Đầu vòi hoa sen sic

Bán dẫn Vetek cung cấp đầu tắm sic tiên tiến cho ngành công nghiệp bán dẫn. Vật liệu cacbua silicon có sự kết hợp độc đáo của các tính chất nhiệt, điện và hóa học tuyệt vời, làm cho chúng trở nên lý tưởng cho các ứng dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn nơi cần có vật liệu hiệu suất cao. Chất bán dẫn Vetek có kinh nghiệm tích lũy từ lâu trong công nghệ SIC rắn CVD. Công nghệ cách mạng của Bán dẫn Vetek cho phép sản xuất SIC Shower Head, một vật liệu cacbua silicon có độ tinh khiết cực cao được tạo ra thông qua quá trình lắng đọng hơi hóa học.

Đầu vòi hoa sen là một thành phần quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, được thiết kế đặc biệt cho các hệ thống MOCVD, epitaxy silicon vàSicquá trình epitaxy. Làm từ mạnh mẽCarbide silicon rắn (SIC), thành phần này có thể chịu được các điều kiện khắc nghiệt của xử lý plasma và các ứng dụng nhiệt độ cao.

Carbide silicon (sic)được biết đến với độ dẫn nhiệt cao, khả năng chống ăn mòn hóa học và độ bền cơ học đặc biệt, làm cho nó trở thành một vật liệu lý tưởng cho các thành phần SIC số lượng lớn như đầu vòi hoa sen sic. Đầu vòi hoa sen khí đảm bảo thậm chí phân phối khí xử lý trên bề mặt wafer, điều này rất cần thiết để tạo ra các lớp epiticular chất lượng cao. Các vòng tập trung và các vòng cạnh, thường được làm từ CVD-SIC, duy trì sự phân bố huyết tương đồng đều và bảo vệ buồng khỏi bị ô nhiễm, tăng cường hiệu quả và năng suất của sự tăng trưởng epiticular.

Với điều khiển dòng khí chính xác và tính chất vật liệu nổi bật, SIC Shower Head là một thành phần chính trong xử lý chất bán dẫn hiện đại, hỗ trợ các ứng dụng tiên tiến trong epitaxy silicon và epitaxy sic.

Bán dẫn Vetek cung cấp một đầu vòi hoa sen bán dẫn silicon có điện trở suất thấp. Chúng tôi có khả năng cung cấp và cung cấp tùy chỉnhVật liệu gốm nâng caoSử dụng một loạt các khả năng độc đáo.