Silicon cacbua (sic) mái chèo

Silicon cacbua (SIC) Cantilever Paddle là một thành phần chính không thể thiếu trong quy trình xử lý wafer. Nó chủ yếu là một phần của hệ thống vận chuyển wafer. Nó thực hiện nhiệm vụ quan trọng là mang và vận chuyển các tấm wafer trong các thiết bị như lò khuếch tán oxy hóa nhiệt độ cao, đảm bảo tính đồng tâm của wafer và ống lò, và cải thiện tính nhất quán và năng suất của xử lý wafer.

Sic Cantilever Paddle có hiệu suất nhiệt độ cao tuyệt vời: Trong môi trường nhiệt độ cao lên tới 1600, mái chèo hãng Cantilever vẫn có thể duy trì cường độ và độ ổn định cao, sẽ không biến dạng, làm hỏng và các vấn đề khác, và có thể hoạt động ổn định trong một thời gian dài.

Mái chèo đúc hẫng Silicon Carbide được làm bằng vật liệu SiC có độ tinh khiết cao và không có hạt nào rơi ra trong quá trình xử lý wafer, tránh làm nhiễm bẩn bề mặt wafer. Vật liệu Silicon Carbide có độ bền uốn cao, có thể chịu được ứng suất lớn hơn khi mang nhiều tấm wafer hơn và không dễ bị vỡ, đảm bảo sự an toàn và ổn định của quá trình truyền wafer. Độ ổn định hóa học tuyệt vời của SiC giúp mái chèo đúc hẫng SiC chống lại sự ăn mòn từ các hóa chất và khí khác nhau, ngăn ngừa tạp chất làm nhiễm bẩn tấm bán dẫn do ăn mòn vật liệu và kéo dài tuổi thọ của sản phẩm.

Sic Cantilever Paddle Sơ đồ làm việc

Thông số kỹ thuật sản phẩm

● kích cỡ khác nhau: Chúng tôi cung cấp các mái chèo đúc hẫng Silicon Carbide (SiC) với nhiều kích cỡ khác nhau để đáp ứng nhu cầu của các loại thiết bị bán dẫn khác nhau và xử lý tấm bán dẫn có kích thước khác nhau.

●  Dịch vụ tùy chỉnh: Ngoài các sản phẩm đặc điểm kỹ thuật tiêu chuẩn, chúng tôi cũng có thể tạo các giải pháp độc quyền cho khách hàng theo các yêu cầu đặc biệt của họ, chẳng hạn như kích thước cụ thể, hình dạng, khả năng tải, v.v.

●  Thiết kế đúc một mảnh: Nó thường được sản xuất bằng quy trình đúc một mảnh, bao gồm phần kết nối, phần chuyển tiếp và phần ổ trục. Các bộ phận được kết nối chặt chẽ và có tính toàn vẹn mạnh mẽ, giúp cải thiện hiệu quả sức mạnh cấu trúc và sự ổn định của sản phẩm và giảm nguy cơ thất bại gây ra bởi các bộ phận kết nối yếu.

●  Kết cấu gia cố: Một số sản phẩm được trang bị các cấu trúc gia cố trong các phần chính như phần chuyển tiếp, chẳng hạn như tấm dưới cùng, tấm áp suất, thanh kết nối, v.v. , cải thiện độ tin cậy của mái chèo sic có độ tinh khiết cao khi mang theo wafer và ngăn ngừa các vấn đề như gãy xương trong khu vực chuyển tiếp.

●  Thiết kế khu vực chịu lực đặc biệt: Thiết kế của khu vực ổ trục xem xét hoàn toàn vị trí và truyền nhiệt của wafer. Một số sản phẩm được trang bị các rãnh hình chữ U, lỗ dải dài, lỗ hình chữ nhật và các cấu trúc khác trong khu vực ổ trục, không chỉ làm giảm trọng lượng của khu vực ổ trục, mà còn làm giảm diện tích tiếp xúc với wafer để tránh chặn nhiệt. Đồng thời, nó cũng có thể đảm bảo sự ổn định của wafer trong quá trình truyền và ngăn chặn wafer rơi.

Tính chất vật lý của cacbua silic kết tinh:

Trong quá trình sản xuất, mỗi Mái chèo đúc hẫng bằng Silicon Carbide (SiC) phải trải qua quá trình kiểm tra chất lượng nghiêm ngặt, bao gồm kiểm tra độ chính xác về kích thước, kiểm tra bề ngoài, kiểm tra tính chất vật lý, kiểm tra độ ổn định hóa học, v.v., để đảm bảo rằng sản phẩm đáp ứng các tiêu chuẩn chất lượng cao và có thể đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của xử lý wafer bán dẫn.

Chất bán dẫn VeTekcung cấp đầy đủ các dịch vụ sau bán hàng. Nếu khách hàng gặp bất kỳ vấn đề gì trong quá trình sử dụng, đội ngũ hậu mãi chuyên nghiệp sẽ phản hồi kịp thời và đưa ra giải pháp nhanh chóng, hiệu quả cho khách hàng để đảm bảo việc sản xuất của khách hàng không bị ảnh hưởng.

Chất bán dẫn VeTekCơ sở sản xuất mái chèo SiC Cantilever có độ tinh khiết cao: