Cacbua Tantalum xốp: Thế hệ vật liệu mới cho sự phát triển tinh thể SiC

Với việc sản xuất hàng loạt các chất nền SIC dẫn điện, các yêu cầu cao hơn được đặt vào sự ổn định và độ lặp lại của quá trình. Cụ thể, việc kiểm soát các khuyết tật, điều chỉnh nhẹ hoặc trôi trong trường nhiệt trong lò sẽ dẫn đến những thay đổi trong tinh thể hoặc sự gia tăng các khuyết tật.

Trong giai đoạn sau, chúng ta sẽ phải đối mặt với thách thức "phát triển nhanh hơn, dày hơn và dài hơn". Ngoài việc cải thiện lý thuyết và kỹ thuật, các vật liệu trường nhiệt tiên tiến hơn là cần thiết để hỗ trợ. Sử dụng các vật liệu tiên tiến để phát triển các tinh thể tiên tiến.

Việc sử dụng không đúng các vật liệu như than chì, than chì xốp và bột cacbua tantalum trong nồi nấu kim loại trong trường nhiệt sẽ dẫn đến các khiếm khuyết như tăng vùi carbon. Ngoài ra, trong một số ứng dụng, tính thấm của than chì xốp là không đủ và các lỗ bổ sung cần phải được mở để tăng tính thấm. Than chì xốp với độ thấm cao đối mặt với những thách thức như chế biến, mất bột và khắc.

Gần đây, VeTek Semiconductor đã tung ra thế hệ vật liệu trường nhiệt tăng trưởng tinh thể SiC mới,cacbua tantalum xốp, lần đầu tiên trên thế giới.

Tantalum cacbua có độ bền và độ cứng cao, và thậm chí còn khó khăn hơn khi làm cho nó xốp. Thậm chí còn khó khăn hơn khi làm cacbua tantalum xốp với độ xốp lớn và độ tinh khiết cao. Chất bán dẫn Vetek đã ra mắt một cacbua tantalum xốp đột phá với độ xốp lớn,với độ xốp tối đa 75%, đạt đẳng cấp quốc tế.

Ngoài ra, nó có thể được sử dụng để lọc thành phần pha khí, điều chỉnh độ dốc nhiệt độ cục bộ, hướng dòng vật liệu, kiểm soát rò rỉ, v.v.; nó có thể được kết hợp với lớp phủ cacbua tantalum rắn (đặc) hoặc cacbua tantalum khác của Chất bán dẫn VeTek để tạo thành các thành phần có độ dẫn dòng cục bộ khác nhau; một số thành phần có thể được tái sử dụng.

Thông số kỹ thuật

Độ xốp ≤75% quốc tế hàng đầu

Hình dạng: vảy, hình trụ hàng đầu quốc tế

Độ xốp đồng đều

Chất bán dẫn VeTek xốp Tantalum cacbua (TaC) có các tính năng sản phẩm sau

●   Độ xốp cho các ứng dụng đa năng

Cấu trúc xốp của TAC cung cấp đa chức năng, cho phép sử dụng nó trong các kịch bản chuyên dụng như:

Khuếch tán khí: Tạo điều kiện kiểm soát lưu lượng khí chính xác trong quy trình bán dẫn.

Lọc: Lý tưởng cho các môi trường đòi hỏi sự phân tách hạt hiệu suất cao.

Kiểm soát tản nhiệt: Quản lý nhiệt hiệu quả trong các hệ thống nhiệt độ cao, tăng cường khả năng điều chỉnh nhiệt tổng thể.

● Khả năng kháng nhiệt độ cao cực cao

Với điểm nóng chảy khoảng 3.880°C, Tantalum Carbide vượt trội trong các ứng dụng nhiệt độ cực cao. Khả năng chịu nhiệt đặc biệt này đảm bảo hiệu suất ổn định trong điều kiện mà hầu hết các vật liệu đều bị hỏng.

● Độ cứng và độ bền vượt trội

Xếp hạng 9-10 trên thang đo độ cứng của MoHS, tương tự như kim cương, TAC xốp cho thấy sự kháng cự vô song với hao mòn cơ học, ngay cả khi bị căng thẳng cực độ. Độ bền này làm cho nó lý tưởng cho các ứng dụng tiếp xúc với môi trường mài mòn.

