Nguyên tắc và công nghệ của lớp phủ lắng đọng vật lý (1/2) - Bộ bán dẫn Vetek

Quá trình vật lý củaLớp phủ chân không

Lớp phủ chân không về cơ bản có thể được chia thành ba quá trình: "Hơi hóa vật liệu màng", "vận chuyển chân không" và "tăng trưởng màng mỏng". Trong lớp phủ chân không, nếu vật liệu màng là rắn, thì các biện pháp phải được thực hiện để bốc hơi hoặc thăng hoa vật liệu màng rắn vào khí, và sau đó các hạt vật liệu màng bốc hơi được vận chuyển trong chân không. Trong quá trình vận chuyển, các hạt có thể không gặp phải va chạm và trực tiếp tiếp cận chất nền, hoặc chúng có thể va chạm vào không gian và tiếp cận bề mặt chất nền sau khi tán xạ. Cuối cùng, các hạt ngưng tụ trên đế và phát triển thành một màng mỏng. Do đó, quá trình phủ liên quan đến sự bay hơi hoặc thăng hoa của vật liệu màng, việc vận chuyển các nguyên tử khí trong chân không và sự hấp phụ, khuếch tán, tạo mầm và giải hấp các nguyên tử khí trên bề mặt rắn.

Phân loại lớp phủ chân không

Theo các cách khác nhau, trong đó vật liệu màng thay đổi từ chất rắn sang khí và các quá trình vận chuyển khác nhau của các nguyên tử vật liệu màng trong chân không, lớp phủ chân không về cơ bản có thể được chia thành bốn loại: bay hơi chân không, phun nước chân không, mạ ion chân không và lắng đọng hơi hóa học. Ba phương pháp đầu tiên được gọi làlắng đọng hơi vật lý (PVD), và cái sau được gọi làlắng đọng hơi hóa học (CVD).

Lớp phủ bay hơi

Lớp phủ bốc hơi chân không là một trong những công nghệ phủ chân không lâu đời nhất. Năm 1887, R. Nahrwold đã báo cáo việc chuẩn bị màng bạch kim bằng cách thăng hoa bạch kim trong chân không, được coi là nguồn gốc của lớp phủ bay hơi. Bây giờ lớp phủ bay hơi đã phát triển từ lớp phủ bay điện trở ban đầu đến các công nghệ khác nhau như lớp phủ bay hơi điện tử, lớp phủ bay hơi sưởi ấm và lớp phủ bay laser xung.

Đang sưởi ấmLớp phủ bay hơi

Nguồn bay hơi điện trở là một thiết bị sử dụng năng lượng điện để trực tiếp hoặc gián tiếp làm nóng vật liệu màng. Nguồn bay hơi điện trở thường được làm từ kim loại, oxit hoặc nitrid với điểm nóng chảy cao, áp suất hơi thấp, chất ổn định hóa học và cơ học tốt, như vonfram, molypden, tantalum, graphit tinh khiết cao, gốm oxit nhôm, gốm nitride boron và các vật liệu khác. Các hình dạng của các nguồn bay hơi kháng thuốc chủ yếu bao gồm các nguồn dây tóc, nguồn lá và cây trồng.

Khi sử dụng, đối với các nguồn dây tóc và nguồn lá, chỉ cần sửa hai đầu của nguồn bay hơi đến các cột đầu cuối với các loại hạt. Kim nấu ăn thường được đặt trong một dây xoắn ốc, và dây xoắn ốc được cung cấp năng lượng để làm nóng nồi nấu kim loại, và sau đó nồi nấu kim loại chuyển nhiệt sang vật liệu phim.

Vetek S bán dẫn là nhà sản xuất chuyên nghiệp của Trung QuốcLớp phủ cacbua tantalum, Lớp phủ cacbua silicon, Than chì đặc biệt, Gốm silicon cacbuaVàGốm sứ bán dẫn khác.Bán dẫn Vetek cam kết cung cấp các giải pháp tiên tiến cho các sản phẩm phủ khác nhau cho ngành công nghiệp bán dẫn.

Nếu bạn có bất kỳ yêu cầu hoặc cần chi tiết bổ sung, xin vui lòng không ngần ngại liên lạc với chúng tôi.

Mob/whatsapp: +86-180 6922 0752

Email: anny@veteksemi.com