Phần tử sưởi lớp phủ CVD SIC

Phần tử gia nhiệt lớp phủ CVD SIC chủ yếu được sử dụng trong thiết bị PVD (lắng đọng hơi vật lý). Trong quá trình bay hơi, vật liệu được làm nóng để đạt được sự bay hơi hoặc phun ra, và cuối cùng là một màng mỏng đồng nhất được hình thành trên đế.

.Ứng dụng cụ thể

Lấy màng mỏng: Phần tử sưởi ấm CVD SIC được sử dụng trong nguồn bay hơi hoặc nguồn phun. Bằng cách sưởi ấm, phần tử làm nóng vật liệu được lắng đọng đến nhiệt độ cao, sao cho các nguyên tử hoặc phân tử của nó được tách ra khỏi bề mặt của vật liệu, do đó tạo thành hơi hoặc huyết tương. Lớp phủ SIC dựa trên phần tử sưởi ấm của chúng tôi cũng có thể trực tiếp làm nóng một số vật liệu kim loại hoặc gốm để làm bay hơi hoặc thăng hoa chúng trong môi trường chân không để sử dụng làm nguồn vật liệu trong quá trình PVD. Bởi vì cấu trúc có các rãnh đồng tâm, nó có thể kiểm soát tốt hơn đường dẫn và phân phối nhiệt hiện tại để đảm bảo tính đồng nhất của sưởi ấm.

Sơ đồ sơ đồ của quá trình PVD bay hơi

.Nguyên tắc làm việc

Làm nóng điện trở, khi dòng điện đi qua đường điện trở của máy sưởi phủ SIC, nhiệt Joule được tạo ra, do đó đạt được hiệu quả của việc sưởi ấm. Cấu trúc đồng tâm cho phép dòng điện được phân phối đều. Một thiết bị kiểm soát nhiệt độ thường được kết nối với phần tử để theo dõi và điều chỉnh nhiệt độ.

.Thiết kế vật liệu và kết cấu

Phần tử gia nhiệt lớp phủ CVD SIC được làm bằng than chì tinh khiết cao và lớp phủ SIC để đối phó với môi trường nhiệt độ cao. Bản thân than chì tinh khiết cao đã được sử dụng rộng rãi như một vật liệu trường nhiệt. Sau khi một lớp phủ được áp dụng trên bề mặt than chì bằng phương pháp CVD, độ ổn định nhiệt độ cao, khả năng chống ăn mòn, hiệu quả nhiệt và các đặc điểm khác được cải thiện hơn nữa.

Thiết kế của các rãnh đồng tâm cho phép dòng điện tạo thành một vòng đồng đều trên bề mặt đĩa. Nó đạt được sự phân bố nhiệt đồng đều, tránh quá nóng cục bộ do nồng độ ở một số khu vực nhất định, giảm thêm tổn thất nhiệt do nồng độ hiện tại và do đó cải thiện hiệu quả sưởi ấm.

Phần tử sưởi ấm CVD SIC bao gồm hai chân và cơ thể. Mỗi chân có một chủ đề kết nối với nguồn điện. Chất bán dẫn Vetek có thể tạo ra các bộ phận một mảnh hoặc các phần chia, nghĩa là, chân và cơ thể được làm riêng và sau đó được lắp ráp. Bất kể bạn có yêu cầu gì đối với máy sưởi CVD SIC, xin vui lòng tham khảo ý kiến ​​của chúng tôi. Veteksemi có thể cung cấp các sản phẩm bạn cần.

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD sic