Sự khác biệt giữa CVD TAC và TAC thiêu kết là gì?

1. Carbide tantalum là gì?

Carbide tantalum (TAC) là một hợp chất nhị phân bao gồm tantalum và carbon với công thức thực nghiệm TACX, trong đó X thường thay đổi trong khoảng từ 0,4 đến 1. Chúng là bột màu xám nâu, thường là thiêu kết. Là một vật liệu gốm kim loại quan trọng, cacbua tantalum được sử dụng thương mại để cắt các dụng cụ và đôi khi được thêm vào các hợp kim cacbua vonfram.

Hình 1. Nguyên liệu thô cacbua tantalum

Gốm cacbua tantalum là một loại gốm chứa bảy pha tinh thể của cacbua tantalum. Công thức hóa học là TAC, mạng khối tập trung vào mặt.

Hình 2.Cacbua tantalum - wikipedia

Mật độ lý thuyết là 1,44, điểm nóng chảy là 3730-3830, hệ số giãn nở nhiệt là 8,3 × 10-6, mô đun đàn hồi là 291GPA, độ dẫn nhiệt là 0,22J/cm · s Giá trị này là cao nhất trong số các hợp chất nhị phân.

Hình 3.Sự lắng đọng hơi hóa học của cacbua tantalum trong TABR5 & NDASH

2. Tantalum cacbua mạnh đến mức nào?

Bằng cách kiểm tra độ cứng của Vickers, độ bền gãy và mật độ tương đối của một loạt các mẫu, có thể xác định rằng TAC có tính chất cơ học tốt nhất ở mức 5,5GPA và 1300. Mật độ tương đối, độ bền gãy và độ cứng của Vickers của TAC lần lượt là 97,7%, 7,4MPAM1/2 và 21,0GPA.

Carbide tantalum còn được gọi là gốm cacbua tantalum, là một loại vật liệu gốm theo nghĩa rộng;Các phương pháp chuẩn bị cacbua tantalum bao gồmCVDPhương pháp, phương pháp thiêu kết, vv hiện tại, phương pháp CVD được sử dụng phổ biến hơn trong chất bán dẫn, với độ tinh khiết cao và chi phí cao.

3. So sánh giữa cacbua tantalum thiêu kết và cacbua TantalumCVD

Trong công nghệ xử lý của chất bán dẫn, các cacbua tantalum tantalum thiêu kết (CVD) cacbua tantalum là hai phương pháp phổ biến để điều chế cacbua tantalum, có sự khác biệt đáng kể trong quá trình chuẩn bị, cấu trúc vi mô, hiệu suất và ứng dụng.

3.1 Quá trình chuẩn bị

Cacbide Tantalum thiêu kết: Bột cacbua tantalum được thiêu kết dưới nhiệt độ cao và áp suất cao để tạo thành một hình dạng. Quá trình này liên quan đến mật độ bột, tăng trưởng hạt và loại bỏ tạp chất.

CVD tantalum cacbua: Tiền chất khí cacbua tantalum được sử dụng để phản ứng hóa học trên bề mặt chất nền được làm nóng, và màng cacbua tantalum được lắng đọng từng lớp. Quá trình CVD có khả năng kiểm soát độ dày màng tốt và tính đồng nhất thành phần.

3.2 cấu trúc vi mô

Cacbua tantalum thiêu kết: Nói chung, nó là một cấu trúc đa tinh thể với kích thước hạt lớn và lỗ chân lông. Cấu trúc vi mô của nó bị ảnh hưởng bởi các yếu tố như nhiệt độ thiêu kết, áp suất và đặc tính bột.

CVD tantalum cacbua: Nó thường là một màng đa tinh thể dày đặc với kích thước hạt nhỏ và có thể đạt được sự tăng trưởng có định hướng cao. Cấu trúc vi mô của màng bị ảnh hưởng bởi các yếu tố như nhiệt độ lắng đọng, áp suất khí và thành phần pha khí.

3.3 Sự khác biệt về hiệu suất

Hình 4. Sự khác biệt về hiệu suất giữa TAC thiêu kết và CVD TAC

3.4 Ứng dụng

Thiêu kết cacbua tantalum: Do độ bền cao, độ cứng cao và khả năng chống nhiệt độ cao, nó được sử dụng rộng rãi trong các công cụ cắt, các bộ phận chống hao mòn, vật liệu cấu trúc nhiệt độ cao và các trường khác. Ví dụ, cacbua tantalum thiêu kết có thể được sử dụng để sản xuất các dụng cụ cắt như máy khoan và máy cắt phay để cải thiện hiệu quả xử lý và chất lượng bề mặt một phần.

CVD tantalum cacbua: Do tính chất màng mỏng, độ bám dính và tính đồng nhất tốt, nó được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị điện tử, vật liệu phủ, chất xúc tác và các trường khác. Ví dụ, cacbua Tantalum CVD có thể được sử dụng làm kết nối cho các mạch tích hợp, lớp phủ chống mài mòn và chất mang chất xúc tác.

-----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------

Là một nhà sản xuất, nhà cung cấp và nhà máy của nhà sản xuất lớp phủ cacbua tantalum, chất bán dẫn Vetek là nhà sản xuất hàng đầu vật liệu phủ cacbua tantalum cho ngành công nghiệp bán dẫn.

Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồmCVD Tantalum cacbua được phủ các bộ phận, các bộ phận phủ TAC thiêu kết cho sự phát triển tinh thể SIC hoặc các quá trình epitaxy bán dẫn. Các sản phẩm chính của chúng tôi là các vòng hướng dẫn tráng cacbua tantalum, vòng hướng dẫn phủ TAC, các bộ phận nửa mặt trăng phủ TAC, các đĩa quay hành tinh phủ tantalum cacated (AIXTRON G10), Crucibles phủ TAC; Vòng phủ TAC; TAC phủ than chì xốp; Tantalum cacbua tráng than chì than chì; Nhẫn hướng dẫn phủ TAC; Tac tantalum cacbua tráng; Tac phủ hình dạng wafer; Tac phủ nắp than chì; Các khối phủ TAC, v.v., với độ tinh khiết dưới 5ppm để đáp ứng yêu cầu của khách hàng.

Hình 5. Các sản phẩm lớp phủ TAC bán dẫn của Bán dẫn Vetek

Chất bán dẫn Vetek cam kết trở thành một nhà đổi mới trong ngành công nghiệp lớp phủ cacbua tantalum thông qua nghiên cứu và phát triển liên tục các công nghệ lặp. 

Nếu bạn quan tâm đến các sản phẩm TAC, xin vui lòng liên hệ trực tiếp với chúng tôi.

Mob: +86-180 6922 0752

WhatsApp: +86 180 6922 0752

Email: anny@veteksemi.com