Có độ tinh khiết cao sic hicilever paddle

Độ tinh khiết cao sic Cantilever Paddle là một thành phần chính được sử dụng trong thiết bị xử lý bán dẫn. Sản phẩm được làm bằng vật liệu silicon cacbua (SIC) độ tinh khiết cao.  Khách hàng có thể tự do chọn vật liệu SIC thiêu kết hoặc vật liệu SIC được giới thiệu. Với sự trợ giúp của các đặc điểm tuyệt vời của độ tinh khiết cao, độ ổn định nhiệt cao và khả năng chống ăn mòn, nó được sử dụng rộng rãi trong các quy trình như chuyển wafer, hỗ trợ và xử lý nhiệt độ cao, cung cấp bảo đảm đáng tin cậy để đảm bảo độ chính xác của quy trình và chất lượng sản phẩm.

Độ tinh khiết cao sic Cantilever Paddle đóng các vai trò cụ thể sau đây trong quá trình xử lý bán dẫn:

Chuyển wafer: Padlever Sic có độ tinh khiết cao thường được sử dụng như một thiết bị chuyển wafer trong các lò khuếch tán hoặc oxy hóa nhiệt độ cao. Độ cứng cao của nó làm cho nó chống mài mòn và không dễ biến dạng trong quá trình sử dụng lâu dài và có thể đảm bảo rằng wafer vẫn được định vị chính xác trong quá trình chuyển giao. Kết hợp với khả năng chống ăn mòn và nhiệt độ cao, nó có thể chuyển các tấm wafer vào và ra khỏi ống lò trong môi trường nhiệt độ cao mà không gây ra bất kỳ sự ô nhiễm hoặc thiệt hại nào cho các tấm wafer.

Hỗ trợ wafer: Vật liệu SIC có hệ số giãn nở nhiệt thấp, điều đó có nghĩa là kích thước của nó thay đổi ít hơn khi nhiệt độ thay đổi, giúp duy trì sự kiểm soát chính xác trong quá trình. Trong lắng đọng hơi hóa học (CVD) hoặc các quá trình lắng đọng hơi vật lý (PVD), mái chèo hãng đúc SIC được sử dụng để hỗ trợ và sửa chữa wafer để đảm bảo rằng wafer vẫn ổn định và phẳng trong quá trình lắng đọng, do đó cải thiện tính đồng nhất và chất lượng của màng.

Áp dụng các quy trình nhiệt độ cao: Sic Cantilever Paddle có độ ổn định nhiệt tuyệt vời và có thể chịu được nhiệt độ lên tới 1600 ° C. Do đó, sản phẩm này được sử dụng rộng rãi trong việc ủ nhiệt độ cao, oxy hóa, khuếch tán và các quy trình khác.

Tính chất vật lý cơ bản của mái chèo sic có độ tinh khiết cao:

Có độ tinh khiết cao sic hicilever paddleCửa hàng:

Tổng quan về chuỗi ngành công nghiệp epitaxy chip bán dẫn: