Vòi phun gốm bán dẫn

Đầu phun gốm bán dẫn đóng một vai trò quan trọng trongQuá trình HDP-CVD, được sử dụng để kiểm soát chính xác lưu lượng khí và đảm bảolắng đọng phim chất lượng cao. Xịt phun gốm được thiết kế chính xác để đảm bảo tốc độ dòng khí nhất quán và có thể kiểm soát được, giảm thiểu nhiễu loạn có thể khi khí vào buồng phản ứng.

Thông số kỹ thuật:

1. Thành phần vật liệu:

Vòi phun cát gốm bán dẫn VeTeK thường được làm bằng gốm bán dẫn như nhôm oxit (Al2O3),Carbide silicon (sic), hoặc oxit zirconium (ZRO2), những vật liệu này có đặc tính tuyệt vời:

    • Độ ổn định nhiệt cao (có thể chịu được nhiệt độ trên 1000)

    • Khả năng chống ăn mòn bằng các khí phản ứng được sử dụng trongQuy trình CVD(chẳng hạn như silane, amoniac)

    • khả năng chống tiếp xúc với huyết tương liên tục.

2. Thiết kế kết cấu:

    • Kích thước lỗ: Lỗ của vòi gốm bán dẫn được thiết kế khoa học để cho phép kiểm soát chính xác dòng khí, từ đó ảnh hưởng đến tính đồng nhất và độ dày của màng.

    • Các góc và hình dạng: Được thiết kế chính xác để đảm bảo phân phối khí đồng đều trên bề mặt, giảm thiểu các khuyết tật trên lớp lắng đọng.

Trong ngành công nghiệp bán dẫn, vòi phun gốm bán dẫn đóng vai trò chính chủ yếu trong quá trình HDP-CVD. Chúng cũng được sử dụng để gửi các màng mỏng để sản xuất vi điện tử, đảm bảo lớp phủ bề mặt chất lượng cao là đồng nhất và không có chất gây ô nhiễm.

Cửa hàng đầu phun gốm bán dẫn VeTeK: