CVD TAC Lớp phủ lò xo

Mây đau xoay TAC Lớp phủ đóng vai trò chính trong các quá trình lắng đọng nhiệt độ cao như CVD và MBE, và là một thành phần quan trọng để xử lý wafer trong sản xuất chất bán dẫn. Trong số đó,Lớp phủ TACCó điện trở nhiệt độ cao tuyệt vời, khả năng chống ăn mòn và độ ổn định hóa học, đảm bảo độ chính xác cao và chất lượng cao trong quá trình xử lý wafer.

CVD TAC Lớp phủ nồi nấu kim loại thường bao gồm lớp phủ TAC vàthan chìchất nền. Trong số đó, TAC là một vật liệu gốm điểm nóng chảy cao với điểm nóng chảy lên tới 3880 ° C. Nó có độ cứng cực cao (độ cứng của Vickers lên đến 2000 HV), kháng ăn mòn hóa học và khả năng chống oxy hóa mạnh. Do đó, lớp phủ TAC là một vật liệu kháng nhiệt độ cao tuyệt vời trong công nghệ xử lý bán dẫn.

Chất nền than chì có độ dẫn nhiệt tốt (độ dẫn nhiệt là khoảng 21 W/m · k) và độ ổn định cơ học tuyệt vời. Đặc tính này xác định rằng than chì trở thành một lớp phủ lý tưởngchất nền.

CVD TAC Coating Crucible chủ yếu được sử dụng trong các công nghệ xử lý bán dẫn sau đây:

Sản xuất wafer: Vetek bán dẫn CVD TAC Lớp phủ có khả năng chịu nhiệt độ cao tuyệt vời (điểm nóng chảy lên tới 3880 ° C) và khả năng chống ăn mòn, do đó nó thường được sử dụng trong các quy trình sản xuất wafer quan trọng như lắng đọng hơi nhiệt độ cao (CVD) và tăng trưởng epitaxial. Kết hợp với sự ổn định cấu trúc tuyệt vời của sản phẩm trong môi trường nhiệt độ cực cao, nó đảm bảo rằng thiết bị có thể hoạt động ổn định trong một thời gian dài trong điều kiện cực kỳ khắc nghiệt, do đó cải thiện hiệu quả hiệu quả sản xuất và chất lượng của wafer.

Quá trình tăng trưởng epiticular: Trong các quy trình epiticular nhưlắng đọng hơi hóa học (CVD)và epitaxy chùm phân tử (MBE), lớp phủ CVD TAC đóng vai trò chính trong việc mang theo. Lớp phủ TAC của nó không chỉ duy trì độ tinh khiết cao của vật liệu dưới nhiệt độ khắc nghiệt và không khí ăn mòn, mà còn ngăn ngừa sự ô nhiễm của các chất phản ứng trên vật liệu và sự ăn mòn của lò phản ứng, đảm bảo độ chính xác của quá trình sản xuất và tính nhất quán của sản phẩm.

Là nhà sản xuất và lãnh đạo lớp phủ CVD TAC hàng đầu của Trung Quốc, bộ bán dẫn Vetek có thể cung cấp các sản phẩm và dịch vụ kỹ thuật tùy chỉnh theo các yêu cầu về thiết bị và quy trình của bạn. Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc.

Lớp phủ cacbua tantalum (TAC) trên mặt cắt bằng kính hiển vi：

Tính chất vật lý của lớp phủ TAC：

Nó bán dẫn CVD TAC Lớp phủ Lớp phủ