Quá trình oxy hóa và lò khuếch tán

Các lò oxy hóa và khuếch tán được sử dụng trong các trường khác nhau như thiết bị bán dẫn, thiết bị riêng biệt, thiết bị quang điện tử, thiết bị điện tử, pin mặt trời và sản xuất mạch tích hợp quy mô lớn. Chúng được sử dụng cho các quá trình bao gồm khuếch tán, oxy hóa, ủ, hợp kim và thiêu kết các tấm wafer.

Vetek S bán dẫn là nhà sản xuất hàng đầu chuyên sản xuất các thành phần than chì, silicon cacbua và thạch anh tinh khiết cao trong các lò oxy hóa và khuếch tán. Chúng tôi cam kết cung cấp các thành phần lò chất lượng cao cho các ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện, và đi đầu trong công nghệ phủ bề mặt, như CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon, v.v.

Những lợi thế của các thành phần silicon bán dẫn vetek:

● Điện trở nhiệt độ cao (lên đến 1600)

● Độ dẫn nhiệt tuyệt vời và độ ổn định nhiệt

● Khả năng chống ăn mòn hóa học tốt

● Hệ số giãn nở nhiệt thấp

● Sức mạnh và độ cứng cao

● Đời sống dịch vụ lâu dài

Trong các lò oxy hóa và khuếch tán, do sự hiện diện của nhiệt độ cao và khí ăn mòn, nhiều thành phần đòi hỏi phải sử dụng các vật liệu nhiệt độ cao và chống ăn mòn, trong đó silicon cacbua (SIC) là một lựa chọn thường được sử dụng. Sau đây là các thành phần cacbua silicon phổ biến được tìm thấy trong lò oxy hóa và lò khuếch tán:

● Thuyền wafer

Thuyền wafer silicon cacbua là một thùng chứa được sử dụng để mang theo các tấm silicon, có thể chịu được nhiệt độ cao và sẽ không phản ứng với các tấm silicon.

● Ống lò

Ống lò là thành phần cốt lõi của lò khuếch tán, được sử dụng để chứa các tấm silicon và kiểm soát môi trường phản ứng. Các ống lò cacbua silicon có hiệu suất chống ăn mòn và nhiệt độ cao tuyệt vời.

● Tấm vách ngăn

Được sử dụng để điều chỉnh luồng khí và phân phối nhiệt độ bên trong lò

● ống bảo vệ cặp nhiệt điện

Được sử dụng để bảo vệ nhiệt độ đo các cặp nhiệt điện khỏi tiếp xúc trực tiếp với khí ăn mòn.

● Cantilever Paddle

Các mái chèo đúc hẫng cacbua silicon có khả năng chống lại nhiệt độ cao và ăn mòn, và được sử dụng để vận chuyển thuyền silicon hoặc thuyền thạch anh mang bánh silicon vào các ống lò khuếch tán.

● kim phun khí

Được sử dụng để đưa khí phản ứng vào lò, nó cần phải có khả năng chống lại nhiệt độ cao và ăn mòn.

● tàu sân bay

Hãng vận chuyển thuyền wafer silicon cacbua được sử dụng để sửa chữa và hỗ trợ các tấm silicon, có những ưu điểm như sức mạnh cao, khả năng chống ăn mòn và ổn định cấu trúc tốt.

● Cửa lò

Lớp phủ hoặc linh kiện silicon cacbua cũng có thể được sử dụng ở bên trong cửa lò.

● Phần tử sưởi ấm

Các yếu tố gia nhiệt cacbua silicon phù hợp với nhiệt độ cao, công suất cao và có thể nhanh chóng tăng nhiệt độ lên hơn 1000.

● Lớp lót sic

Được sử dụng để bảo vệ thành bên trong của các ống lò, nó có thể giúp giảm sự mất năng lượng nhiệt và chịu được môi trường khắc nghiệt như nhiệt độ cao và áp suất cao.

View as

Thuyền wafer bằng gốm siliccacon cacbua

VeTek Semiconductor chuyên cung cấp các tấm wafer, bệ và giá đỡ wafer tùy chỉnh chất lượng cao theo cấu hình dọc/cột và ngang để đáp ứng các yêu cầu quy trình bán dẫn khác nhau. Là nhà sản xuất và cung cấp màng phủ cacbua silic hàng đầu, thuyền wafer gốm cacbua silic của chúng tôi được thị trường Châu Âu và Mỹ ưa chuộng vì hiệu quả chi phí cao và chất lượng tuyệt vời, đồng thời được sử dụng rộng rãi trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn tiên tiến. VeTek Semiconductor cam kết thiết lập mối quan hệ hợp tác lâu dài và ổn định với khách hàng toàn cầu và đặc biệt hy vọng trở thành đối tác xử lý chất bán dẫn đáng tin cậy của bạn tại Trung Quốc.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Silicon cacbua (sic) mái chèo

Vai trò của Mái chèo đúc hẫng Silicon Carbide (SiC) trong ngành bán dẫn là hỗ trợ và vận chuyển các tấm bán dẫn. Trong các quá trình nhiệt độ cao như khuếch tán và oxy hóa, mái chèo đúc hẫng SiC có thể vận chuyển thuyền wafer và wafer ổn định mà không bị biến dạng hoặc hư hỏng do nhiệt độ cao, đảm bảo quá trình diễn ra suôn sẻ. Làm cho quá trình khuếch tán, oxy hóa và các quá trình khác đồng đều hơn là rất quan trọng để cải thiện tính nhất quán và năng suất của quá trình xử lý wafer. VeTek Semiconductor sử dụng công nghệ tiên tiến để chế tạo mái chèo đúc hẫng SiC bằng cacbua silic có độ tinh khiết cao nhằm đảm bảo các tấm bán dẫn sẽ không bị ô nhiễm. VeTek Semiconductor mong muốn được hợp tác lâu dài với bạn về các sản phẩm Mái chèo đúc hẫng bằng Silicon Carbide (SiC).

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Chất mang wafer cacbua silicon

Là một nhà cung cấp nhà cung cấp wafer silicon chuyên nghiệp tại Trung Quốc, chất mang Sic Wafer Vetek là một công cụ được sử dụng đặc biệt để xử lý và xử lý các tấm bán dẫn, đóng vai trò không thể thay thế trong quy trình wafer bán dẫn. Chào mừng bạn đến với tư vấn thêm của bạn.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Bệ silicon

Bệ silicon bán dẫn Vetek là một thành phần chính trong các quá trình khuếch tán và oxy hóa chất bán dẫn. Là một nền tảng chuyên dụng để mang thuyền silicon trong các lò nhiệt độ cao, bệ silicon có nhiều lợi thế độc đáo, bao gồm tính đồng nhất nhiệt độ được cải thiện, chất lượng wafer được tối ưu hóa và tăng cường hiệu suất của các thiết bị bán dẫn. Để biết thêm thông tin sản phẩm, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Vòng niêm phong gốm sic

Là một nhà máy quy mô lớn và nhà cung cấp các sản phẩm vòng niêm phong sic gốm SIC ở Trung Quốc, vòng niêm phong sic peramic bán dẫn Vetek có một loạt các ứng dụng trong lĩnh vực công nghiệp do độ dẫn nhiệt tuyệt vời, khả năng chống ăn mòn và hóa học xuất sắc, và độ cứng và độ cứng cao. Chào mừng các câu hỏi thêm của bạn.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Ống lò khuếch tán SIC

Là nhà sản xuất và nhà cung cấp thiết bị lò khuếch tán hàng đầu ở Trung Quốc, ống khuếch tán SIC bán dẫn Vetek có cường độ uốn cao đáng kể, khả năng chống oxy hóa, kháng ăn mòn, kháng hao mòn cao và tính chất cơ học cao tuyệt vời. Làm cho nó trở thành một vật liệu thiết bị không thể thiếu trong các ứng dụng lò khuếch tán. Bán dẫn Vetek cam kết sản xuất và cung cấp ống lò khuếch tán SIC chất lượng cao, và hoan nghênh các yêu cầu tiếp theo của bạn.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Là một nhà sản xuất và nhà cung cấp chuyên nghiệp Quá trình oxy hóa và lò khuếch tán tại Trung Quốc, chúng tôi có nhà máy riêng của chúng tôi. Cho dù bạn cần các dịch vụ tùy chỉnh để đáp ứng các nhu cầu cụ thể của khu vực của bạn hoặc muốn mua nâng cao và bền Quá trình oxy hóa và lò khuếch tán được thực hiện tại Trung Quốc, bạn có thể để lại cho chúng tôi một tin nhắn.

Mã QR

Về chúng tôi

Các sản phẩm

Liên hệ chúng tôi

Điện thoại
+86-18069220752
Số fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Địa chỉ
Đường Wangda, đường Ziyang, Hạt Wuyi, Thành phố Jinhua, Tỉnh Chiết Giang, Trung Quốc

Trình đơn web

Tìm kiếm sản phẩm

Ngôn ngữ

Thoát khỏi menu

Quá trình oxy hóa và lò khuếch tán

Những lợi thế của các thành phần silicon bán dẫn vetek:

Thuyền wafer bằng gốm siliccacon cacbua

Silicon cacbua (sic) mái chèo

Chất mang wafer cacbua silicon

Bệ silicon

Vòng niêm phong gốm sic

Ống lò khuếch tán SIC

Gửi yêu cầu

Mã QR

Về chúng tôi

Các sản phẩm

Liên hệ chúng tôi

Điện thoại

Số fax

E-mail

Địa chỉ