Tin tức

Lớp phủ CVD TAC là gì? - Veteksemi

Như tất cả chúng ta đã biết,cacbua tantalum (TAC)có nhiệt độ nóng chảy lên tới 3880°C, độ bền cơ học cao, độ cứng, khả năng chống sốc nhiệt; có tính trơ hóa học tốt và ổn định nhiệt đối với hơi chứa amoniac, hydro, silicon ở nhiệt độ cao.

Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section picture

Lớp phủ cacbua tantali trên mặt cắt cực nhỏ


CVD TAC Lớp phủ, lắng đọng hơi hóa học (CVD) củalớp phủ cacbua tantalum (TAC), là một quá trình hình thành lớp phủ có mật độ cao và bền trên nền (thường là than chì). Phương pháp này liên quan đến việc lắng đọng TaC lên bề mặt chất nền ở nhiệt độ cao, tạo ra lớp phủ có độ ổn định nhiệt và kháng hóa chất tuyệt vời.


Những ưu điểm chính của lớp phủ CVD TaC bao gồm:


●  Độ ổn định nhiệt cực cao: Lớp phủ cacbua Tantalum có thể chịu được nhiệt độ vượt quá 2200°C.


●  Khả năng kháng hóa chất: Lớp phủ CVD TAC có thể chống lại các hóa chất khắc nghiệt như hydro, amoniac và hơi silicon.


● Độ bám dính mạnh mẽ: Lớp phủ TAC đảm bảo bảo vệ lâu dài mà không bị phân tách.


● Độ tinh khiết cao: giảm thiểu tạp chất, khiến nó trở nên lý tưởng cho các ứng dụng bán dẫn.


Tính chất vật lý của lớp phủ Tantalum Carbide
Mật độ lớp phủ TAC
14.3 (g/cm³)
Độ phát xạ cụ thể
0.3
Hệ số giãn nở nhiệt
6,3 * 10-6/K
Độ cứng lớp phủ (HK)
2000 hk
Sức chống cự
1×10-5Ohm*cm
Độ ổn định nhiệt
<2500oC
Thay đổi kích thước than chì
-10~-20um
độ dày lớp phủ
≥20um giá trị điển hình (35um±10um)


Những lớp phủ này đặc biệt phù hợp cho các môi trường đòi hỏi độ bền cao và khả năng chống lại các điều kiện khắc nghiệt, chẳng hạn như sản xuất chất bán dẫn và quy trình công nghiệp ở nhiệt độ cao.


Trong sản xuất công nghiệp, than chì (hỗn hợp cacbon-cacbon) vật liệu được phủ lớp phủ TaC rất có khả năng thay thế than chì có độ tinh khiết cao truyền thống, lớp phủ pBN, các bộ phận phủ SiC, v.v. Ngoài ra, trong lĩnh vực hàng không vũ trụ, TaC có tiềm năng lớn được sử dụng làm chất chống oxy hóa ở nhiệt độ cao và lớp phủ chống mài mòn, và có triển vọng ứng dụng rộng rãi. Tuy nhiên, vẫn còn nhiều thách thức để đạt được việc chuẩn bị lớp phủ TaC dày đặc, đồng đều, không bong tróc trên bề mặt than chì và thúc đẩy sản xuất hàng loạt công nghiệp.


Trong quá trình này, việc khám phá cơ chế bảo vệ của lớp phủ, đổi mới quy trình sản xuất và cạnh tranh với các đối thủ hàng đầu nước ngoài là rất quan trọng đối với thế hệ thứ ba.tăng trưởng tinh thể bán dẫn và epitaxy.




VeTek Semiconductor là nhà sản xuất chuyên nghiệp của Trung Quốc về các sản phẩm Lớp phủ cacbua CVD Tantalum và độ tinh khiết Lớp phủ TaC của chúng tôi dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng. Các sản phẩm được phủ CVD TaC chính của VeTekSemi bao gồm CVD TAC Lớp phủ lò xo, Chất mang wafer phủ CVD TaC, Chất mang lớp phủ CVD TaCVỏ phủ CVD TaC,  Vòng phủ CVD TAC. Bán dẫn Vetek cam kết cung cấp các giải pháp tiên tiến cho các sản phẩm phủ khác nhau cho ngành công nghiệp bán dẫn. Chất bán dẫn Vetek chân thành hy vọng sẽ trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc.


VeTek CVD TaC Coating CarrierVETEK CVD TaC Coating CoverVETEK CVD TaC Coating Crucible

VETEK CVD TaC Coating RingVETEK CVD TaC Coating Wafer CarrierCVD TAC Coating PARTS


Nếu bạn có bất kỳ yêu cầu hoặc cần chi tiết bổ sung, xin vui lòng không ngần ngại liên lạc với chúng tôi.

Mob/whatsapp: +86-180 6922 0752

Email: anny@veteksemi.com

Tin tức liên quan
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept