Vòng lấy nét SiC rắn

6. Các lĩnh vực ứng dụng chính

7. Ưu điểm cốt lõi của vòng lấy nét SiC rắn của Veteksem

Khả năng chống ăn mòn plasma tuyệt vời

Khi tiếp xúc kéo dài với các plasma mật độ cao, có tính ăn mòn cao như CF4, O2 và Cl2, các vật liệu thông thường dễ bị mài mòn nhanh chóng và nhiễm bẩn hạt. Vòng lấy nét SiC rắn của chúng tôi có khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, với tốc độ ăn mòn thấp hơn nhiều so với các vật liệu như thạch anh hoặc alumina. Điều này có nghĩa là nó duy trì bề mặt nhẵn theo thời gian, giảm đáng kể nguy cơ lỗi tấm bán dẫn do hao mòn linh kiện, đảm bảo sản xuất hàng loạt liên tục và ổn định.

Tính ổn định nhiệt độ cao tuyệt vời và hiệu suất quản lý nhiệt

Quá trình ăn mòn chất bán dẫn tạo ra nhiệt đáng kể, khiến các thành phần trong buồng trải qua những biến động nhiệt độ đáng kể. Vòng lấy nét của chúng tôi có hệ số giãn nở nhiệt cực thấp, có khả năng chịu được nhiệt độ nhất thời lên tới 1600°C mà không bị nứt hoặc biến dạng. Hơn nữa, độ dẫn nhiệt cao vốn có của chúng giúp phân tán nhiệt đồng đều và nhanh chóng, cải thiện hiệu quả sự phân bổ nhiệt độ ở rìa tấm bán dẫn, từ đó nâng cao hiệu suất hoạt động.khắc tính đồng nhất và nhất quán của các kích thước quan trọng trên toàn bộ tấm bán dẫn.

Độ tinh khiết vật liệu đặc biệt và mật độ cấu trúc

Chúng tôi kiểm soát chặt chẽ độ tinh khiết của nguyên liệu thô cacbua silic ( ≥99,999%) và loại bỏ ô nhiễm kim loại trong quá trình thiêu kết để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của quy trình sản xuất tiên tiến để kiểm soát tạp chất. Cấu trúc dày đặc được hình thành thông qua quá trình thiêu kết ở nhiệt độ cao có độ xốp cực thấp, gần như ngăn chặn hoàn toàn sự xâm nhập của khí và sản phẩm phụ trong quá trình. Điều này ngăn cản sự suy giảm hiệu suất và sự phát triển của các hạt do sự xuống cấp của vật liệu bên trong, đảm bảo môi trường buồng xử lý tinh khiết.

Tuổi thọ cơ học lâu dài và hiệu quả chi phí toàn diện

So với các vật tư tiêu hao thông thường cần thay thế thường xuyên, vòng lấy nét SiC rắn của Veteksemi mang lại độ bền vượt trội. Chúng duy trì hiệu suất ổn định trong suốt thời gian sử dụng, kéo dài chu kỳ thay thế nhiều lần. Điều này không chỉ trực tiếp giảm chi phí mua sắm phụ tùng thay thế mà còn cải thiện đáng kể việc sử dụng máy bằng cách giảm thời gian ngừng hoạt động của thiết bị để bảo trì, mang lại lợi ích tổng thể đáng kể cho khách hàng.

Kiểm soát kích thước chính xác và dịch vụ tùy biến linh hoạt

Chúng tôi hiểu các yêu cầu chính xác của các loại máy móc và quy trình khác nhau đối với vật tư tiêu hao. Mỗi vòng lấy nét đều trải qua quá trình gia công chính xác và kiểm tra nghiêm ngặt để đảm bảo dung sai kích thước tới hạn trong phạm vi ±0,05mm. Chúng tôi cũng cung cấp các dịch vụ tùy chỉnh, bao gồm kích thước tùy chỉnh, độ hoàn thiện bề mặt (đánh bóng đến Ra ≤ 0,2μm) và điều chỉnh độ dẫn điện để phù hợp hoàn hảo với các yêu cầu quy trình cụ thể và tình huống ứng dụng của bạn.

Để biết thông số kỹ thuật chi tiết, sách trắng hoặc sắp xếp thử nghiệm mẫu, vui lòng liên hệ với Nhóm hỗ trợ kỹ thuật của chúng tôi để khám phá cách Veteksemi có thể nâng cao hiệu quả quy trình của bạn.