Silicon cacbide wafer muck

Chuck silicon cacfer silicon silicon sử dụng các đặc tính tuyệt vời của vật liệu cacbua silicon để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong quá trình xử lý bán dẫn đòi hỏi độ chính xác và độ tin cậy cực kỳ cao.

Trong quá trình xử lý bán dẫn,Carbide siliconCó điện trở nhiệt độ cao tuyệt vời (có thể hoạt động ổn định ở mức lên tới 1400 ° C), độ dẫn thấp (SIC có độ dẫn tương đối thấp, thường là 10^^^-3S/m) và hệ số giãn nở nhiệt thấp (khoảng 4.0 × 10^^-6/° C), là một vật liệu không thể thiếu và quan trọng, đặc biệt phù hợp để sản xuất mâm cặp silicon cacbua.

Trong thời gianQuá trình tăng trưởng epiticular, một lớp mỏng của vật liệu bán dẫn được lắng đọng trên chất nền, đòi hỏi sự ổn định tuyệt đối từ wafer để đảm bảo các lớp lắng đọng đồng đều và chất lượng cao. Chuck chân không SIC đạt được điều này bằng cách tạo ra một giữ chân không vững chắc, nhất quán để ngăn chặn bất kỳ chuyển động hoặc biến dạng của wafer.

Chuck wafer cacbua silicon cũng cung cấp khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời. Thay đổi nhiệt độ nhanh là phổ biến trong sản xuất chất bán dẫn và các vật liệu không thể chịu được sự dao động này có thể bị nứt, uốn cong hoặc thất bại. Carbide silicon có hệ số giãn nở nhiệt thấp và có thể duy trì hình dạng và chức năng của nó ngay cả dưới sự thay đổi nhiệt độ mạnh mẽ, đảm bảo rằng wafer vẫn an toàn trong quá trình epitaxy mà không chuyển động hoặc sai lệch.

Hơn nữa,quá trình epitaxyThường liên quan đến khí phản ứng và các hóa chất ăn mòn khác. Sự trơ hóa hóa học của Chuck Wafer SIC đảm bảo rằng nó không bị ảnh hưởng bởi các môi trường khắc nghiệt này, duy trì hiệu suất của nó và kéo dài tuổi thọ dịch vụ của nó. Độ bền hóa học này không chỉ làm giảm tần suất thay thế chuck wafer, mà còn đảm bảo hiệu suất sản phẩm nhất quán trong nhiều chu kỳ sản xuất, giúp cải thiện hiệu quả tổng thể và hiệu quả chi phí của quy trình sản xuất bán dẫn.

Vetek S bán dẫn là nhà sản xuất và nhà cung cấp hàng đầu các sản phẩm Chuck wafer silicon carbide ở Trung Quốc. Chúng tôi có thể cung cấp nhiều loại sản phẩm Chuck khác nhau nhưSic muck xốp sic, Sic không xốp, Buồng chân không bằng gốm xốpVàTac phủ Chuck, v.v. Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc.

Dữ liệu SEM của CVDCấu trúc tinh thể màng sic：

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck Shops：