lớp phủ gốm silicc cacbua

Nó bán dẫn Lớp phủ gốm silicc cacbuaKết hợp độ dẫn điện và nhiệt tuyệt vời của than chì với điện trở nhiệt độ cao, khả năng chống ăn mòn và điện trở hao mòn của lớp phủ gốm silicon carbon, và được thiết kế cho môi trường sản xuất bán dẫn khắc nghiệt. 

Lớp phủ gốm silicc cacbuachủ yếu được sử dụng trong thiết bị lớp phủ chân không (bay hơi) và các phương pháp thường được sử dụng là PCD (sấy hóa học huyết tương) và PVD (lắng đọng hơi vật lý). Sản phẩm này đã đóng một vai trò quan trọng trong việc thúc đẩy tiến bộ công nghệ và cải thiện hiệu quả sản xuất trong ngành bán dẫn.Chúng tôi chân thành mong muốn được hợp tác hơn nữa với bạn.

Các đặc điểm vật liệu và cấu trúc của lò sưởi than chì bằng gốm silicon cacbua như sau:

Chất nền than chì: Graphite được biết đến với độ dẫn nhiệt cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp. Nó có thể đáp ứng nhanh chóng với sự thay đổi nhiệt độ và duy trì sự ổn định cấu trúc ở nhiệt độ cao.

Lớp phủ gốm silicon carbon: Lớp phủ SIC được phủ đều trên bề mặt than chì thông qua lắng đọng hơi hóa học hoặc các quá trình tiên tiến khác. SIC có độ cứng cực cao và khả năng chống ăn mòn hóa học, có thể bảo vệ chất nền than chì khỏi quá trình oxy hóa nhiệt độ cao và môi trường ăn mòn.

Thiết kế cấu trúc sản phẩm đặc biệt của lò sưởi than chì bằng gốm silicon cacbua xác địnhƯu điểm sản phẩm không thể thay thế của sản phẩm này trong quá trình xử lý chất bán dẫn:

Hệ thống sưởi hiệu quả và đồng đều:

Độ dẫn nhiệt: Độ dẫn nhiệt cao của than chì cho phép lò sưởi nhanh chóng tiếp cận và duy trì nhiệt độ cần thiết, và lớp phủ SIC đảm bảo phân bố nhiệt đồng đều. Điều này đặc biệt quan trọng đối với các quá trình bán dẫn yêu cầu kiểm soát nhiệt độ chính xác, chẳng hạn như xử lý nhiệt nhanh (RTP) và lắng đọng hơi hóa học (CVD).

Tính đồng nhất nhiệt độ: Thông qua sự phân bố nhiệt đồng đều, lò sưởi than chì bằng gốm silicon cacbua có thể làm giảm hiệu quả ứng suất nhiệt và độ dốc nhiệt độ, đảm bảo tính ổn định và chất lượng của các tấm bán dẫn trong suốt quá trình gia nhiệt.

Bảo vệ chống ăn mòn:

Kháng hóa chất: Khả năng chống ăn mòn hóa học của lớp phủ SIC cho phép lò sưởi hoạt động ổn định và trong một thời gian dài trong môi trường khí và hóa chất ăn mòn, tránh làm hỏng chất nền than chì. Tính năng này đặc biệt quan trọng trong các quá trình như lắng đọng hơi hóa học (CVD) và lắng đọng hơi hóa học tăng cường huyết tương (PECVD).

Kháng oxy hóa: Ở nhiệt độ cao, lớp phủ SIC có thể ngăn chặn quá trình oxy hóa chất nền than chì, kéo dài tuổi thọ dịch vụ của lò sưởi và giảm tần suất và chi phí bảo trì thiết bị.

Giảm ô nhiễm hạt:

Sự ổn định bề mặt: Lớp phủ SIC không chỉ chống mài mòn, mà còn ngăn các hạt rơi ra khỏi bề mặt vật liệu do phản ứng đi xe đạp hoặc phản ứng hóa học, do đó làm giảm nguy cơ ô nhiễm hạt có thể xảy ra trong quá trình sản xuất chất bán dẫn và đảm bảo môi trường quá trình làm sạch cao.

Cải thiện độ tin cậy và hiệu quả của quá trình:

Thiết kế lâu dài: Do sự kết hợp của cường độ cơ học của than chì và điện trở hao mòn của lớp phủ SIC, lò sưởi than chì lớp gốm silicon cacbua có thể duy trì hoạt động hiệu quả cao trong một thời gian dài trong điều kiện quá trình khắc nghiệt, cải thiện đáng kể độ tin cậy chung của thiết bị.

Sử dụng năng lượng hiệu quả: Độ dẫn nhiệt cao của than chì và độ ổn định nhiệt độ cao của lớp phủ SIC cho phép máy sưởi giảm mức tiêu thụ năng lượng trong khi cải thiện độ chính xác kiểm soát nhiệt độ, do đó cải thiện hiệu quả tổng thể của sản xuất chất bán dẫn.

Tính chất vật lý cơ bản củaLớp phủ gốm silicc cacbua:

Nó bán dẫnLớp phủ gốm silicc cacbuaCửa hàng:

Tổng quan về chuỗi ngành công nghiệp epitaxy chip bán dẫn:

/quy trình khác