Silicon nitride

1. Tính ổn định hóa học tuyệt vời

Gốm silicon nitride có độ ổn định hóa học tuyệt vời và có thể chịu được nhiều loại axit mạnh, kiềm và khí ăn mòn. Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn thường cần phải đối phó với các hóa chất ăn mòn, gốm silicon nitride có thể cung cấp đảm bảo hiệu suất ổn định lâu dài.

2. Tính chất cơ học tuyệt vời

Gốm silicon nitride có độ cứng cao, cường độ nén tuyệt vời và khả năng chống mài mòn, có thể chịu được căng thẳng cơ học và hao mòn bề mặt, không dễ biến dạng hoặc vỡ. Thuộc tính cơ học này làm cho nó rất phù hợp như một vật liệu cho các bộ phận cấu trúc và xử lý trong thiết bị bán dẫn.

3. Tính ổn định nhiệt độ cao

Gốm silicon nitride có thể duy trì sự ổn định trong môi trường nhiệt độ cao, không dễ làm mềm hoặc tan chảy, và có thể chịu được xử lý và xử lý nhiệt độ cao trong quá trình sản xuất chất bán dẫn. Điều này cho phép nó được sử dụng trong việc sản xuất các thành phần chính của thiết bị quy trình nhiệt độ cao, chẳng hạn như gripper, các thành phần buồng phản ứng, v.v.

4. Tính chất cách điện tuyệt vời

Các đặc tính cách điện là rất quan trọng trong sản xuất thiết bị bán dẫn. Gốm silicon nitride có đặc tính cách điện tốt, có thể cách ly và bảo vệ các thành phần mạch khỏi rò rỉ hiện tại hoặc nhiễu điện từ, giúp cải thiện độ ổn định và độ tin cậy của thiết bị.

5. Độ dẫn nhiệt và độ dẫn nhiệt

Gốm silicon nitride có độ dẫn nhiệt cao, có thể tiến hành và tiêu tán nhiệt do thiết bị tạo ra một cách hiệu quả, giúp duy trì sự ổn định nhiệt độ của thiết bị trong quá trình vận hành. Điều này là rất quan trọng đối với hoạt động hiệu suất cao của các thiết bị bán dẫn.

1

Gốm silicon nitride thường được sử dụng làm vật liệu cho các mâm cặp tĩnh điện và các thành phần buồng khắc trong sản xuất chất bán dẫn vì độ ổn định hóa học tuyệt vời và khả năng kháng nhiệt độ cao. Chuck tĩnh điện được sử dụng để cố định và ổn định các tấm wafer hoặc chất nền, trong khi các bộ phận khắc được sử dụng để chịu được khí ăn mòn và môi trường nhiệt độ cao.

2. Tấm phân phối khí và gương phản xạ

Gốm silicon nitride cũng được sử dụng trong việc sản xuất thiết bị bán dẫn trong các tấm phân phối khí và gương phản xạ. Các tấm phân phối khí được sử dụng để phân phối đồng đều khí phản ứng hoặc bảo vệ vào buồng phản ứng, trong khi các phản xạ được sử dụng để tối ưu hóa sự phân bố và phản xạ của ánh sáng trong buồng phản ứng để cải thiện hiệu quả phản ứng và tính đồng nhất.

3. Người giữ và các thành phần nhiệt

Gốm silicon nitride thường được sử dụng làm người giữ và các thành phần quản lý nhiệt trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn. Các thành phần này cần có độ bền cơ học tốt, khả năng chống mài mòn và độ dẫn nhiệt để đảm bảo hoạt động thiết bị ổn định và độ chính xác xử lý thiết bị.

4. Món đánh bóng cơ học hóa học (CMP)

Gốm silicon nitride được sử dụng rộng rãi như một vật liệu PAD trong quá trình đánh bóng cơ học hóa học (CMP). Nó có độ phẳng tuyệt vời và khả năng chống mài mòn, và có thể cung cấp hỗ trợ ổn định trong quá trình đánh bóng để đảm bảo độ phẳng và độ chính xác của bề mặt wafer bán dẫn.