CVD SIC NÓ

Sự lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD) là công nghệ tăng trưởng epiticular nóng nhất hiện nay, được sử dụng rộng rãi trong sản xuất laser và đèn LED bán dẫn, đặc biệt là GAN ​​Epitaxy. Epitaxy đề cập đến sự phát triển của một màng tinh thể đơn khác trên đế tinh thể. Công nghệ epitax có thể đảm bảo rằng màng tinh thể mới được phát triển được liên kết với cấu trúc với chất nền tinh thể bên dưới. Công nghệ này cho phép sự phát triển của các bộ phim có tính chất cụ thể trên chất nền, điều này rất cần thiết cho việc sản xuất các thiết bị bán dẫn hiệu suất cao.

Người giữ thùng wafer là một thành phần chính của lò tăng trưởng epiticular. Giá đỡ wafer lớp phủ CVD SIC được sử dụng rộng rãi trong các lò tăng trưởng epiticular CVD khác nhau, đặc biệt là các lò tăng trưởng epiticular MOCVD.

Chức năng và Features của cvd sic sonfer nòng súng wafer

● Chất nền mang và sưởi ấm: CVD SIC được phủ thùng thùng được sử dụng để mang chất nền và cung cấp hệ thống sưởi cần thiết trong quá trình MOCVD. CVD SIC Lớp Wafer Giá đỡ thùng chứa bao gồm than chì tinh khiết cao và lớp phủ sic, và có hiệu suất tuyệt vời.

● Tính đồng nhất: Trong quá trình MOCVD, giá đỡ thùng than chì quay liên tục để đạt được sự tăng trưởng đồng đều của lớp epiticular.

● Độ ổn định nhiệt và độ đồng nhất nhiệt: Lớp phủ SIC của bộ cảm ứng thùng phủ SIC có độ ổn định nhiệt tuyệt vời và tính đồng nhất nhiệt, do đó đảm bảo chất lượng của lớp epiticular.

● Tránh ô nhiễm: Giá đỡ thùng wafer được phủ SIC CVD có sự ổn định tuyệt vời, do đó nó sẽ không tạo ra các chất gây ô nhiễm rơi ra trong quá trình hoạt động.

● Cuộc sống dịch vụ cực kỳ dài: Do lớp phủ sic, CVD sic phủ BARRREL SENCEPTOR VẪN có đủ độ bền trong môi trường khí nhiệt độ cao và khí ăn mòn của MOCVD.

Sơ đồ của lò phản ứng CVD thùng

Tính năng lớn nhất của CVD SIC của Vetek S bán dẫn

● Mức độ tùy biến cao nhất: Thành phần vật liệu của chất nền than chì, thành phần vật liệu và độ dày của lớp phủ SIC và cấu trúc của giá đỡ wafer đều có thể được tùy chỉnh theo nhu cầu của khách hàng.

● Đi trước các nhà cung cấp khác: SICSETE Vetek SemicDuctor's SIC của SIC Lớp phủ than chì cho EPI cũng có thể được tùy chỉnh theo nhu cầu của khách hàng. Trên bức tường bên trong, chúng ta có thể tạo ra các mẫu phức tạp để đáp ứng nhu cầu của khách hàng.

Kể từ khi thành lập, bộ bán dẫn Vetek đã được cam kết khám phá liên tục công nghệ lớp phủ SIC. Ngày nay, chất bán dẫn Vetek có sức mạnh sản phẩm lớp phủ SIC hàng đầu của ngành. Bán dẫn Vetek mong muốn trở thành đối tác của bạn trong các sản phẩm giữ thùng wafer CVD SIC.

Dữ liệu SEM của cấu trúc tinh thể màng CVD SIC

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD sic