Máy sưởi bằng gốm silic cacbua cacbua

Nó bán dẫnMáy sưởi lớp phủ gốm silicon cacbua là một lò sưởi được thiết kế cho nhiệt độ cao và môi trường khắc nghiệt. Nó phủ một lớp lớp phủ gốm silicon carbon (sic) trên bề mặt của phần tử sưởi ấm để cung cấp cho thiết bị điện trở nhiệt tuyệt vời, khả năng chống ăn mòn và độ dẫn nhiệt. 

Máy sưởi bằng gốm silic cacbua cacbuađược sử dụng chủ yếu trong thiết bị lớp phủ chân không (bay hơi). Các phương pháp thường được sử dụng là PCD (sấy hóa học huyết tương) và PVD (lắng đọng hơi vật lý), được sử dụng rộng rãi trong sản xuất chất bán dẫn và các ứng dụng công nghiệp có nhu cầu cao khác.

Kết hợp với thiết kế lớp phủ hiệu suất cao của lò sưởi gốm silicon cacbua,Nó có thể cung cấp một giải pháp sưởi ấm tuyệt vời cho các quy trình nhiệt độ cao.

Độ dẫn nhiệt tuyệt vời: Vật liệu SIC có độ dẫn nhiệt tuyệt vời, đảm bảo rằng lò sưởi có thể đạt được sự phân bố nhiệt đồng đều trong khu vực làm việc và giảm độ dốc nhiệt độ.

Cung cấp phân phối nhiệt đồng nhất: Máy sưởi lớp phủ gốm silicon cacbua sử dụng độ dẫn nhiệt cao của vật liệu SIC để đạt được sự phân bố nhiệt độ đồng đều trong khu vực sưởi ấm. Điều này là rất quan trọng để đảm bảo xử lý nhiệt đồng đều của các tấm bán dẫn trong các quá trình nhiệt độ cao khác nhau như xử lý nhiệt nhanh (RTP), khuếch tán và oxy hóa, tránh các khuyết tật sản phẩm do quá nhiệt hoặc nhiệt độ không đồng đều tại chỗ.

Khả năng chịu nhiệt độ cao: Lớp phủ SIC cho phép lò sưởi chịu được nhiệt độ cực kỳ cao, thường lên tới 1600 ° C, phù hợp cho các quy trình xử lý nhiệt độ cao khác nhau.

Cải thiện khả năng chịu nhiệt: Bởi vì lớp phủ có thể chịu được nhiệt độ cực kỳ cao, nó hoạt động tốt trong các quá trình đòi hỏi phải hoạt động ở nhiệt độ cao lâu dài. Ví dụ, trong các quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD), lò sưởi lớp phủ gốm silicon có thể đảm bảo hoạt động ổn định lâu dài của thiết bị ở nhiệt độ cao và duy trì hiệu suất sưởi ấm nhất quán, do đó cải thiện độ lặp lại và độ tin cậy của quá trình.

Kháng ăn mòn hóa học: Lớp phủ SIC có khả năng chống axit, kiềm và khí ăn mòn cực kỳ cao, và có thể ổn định trong một thời gian dài trong môi trường khí quyển hóa học phức tạp, kéo dài tuổi thọ của thiết bị. 

Kéo dài tuổi thọ của thiết bị: Lớp phủ SIC có khả năng chống oxy hóa và kháng ăn mòn tuyệt vời, và có thể chống lại sự xói mòn và oxy hóa hóa học một cách hiệu quả ở nhiệt độ cao. Điều này rất quan trọng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong một môi trường xử lý khí và hóa chất ăn mòn. Tác dụng bảo vệ của lớp phủ có thể kéo dài đáng kể tuổi thọ của máy sưởi và giảm tần suất thay thế thiết bị và chi phí bảo trì.

Tính chất vật lý cơ bản của máy sưởi lớp phủ gốm silicon cacbua:

Máy sưởi phòng sưởi gốm silicon bán dẫn vetek:

Tổng quan về chuỗi ngành công nghiệp chip bán dẫn Vetek: