ăn mòn hóa học tốt

Hệ số giãn nở nhiệt thấp

Độ bền và độ cứng cao

Tuổi thọ dài

Trong lò oxy hóa và lò khuếch tán, do có nhiệt độ cao và khí ăn mòn, nhiều bộ phận đòi hỏi phải sử dụng vật liệu chịu nhiệt độ cao và chống ăn mòn, trong đó cacbua silic (SiC) là lựa chọn thường được sử dụng. Sau đây là các thành phần cacbua silic phổ biến được tìm thấy trong lò oxy hóa và lò khuếch tán:

Thuyền bánh xốp

Thuyền wafer silicon cacbua là một thùng chứa dùng để chở các tấm wafer silicon, có thể chịu được nhiệt độ cao và sẽ không phản ứng với các tấm wafer silicon.

ống lò

Ống lò là thành phần cốt lõi của lò khuếch tán, dùng để chứa các tấm silicon và kiểm soát môi trường phản ứng. Ống lò nung cacbua silic có hiệu suất chống ăn mòn và nhiệt độ cao tuyệt vời.

Tấm vách ngăn

Dùng để điều chỉnh luồng không khí và phân bổ nhiệt độ bên trong lò

Ống bảo vệ cặp nhiệt điện

Được sử dụng để bảo vệ cặp nhiệt điện đo nhiệt độ khỏi tiếp xúc trực tiếp với khí ăn mòn.

Mái chèo đúc hẫng

Mái chèo đúc hẫng cacbua silic có khả năng chịu nhiệt độ cao và ăn mòn, được sử dụng để vận chuyển thuyền silicon hoặc thuyền thạch anh chở tấm silicon vào ống lò khuếch tán.

Kim phun khí

Dùng để đưa khí phản ứng vào lò, cần chịu được nhiệt độ cao và chống ăn mòn.

Người chở thuyền

Giá đỡ thuyền wafer cacbua silic được sử dụng để cố định và hỗ trợ các tấm wafer silicon, có các ưu điểm như độ bền cao, khả năng chống ăn mòn và độ ổn định cấu trúc tốt.

Cửa lò

Lớp phủ hoặc linh kiện cacbua silic cũng có thể được sử dụng ở bên trong cửa lò.

Yếu tố làm nóng

Các bộ phận làm nóng bằng cacbua silic thích hợp với nhiệt độ cao, công suất cao và có thể nhanh chóng tăng nhiệt độ lên hơn 1000oC.

Lớp lót SiC

Được sử dụng để bảo vệ thành trong của ống lò, nó có thể giúp giảm tổn thất năng lượng nhiệt và chịu được môi trường khắc nghiệt như nhiệt độ cao và áp suất cao.