Từ quá trình sản xuất cốc hút tĩnh điện đến các nhà sản xuất hàng loạt

Nguyên tắc dechuck củaChuck tĩnh điệnlà một phần quan trọng trong quy trình làm việc của nó liên quan đến việc loại bỏ lực tĩnh điện và cơ chế giải phóng wafer. Sau đây là một phân tích chi tiết:

Lõi của DeChuck là loại bỏ hoặc vô hiệu hóa lực tĩnh điện được hấp phụ trên wafer và các phương pháp cụ thể bao gồm:

YouDaoplaceHolder0 đã cắt đứt sức mạnh

Dừng áp dụng điện áp dòng điện trực tiếp vào điện cực để loại bỏ dần điện trường.

YouDaoplaceHolder0 Điện áp ngược hoặc phun khí

Một số hệ thống sẽ áp dụng điện áp ngược hoặc giới thiệu các khí trơ (như HE, N₂) để tăng tốc trung hòa điện tích hoặc phân tách vật lý.

Hãy so sánh các kỹ thuật chuyên nghiệp của sản xuất ESC và trước tiên hãy xem liệu công ty có thể đạt đến quy mô như vậy không.

Công nghệ phân tích CAE, vật liệu chức năng tấm, thiết kế điện cực, công nghệ phân tích, công nghệ kênh làm mát, công nghệ thiết kế nóng, nhân viên cao cấp trong thiết bị bán dẫn.

Các công ty Nhật Bản và Hàn Quốc phải được nhân viên đầy đủ với các nhân viên có liên quan như vậy. Nếu không, không cần phải nói về công nghệ của công ty.

Công nghệ Chuck, điện cực, đĩa và thậm chí nguyên tắc dòng chảy chưa được làm rõ. Hãy làm một cốc hút tĩnh điện thô. Các công ty như vậy được truyền trực tiếp. Về cơ bản, chúng được sử dụng để kiềm chế tiền của các nhà đầu tư. Đây là cấp độ cơ bản của biết làm thế nào. Các nhà đầu tư cũng nên từ bỏ một công ty chơi với các trò chơi bài và không có nhân viên nào có hơn 10 năm kinh nghiệm về thiết bị khắc, bởi vì đây không phải là một công ty thực tế.

Khi nói đến việc bắn bột trong ngành, mọi người đều ở trong cùng một lĩnh vực. Mỗi người có công thức riêng. Cái nào không có sức mạnh để được trang bị bề mặt gốm thiêu kết? Các nhà đầu tư cũng có thể truyền lại các cấu hình hoặc công ty này chưa hoàn toàn nắm bắt chúng, bởi vì logic cơ bản của họ là như nhau: họ nhằm mục đích kiếm tiền, không phát triển sản phẩm.

Về sửa chữa, nhiều công ty trong nước nên có các khả năng tương ứng cho L1 đến L3 cho đến nay. Ngay cả khi các khả năng thiếu một chút, L1 vẫn có thể xử lý nó. Đối với L3 trở lên, nó không thể được sửa chữa hoặc nó có thể được ký hợp đồng phụ. Trong mọi trường hợp, vẫn còn một cách để sửa chữa nó.

L1 Sửa chữa Bề mặt sửa chữa, cải thiện độ nhám bề mặt/cải thiện độ phẳng/tái tạo va chạm.

Sửa chữa L2: Sửa chữa lớp chung, tái tạo cơ sở kim loại và đĩa gốm/làm lại lớp khớp.

L3 Sửa chữa thay thế đĩa gốm, sản xuất đĩa gốm/tái tạo cơ sở kim loại và đĩa gốm.

Công ty TNHH Công ty TNHH Thiết bị Đổi mới Đổi mới HAITUO, LTD

Công ty giữ một vị trí hàng đầu trong việc thiết kế và sản xuất các mucks và thiết bị tĩnh điện trong nước dựa trên các mucks tĩnh điện là công nghệ cốt lõi. Hiện tại, Haituo Đổi mới đã đạt được sản xuất thương mại của các cốc hút tĩnh điện và đã hoàn thành việc cung cấp các chick tĩnh điện Fab Bán dẫn 4 inch đến 12 inch.

Công ty TNHH Công nghệ Bắc Kinh Huazhuo Jingke

Các cốc hút tĩnh điện được phát triển độc lập bởi công ty tuân thủ các tiêu chuẩn và xử lý liên quanYêu cầu của ngành công nghiệp bán dẫn. Các cốc hút tĩnh điện nhôm PVD 12 inch được phát triển trong giai đoạn đầu, ở một mức độ nhất định, đã phá vỡ sự độc quyền lâu dài của các nhà sản xuất nước ngoài trong lĩnh vực sản phẩm này. Hiện tại, Huazhuo Jingke đã áp dụng công nghệ liên quan của cốc hút tĩnh điện vào sản xuất sản phẩm và đạt được sản xuất hàng loạt quy mô nhỏ. Nó cũng có thể cung cấp các sản phẩm tùy chỉnh cho khách hàng.

Được thành lập vào năm 2016, là nhà cung cấp hàng đầu các vật liệu lớp phủ tiên tiến cho ngành công nghiệp bán dẫn. Người sáng lập của chúng tôi, một cựu chuyên gia từ Viện Vật liệu Khoa học Trung Quốc, đã thành lập công ty tập trung vào việc phát triển các giải pháp tiên tiến cho ngành công nghiệp.

Các dịch vụ sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm lớp phủ CVD Silicon cacbua (SIC), lớp phủ cacbua (TAC) Tantalum (TAC), SIC số lượng lớn, bột SIC và vật liệu SIC tinh khiết cao. Các sản phẩm chính là SIC lớp phủ than chì SIC, vòng nóng trước, vòng chuyển hướng TAC, bộ phận nửa mmoon, v.v., độ tinh khiết dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng.

Công ty TNHH Công nghệ Vật liệu XINNA

Các sản phẩm cốc hút tĩnh điện được phát triển bởi nó có các chỉ số hiệu suất có thể đáp ứng nhu cầu của các doanh nghiệp sản xuất chip. Chúng có các tính chất nổi bật như nhiệt độ có thể điều khiển, lực hấp phụ đồng nhất, không có vết trầy xước hoặc nếp nhăn trong quá trình hấp phụ và không có hiệu ứng loại trừ cạnh trên wafer. Họ đã được chứng nhận bởi các doanh nghiệp công nghiệp bán dẫn trong nước như Công nghệ bộ nhớ Yangtze, Microelectronics và Đổi mới Bắc Trung Quốc và đã đạt được doanh số. Nó đã phá vỡ sự độc quyền của các nhà sản xuất nước ngoài trong lĩnh vực sản phẩm này.

Công ty TNHH Công nghệ Điện tử Hà Bắc Zhongci

Năm 2022, công ty đã thực hiện các động thái chiến lược trong lĩnh vực các thành phần gốm chính xác, đạt được nội địa hóa các bộ phận chính xác kỹ thuật cao như tấm sưởi và mâm cặp tĩnh điện. Các chỉ số kỹ thuật cốt lõi của các tấm sưởi gốm được phát triển bởi Zhongci Electronics đã đạt đến mức độ của các sản phẩm quốc tế tương tự và đã được người dùng xác minh. Chúng đã được áp dụng theo lô trong các thiết bị bán dẫn trong nước chính. Các tấm gia nhiệt bằng gốm đã được phân phối với số lượng lớn, và các muck tĩnh điện đã được gửi để thử nghiệm mẫu.