Cacbua tantalum xốp

Cacbua xốp vetek bán dẫn (TAC) là một vật liệu gốm hiệu suất cao kết hợp các tính chất của tantalum và carbon. Cấu trúc xốp của nó rất phù hợp cho các ứng dụng cụ thể trong nhiệt độ cao và môi trường khắc nghiệt. TAC kết hợp độ cứng tuyệt vời, độ ổn định nhiệt và kháng hóa chất, làm cho nó trở thành một lựa chọn vật liệu lý tưởng trong xử lý chất bán dẫn.

Cacbua tantalum xốp (TAC) bao gồm tantalum (TA) và carbon (C), trong đó tantalum tạo thành một liên kết hóa học mạnh với các nguyên tử carbon, cho vật liệu độ bền cao và khả năng chịu hao mòn. Cấu trúc xốp của TAC xốp được tạo ra trong quá trình sản xuất vật liệu và độ xốp có thể được kiểm soát theo nhu cầu ứng dụng cụ thể. Sản phẩm này thường được sản xuất bởilắng đọng hơi hóa học (CVD)Phương pháp, đảm bảo kiểm soát chính xác kích thước lỗ rỗng và phân phối của nó.

Cấu trúc phân tử của cacbua tantalum

Cacbua tantalum bán dẫn vetek (TAC) có các tính năng sản phẩm sau

● Độ xốp: Cấu trúc xốp cung cấp cho nó các chức năng khác nhau trong các kịch bản ứng dụng cụ thể, bao gồm khuếch tán khí, lọc hoặc tản nhiệt có kiểm soát.

● Điểm nóng chảy cao: Carbide tantalum có điểm nóng chảy cực cao khoảng 3,880 ° C, phù hợp với môi trường nhiệt độ cực cao.

● Độ cứng tuyệt vời: TAC xốp có độ cứng cực kỳ cao khoảng 9-10 trong thang đo độ cứng của MOHS, tương tự như kim cương. , và có thể chống lại hao mòn cơ học trong điều kiện khắc nghiệt.

● Ổn định nhiệt: Vật liệu cacbua tantalum (TAC) có thể ổn định trong môi trường nhiệt độ cao và có độ ổn định nhiệt mạnh mẽ, đảm bảo hiệu suất nhất quán của nó trong môi trường nhiệt độ cao.

● Độ dẫn nhiệt cao: Mặc dù có độ xốp, cacbua tantalum xốp vẫn giữ được độ dẫn nhiệt tốt, đảm bảo truyền nhiệt hiệu quả.

● Hệ số giãn nở nhiệt thấp: Hệ số giãn nở nhiệt thấp của cacbua tantalum (TAC) giúp vật liệu duy trì ổn định kích thước trong biến động nhiệt độ đáng kể và làm giảm tác động của stress nhiệt.

Tính chất vật lý của lớp phủ TAC

Trong sản xuất chất bán dẫn, cacbua tantalum xốp (TAC) đóng vai trò chính sau đâys

Trong các quá trình nhiệt độ cao nhưkhắc huyết tươngvà CVD, cacbua tantalum bán dẫn vetek thường được sử dụng làm lớp phủ bảo vệ cho thiết bị chế biến. Điều này là do khả năng chống ăn mòn mạnh mẽ củaLớp phủ TACvà sự ổn định nhiệt độ cao của nó. Các tính chất này đảm bảo rằng nó bảo vệ hiệu quả các bề mặt tiếp xúc với khí phản ứng hoặc nhiệt độ khắc nghiệt, do đó đảm bảo phản ứng bình thường của các quá trình nhiệt độ cao.

Trong các quá trình khuếch tán, cacbua tantalum xốp có thể đóng vai trò là một rào cản khuếch tán hiệu quả để ngăn chặn sự pha trộn của các vật liệu trong các quá trình nhiệt độ cao. Tính năng này thường được sử dụng để kiểm soát sự khuếch tán của các chất pha chế trong các quá trình như cấy ion và kiểm soát độ tinh khiết của các tấm bán dẫn.

Cấu trúc xốp của cacbua tantalum bán dẫn vetalum rất phù hợp cho môi trường xử lý bán dẫn yêu cầu hoặc lọc dòng khí chính xác. Trong quá trình này, TAC xốp chủ yếu đóng vai trò của việc lọc và phân phối khí. Sự trơ hóa hóa học của nó đảm bảo rằng không có chất gây ô nhiễm nào được đưa ra trong quá trình lọc. Điều này có hiệu quả đảm bảo độ tinh khiết của sản phẩm được xử lý.

Lớp phủ cacbua tantalum (TAC) trên mặt cắt bằng kính hiển vi