● Độ ổn định nhiệt đặc biệt

Tantalum Carbide vẫn giữ được tính toàn vẹn về cấu trúc và hiệu suất ở nhiệt độ cực cao. Độ ổn định nhiệt vượt trội của nó đảm bảo hoạt động đáng tin cậy trong các ngành đòi hỏi tính nhất quán ở nhiệt độ cao, chẳng hạn như sản xuất chất bán dẫn và hàng không vũ trụ.

● Độ dẫn nhiệt tuyệt vời

Mặc dù có bản chất xốp, nhưng TaC xốp vẫn duy trì khả năng truyền nhiệt hiệu quả, cho phép sử dụng nó trong các hệ thống yêu cầu tản nhiệt nhanh. Tính năng này nâng cao khả năng ứng dụng của vật liệu trong các quy trình sử dụng nhiều nhiệt.

●   Độ giãn nở nhiệt thấp để ổn định kích thước

Với hệ số giãn nở nhiệt thấp, cacbua tantalum chống lại sự thay đổi kích thước gây ra bởi sự dao động nhiệt độ. Thuộc tính này giảm thiểu ứng suất nhiệt, kéo dài tuổi thọ của các thành phần và duy trì độ chính xác trong các hệ thống quan trọng.

Trong sản xuất chất bán dẫn, cacbua tantalum xốp (TAC) đóng các vai trò khóa cụ thể sau đây

●  Trong các quy trình nhiệt độ cao như khắc plasma và CVD, cacbua Tantalum xốp bán dẫn VeTek thường được sử dụng làm lớp phủ bảo vệ cho thiết bị xử lý. Điều này là do khả năng chống ăn mòn mạnh mẽ của Lớp phủ TaC và độ ổn định ở nhiệt độ cao. Những đặc tính này đảm bảo rằng nó bảo vệ hiệu quả các bề mặt tiếp xúc với khí phản ứng hoặc nhiệt độ khắc nghiệt, từ đó đảm bảo phản ứng bình thường của các quá trình nhiệt độ cao.

●  Trong các quá trình khuếch tán, cacbua Tantalum xốp có thể đóng vai trò như một rào cản khuếch tán hiệu quả để ngăn chặn sự trộn lẫn của các vật liệu trong các quy trình nhiệt độ cao. Tính năng này thường được sử dụng để kiểm soát sự khuếch tán của chất dẫn xuất trong các quá trình như cấy ion và kiểm soát độ tinh khiết của tấm bán dẫn.

●  Cấu trúc xốp của cacbua Tantalum xốp bán dẫn VeTek rất phù hợp với môi trường xử lý chất bán dẫn yêu cầu lọc hoặc kiểm soát dòng khí chính xác. Trong quá trình này, xốp TaC chủ yếu đóng vai trò lọc và phân phối khí. Tính trơ hóa học của nó đảm bảo rằng không có chất gây ô nhiễm nào được đưa vào trong quá trình lọc. Điều này đảm bảo hiệu quả độ tinh khiết của sản phẩm được chế biến.

Giới thiệu về Chất bán dẫn VeTek

Là nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy sản xuất cacbua tantali xốp chuyên nghiệp của Trung Quốc, chúng tôi có nhà máy riêng. Cho dù bạn cần các dịch vụ tùy chỉnh để đáp ứng nhu cầu cụ thể của khu vực của bạn hay muốn mua Cacbua Tantalum xốp tiên tiến và bền bỉ được sản xuất tại Trung Quốc, bạn có thể để lại tin nhắn cho chúng tôi.

Nếu bạn có bất kỳ thắc mắc hoặc cần thêm chi tiết vềCacbua tantali xốp、Tantalum cacbua phủ than chì xốpvà khácCác thành phần phủ Tantalum CarbideThì xin vui lòng liên hệ với chúng tôi.

☏☏☏Mob/whatsapp: +86-180 6922 0752

☏☏☏Email: anny@veteksemi.com