Lớp phủ gốm cacbua silicon

Nó bán dẫn Lớp phủ gốm cacbua siliconlà một lớp phủ bảo vệ hiệu suất cao được làm bằng vật liệu cacbua silicon (SIC) cực kỳ cứng và chống mài mòn, cung cấp khả năng chống ăn mòn hóa học tuyệt vời và độ ổn định nhiệt độ cao. Những đặc tính này là rất quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, do đó lớp phủ gốm cacbua silicon được sử dụng rộng rãi trên các thành phần chính của thiết bị sản xuất bán dẫn.

Vai trò cụ thể được đóng bởi lớp phủ gốm cacbua silicon silicon vetek trong sản xuất bán dẫn lànhư sau:

Tăng cường độ bền của thiết bị: Lớp phủ gốm silicon cacbua cung cấp bảo vệ bề mặt tuyệt vời cho thiết bị sản xuất chất bán dẫn với độ cứng và khả năng chống mài mòn cực cao. Đặc biệt trong các môi trường quá trình nhiệt độ cao, có tính ăn mòn cao, chẳng hạn như lắng đọng hơi hóa học (CVD) và khắc plasma, lớp phủ gốm cacbua silicon có thể ngăn ngừa thiệt hại cho bề mặt thiết bị do xói mòn hóa học hoặc hao mòn vật lý, do đó kéo dài đáng kể tuổi thọ của thiết bị và giảm thời gian thay thế.

Cải thiện độ tinh khiết của quá trình: Trong quy trình sản xuất bán dẫn, bất kỳ ô nhiễm nhỏ nào cũng có thể gây ra khiếm khuyết sản phẩm. Độ trơ hóa học của lớp phủ gốm silicon cacbua cho phép nó ổn định trong điều kiện khắc nghiệt, ngăn vật liệu giải phóng các hạt hoặc tạp chất và đảm bảo độ tinh khiết của môi trường trong quá trình. Điều này đặc biệt quan trọng đối với các bước sản xuất đòi hỏi độ chính xác cao và độ sạch cao, chẳng hạn như cấy ghép PECVD và ion.

Tối ưu hóa quản lý nhiệt: Trong quá trình xử lý bán dẫn nhiệt độ cao, chẳng hạn như xử lý nhiệt nhanh (RTP) và quá trình oxy hóa, độ dẫn nhiệt cao của lớp phủ gốm silicon cacbua cho phép phân bố nhiệt độ đồng đều bên trong thiết bị. Điều này giúp giảm căng thẳng nhiệt và biến dạng vật liệu gây ra bởi biến động nhiệt độ, do đó cải thiện độ chính xác và tính nhất quán của sản xuất sản phẩm.

Hỗ trợ môi trường quy trình phức tạp: Trong các quá trình yêu cầu kiểm soát khí quyển phức tạp, chẳng hạn như các quá trình khắc ICP và các quá trình khắc PSS, độ ổn định và khả năng chống oxy hóa của lò sưởi lớp phủ gốm silicon cacbua đảm bảo hiệu suất ổn định của thiết bị trong hoạt động lâu dài, làm giảm nguy cơ suy giảm vật liệu hoặc thiệt hại thiết bị do thay đổi môi trường.

Nó bán dẫnTập trung vào sản xuất và cung cấp hiệu suất caoLớp phủ gốm cacbua siliconvà cam kết cung cấp các giải pháp sản phẩm và công nghệ tiên tiến cho ngành công nghiệp bán dẫn.Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc.

Tính chất vật lý cơ bản củaLớp phủ gốm cacbua silicon:

Cửa hàng lớp phủ gốm silicon silicon silicon vetek:

Tổng quan về chuỗi ngành công nghiệp epitaxy chip bán dẫn: