Wafer xử lý cánh tay robot

Bán dẫn Vetek rất chuyên nghiệp trong việc xử lý cánh tay robot được sản xuất bởi công nghệ phun nhiệt.

1. Công nghệ phun nhiệt có thể cải thiện hiệu quả khả năng chống mài mòn của cánh tay robot. Cánh tay robot xử lý wafer thường xuyên tiếp xúc với các tấm wafer và các thiết bị khác trong quá trình hoạt động. Sự tiếp xúc và chuyển động tần số cao này có thể dễ dàng gây ra sự hao mòn của các bộ phận cơ học. Bằng cách phun vật liệu chống mài mòn lên bề mặt cánh tay robot, sự hao mòn của các bộ phận có thể giảm đáng kể, tuổi thọ của cánh tay robot có thể được mở rộng và chi phí bảo trì có thể giảm.

2. Việc cải thiện khả năng chống ăn mòn cũng là một lợi thế đáng kể của công nghệ phun nhiệt. Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, cánh tay robot cần phải hoạt động trong một môi trường đầy khí ăn mòn và thuốc thử hóa học. Những hóa chất này có thể ăn mòn cánh tay robot, ảnh hưởng đến hiệu suất và độ chính xác của nó. Công nghệ phun nhiệt có thể tạo thành một lớp phủ chống ăn mòn dày đặc trên bề mặt của cánh tay robot, ngăn chặn hiệu quả sự xâm lấn của các chất ăn mòn, do đó đảm bảo hoạt động ổn định của cánh tay robot trong môi trường khắc nghiệt.

3. Công nghệ phun nhiệt độ cũng có thể tăng cường độ ổn định nhiệt của cánh tay robot. Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, một số quy trình sẽ tạo ra nhiệt độ cao và cánh tay robot phải duy trì hoạt động chính xác trong môi trường nhiệt độ cao. Công nghệ phun nhiệt đảm bảo rằng cánh tay robot không biến dạng hoặc xuống cấp ở nhiệt độ cao bằng cách phủ bề mặt của cánh tay robot với các vật liệu có độ ổn định nhiệt độ cao, do đó cải thiện độ tin cậy và độ chính xác của dây chuyền sản xuất tổng thể.

4. Ứng dụng của lớp phủ chống tĩnh điện giúp cải thiện hơn nữa hiệu suất của cánh tay robot. Wafer rất nhạy cảm với tĩnh điện, và sự tích tụ của tĩnh điện có thể gây ô nhiễm bề mặt wafer hoặc thiệt hại cho các thiết bị điện tử. Thông qua công nghệ phun nhiệt, một lớp phủ chống tĩnh điện có thể được hình thành trên bề mặt của cánh tay robot, giúp giảm hiệu quả việc tạo ra tĩnh điện, bảo vệ wafer khỏi thiệt hại bằng điện tĩnh và đảm bảo chất lượng và an toàn của sản phẩm.

5. Công nghệ phun nhiệt cũng có thể làm giảm ô nhiễm hạt của cánh tay robot trong quá trình vận hành. Trong sản xuất chất bán dẫn, bất kỳ sự nhiễm bẩn hạt nhỏ nào cũng có thể ảnh hưởng đến chất lượng của tấm bán dẫn. Bằng cách sử dụng công nghệ phun nhiệt, có thể hình thành một lớp phủ mịn và dày đặc trên bề mặt cánh tay robot, giảm sự bong tróc của các hạt, duy trì sự sạch sẽ của môi trường sản xuất và do đó cải thiện năng suất của sản phẩm.