Thuyền wafer bằng gốm siliccacon cacbua

Những lợi thế của việc sử dụng thuyền wafer gốm silicon vetksemi

●  Khả năng chịu nhiệt độ rất cao tới 3000 F ( 1650oC )

●  Khả năng chống ăn mòn siêu cao đối với  axit, dung môi, muối và chất hữu cơ, chống mài mòn  

●  Dễ làm sạch

●  Khả năng chống va đập mạnh

●  Trượt miễn phí

Ngành sản xuất Chất bán dẫn VeTek thường xử lý các tấm wafer này trong vật liệu mang wafer ngang hoặc vật liệu mang dọc.

● Người vận chuyển ngang, thường được gọi là "thuyền", có ba hoặc bốn thanh được xử lý theo chiều ngang được sắp xếp theo thiết kế hình bán nguyệt, với mỗi thanh có các rãnh hướng vào bên trong được đặt ở đó đều đặn. Mỗi tập hợp các rãnh xác định một không gian thẳng đứng để mang theo một wafer được xử lý theo chiều dọc.

● Người vận chuyển dọc, thường được gọi là "giá dọc", có ba hoặc bốn thanh được xử lý theo chiều dọc (hoặc cột) được sắp xếp trong một thiết kế hình bán nguyệt, với mỗi bài có các khe cắm được đặt trong khoảng thời gian đều đặn để xác định một không gian để hỗ trợ một wafer được xử lý theo chiều ngang.

Để đảm bảo độ chính xác hình học cần thiết trong trường này, ba hoặc bốn thanh được cố định vào một tấm trên cùng và một tấm dưới cùng. Các phần của bài viết giữa mỗi khe, được gọi là "răng", được đặt cách nhau một cách giống hệt nhau để hỗ trợ các tấm wafer đều đặn từ và song song với tấm dưới cùng. Toàn bộ giá sau đó được đặt trong một lò thẳng đứng để xử lý các tấm wafer.

Bởi vì một tấm bán dẫn được xử lý trên một giá thẳng đứng chịu ít sự chênh lệch nhiệt độ trên bề mặt của nó (so với một tấm bán dẫn được xử lý trên một chiếc thuyền ngang), các nhà sản xuất chất bán dẫn đang ngày càng chuyển sang sử dụng lò nung thẳng đứng. Tuy nhiên, có một nhược điểm đối với việc nung dọc. Các tấm bán dẫn được đặt trên giá đỡ thẳng đứng thông thường chỉ được đỡ ở mép ngoài của chúng. Do đó, các khu vực của tấm wafer nằm trên các răng này chịu ứng suất cao hơn phần còn lại của tấm wafer.

Khi nhiệt độ trong lò vượt quá 1000 ° C, những ứng suất này thường trở nên đáng kể và các phần của wafer tinh thể đơn chuyển động so với nhau dọc theo các tấm tinh thể để đáp ứng với căng thẳng đó. Hiện tượng này, được gọi là "trượt", phá hủy hiệu quả giá trị của các thiết bị bán dẫn nằm trong khu vực của wafer nơi trượt đã xảy ra.

Là nhà cung cấp và sản xuất Thuyền wafer gốm silic cacbua hàng đầu tại Trung Quốc, VeTek Semiconductor luôn cam kết cung cấp công nghệ tiên tiến và các giải pháp sản phẩm Thuyền wafer cho ngành chế biến chất bán dẫn. Chúng tôi chân thành mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Chất bán dẫn VeTekCác cửa hàng sản xuất thuyền wafer bằng gốm silicon cacbua: