Những gì ứng dụng cụ thể của các bộ phận phủ TAC trong trường bán dẫn?

Tính chất vật lý của lớp phủ cacbua tantalum (TAC)

Ứng dụng lớp phủ cacbua tantalum (TAC) trong trường bán dẫn

1. Các thành phần lò phản ứng tăng trưởng epiticular

Lớp phủ TAC được sử dụng rộng rãi trong các thành phần lò phản ứng lắng đọng hơi hóa học (CVD) của gallium nitride (GaN) epiticular và silicon cacbua (sic)Người vận chuyển wafer, đĩa vệ tinh, vòi phun và cảm biến. Các thành phần này đòi hỏi độ bền và độ ổn định cực kỳ cao trong môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn. Lớp phủ TAC có thể mở rộng hiệu quả tuổi thọ dịch vụ của họ và cải thiện năng suất.

2. Thành phần tăng trưởng tinh thể đơn

Trong quá trình tăng trưởng tinh thể đơn của các vật liệu như SIC, GaN và nhôm nitride (AIN),Lớp phủ TACđược áp dụng cho các thành phần chính như cricbles, giá đỡ tinh thể hạt, vòng hướng dẫn và bộ lọc. Vật liệu than chì với lớp phủ TAC có thể làm giảm di chuyển tạp chất, cải thiện chất lượng tinh thể và giảm mật độ khiếm khuyết.

3. Các thành phần công nghiệp nhiệt độ cao

Lớp phủ TAC có thể được sử dụng trong các ứng dụng công nghiệp nhiệt độ cao như các yếu tố gia nhiệt điện trở, vòi phun, vòng che chắn và đồ đạc hàn. Các thành phần này cần duy trì hiệu suất tốt trong môi trường nhiệt độ cao, và khả năng chống ăn mòn và chống ăn mòn của TAC làm cho nó trở thành một lựa chọn lý tưởng.

4. Máy sưởi trong hệ thống MOCVD

Máy sưởi than chì được phủ TAC đã được giới thiệu thành công trong các hệ thống lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD). So với máy sưởi được phủ PBN truyền thống, máy sưởi TAC có thể cung cấp hiệu quả và tính đồng nhất tốt hơn, giảm mức tiêu thụ năng lượng và giảm độ phát xạ bề mặt, do đó cải thiện tính toàn vẹn.

5. Người mang wafer

Các nhà mạng wafer được phủ TAC đóng một vai trò quan trọng trong việc chuẩn bị các vật liệu bán dẫn thế hệ thứ ba như SIC, AIN và GAN. Các nghiên cứu đã chỉ ra rằng tốc độ ăn mòn củaLớp phủ TACtrong môi trường amoniac và hydro nhiệt độ cao thấp hơn nhiều so vớiLớp phủ sic, làm cho nó cho thấy sự ổn định và độ bền tốt hơn trong việc sử dụng lâu dài.