Alumina gốm không

Alumina Geramic Vucks Chuck là một người giữ wafer cho các quá trình epiticular trong quá trình xử lý bán dẫn. Nó là một công cụ chính để ổn định các tấm wafer và đảm bảo sự phát triển đồng đều của các lớp epiticular. Nó được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị epiticular nhưMOCVDVàLPCVD.

Vetek bán dẫn Alumina Geramic chân không gốm đóng vai trò quan trọng trong các giai đoạn mỏng và mài wafer của sản xuất chất bán dẫn. Các giai đoạn này liên quan đến việc giảm chính xác độ dày củaChất nền waferĐể tăng cường sự phân tán nhiệt chip, điều này rất cần thiết để cải thiện hiệu quả và tuổi thọ của các thiết bị bán dẫn.

Tương thích với nhiều kích thước wafer: Chuck chân không gốm alumina bán dẫn Vetek được thiết kế để hỗ trợ một loạt các kích thước wafer, bao gồm 2, 3, 4, 5, 6, 8 và 12 inch. Khả năng thích ứng này làm cho nó phù hợp với nhiều môi trường sản xuất chất bán dẫn, đảm bảo hiệu suất nhất quán và đáng tin cậy trên các kích thước wafer khác nhau.

Thành phần vật liệu vượt trội: Cơ sở của mâm giờ chân không gốm alumina được làm bằng alumina siêu pure 99,9999% (AL₂O₃), cung cấp khả năng chống tấn công hóa học và ổn định nhiệt. Bề mặt chuck được làm bằng xốpCarbide silicon (sic). Vật liệu gốm xốp có cấu trúc dày đặc và đồng nhất, giúp cải thiện độ bền và hiệu suất của nó.

Lợi ích củaCông nghệ gốm xốp：

Độ tinh khiết và độ bền vật chất: Được làm từ alumina nguyên chất 99,99%, Chuck chân không gốm Alumina của chúng tôi chống lại sự tấn công hóa học và cung cấp sự ổn định nhiệt tuyệt vời, làm cho nó trở nên lý tưởng cho môi trường sản xuất cực kỳ đòi hỏi.

Độ xốp tối ưu và tính thấm không khí: Các micropores phân bố đều cung cấp tính thấm không khí tuyệt vời và lực hấp phụ đồng đều, dẫn đến hoạt động trơn tru và nhất quán.

Tăng cường độ phẳng và song song: Chucks chân không gốm alumina micropious có độ phẳng và song song tuyệt vời, đảm bảo xử lý wafer chính xác và sự ổn định.

Khả năng dịch vụ tùy chỉnh: Veteksemi có thể cung cấp nhiều hình dạng có thể tùy chỉnh, bao gồm các thiết kế tròn, vuông, vòng và các thiết kế khác, với độ dày từ 3 mm đến 10 mm. Tùy chỉnh này đảm bảo rằng các mucks chân không gốm alumina của chúng tôi đáp ứng các nhu cầu cụ thể của các quy trình sản xuất bán dẫn khác nhau và chắc chắn là lựa chọn lý tưởng của bạn.

Bán dẫn Vetek cam kết cung cấp các giải pháp sản phẩm và công nghệ tiên tiến cho ngành công nghiệp bán dẫn và chúng tôi chân thành hy vọng sẽ trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc.

CácCông thức hóa học củagốm sứ alumina：

Nó bán dẫnAlumina Geramic Bacuum Chuck Shops: