Bộ phận thu EPI

Thông tin chung về sản phẩm

Điều kiện kinh doanh sản phẩm

✔ Ứng dụng: Để đạt được hiệu suất và năng suất cao nhất trong các quy trình epiticular SiC, Chất nhạy cảm Veteksemiaon EPI mang đến sự ổn định và đồng nhất nhiệt tuyệt vời, trở thành hỗ trợ chính để cải thiện hiệu suất của các thiết bị nguồn và RF cũng như giảm chi phí tổng thể.

✔ Dịch vụ có thể được cung cấp: phân tích kịch bản ứng dụng của khách hàng, vật liệu phù hợp, giải quyết vấn đề kỹ thuật. 

✔ Hồ sơ công ty：Veteksemicon có 2 phòng thí nghiệm, đội ngũ chuyên gia có 20 năm kinh nghiệm về vật liệu, có năng lực R&D và sản xuất, thử nghiệm và xác minh.

Ưu điểm cốt lõi của Nhà thầu Veteksemian EPI

1. Đảm bảo tính đồng nhất cao nhất

Trong các quy trình epiticular silicon cacbua, ngay cả những dao động độ dày ở mức micron và sự không đồng nhất doping cũng ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất và năng suất của thiết bị cuối cùng. Veteksemiaon EPI Susceptor đạt được sự phân bổ trường nhiệt tối ưu trong buồng phản ứng thông qua thiết kế cấu trúc và mô phỏng nhiệt động chính xác. Việc chúng tôi lựa chọn chất nền dẫn nhiệt cao, kết hợp với quy trình xử lý bề mặt độc đáo, đảm bảo rằng chênh lệch nhiệt độ tại bất kỳ điểm nào trên bề mặt tấm bán dẫn được kiểm soát trong phạm vi cực nhỏ ngay cả trong môi trường quay tốc độ cao và nhiệt độ cao. Giá trị trực tiếp mà điều này mang lại là lớp epiticular hàng loạt, có khả năng tái sản xuất cao với độ đồng nhất tuyệt vời, đặt nền tảng vững chắc để sản xuất chip điện có hiệu suất cao, độ ổn định cao.

2. Chống lại thách thức của nhiệt độ cao

Các quy trình epiticular SiC thường yêu cầu hoạt động kéo dài ở nhiệt độ vượt quá 1500°C, đặt ra thách thức nghiêm trọng đối với bất kỳ vật liệu nào. Veteksemiaon Susceptor sử dụng than chì được ép đẳng tĩnh được xử lý đặc biệt, có độ bền uốn ở nhiệt độ cao và khả năng chống rão vượt xa than chì thông thường. Ngay cả sau hàng trăm giờ luân nhiệt ở nhiệt độ cao liên tục, sản phẩm của chúng tôi vẫn duy trì hình dạng và độ bền cơ học ban đầu, ngăn ngừa hiệu quả hiện tượng cong vênh, trượt hoặc rủi ro ô nhiễm khoang xử lý do biến dạng khay, đảm bảo cơ bản tính liên tục và an toàn của các hoạt động sản xuất.

3. Tối đa hóa độ ổn định của quy trình

Sự gián đoạn sản xuất và bảo trì ngoài kế hoạch là những nguyên nhân chính gây tốn kém trong sản xuất tấm bán dẫn. Veteksemiaon coi tính ổn định của quy trình là thước đo cốt lõi của Susceptor. Lớp phủ CVD SiC được cấp bằng sáng chế của chúng tôi dày đặc, không xốp và có bề mặt nhẵn như gương. Điều này không chỉ làm giảm đáng kể sự bong tróc hạt dưới luồng không khí nhiệt độ cao mà còn làm chậm đáng kể độ bám dính của các sản phẩm phụ phản ứng (chẳng hạn như SiC đa tinh thể) với bề mặt khay. Điều này có nghĩa là buồng phản ứng của bạn có thể được giữ sạch trong thời gian dài hơn, kéo dài khoảng thời gian giữa vệ sinh và bảo trì thường xuyên, từ đó cải thiện hiệu suất và năng suất tổng thể của thiết bị.

4. Kéo dài tuổi thọ

Là một thành phần tiêu hao, tần suất thay thế các bộ phận nhạy cảm ảnh hưởng trực tiếp đến chi phí vận hành sản xuất. Veteksemicon kéo dài tuổi thọ sản phẩm thông qua phương pháp công nghệ kép: "tối ưu hóa bề mặt" và "tăng cường lớp phủ". Chất nền than chì có mật độ cao, độ xốp thấp làm chậm hiệu quả sự xâm nhập và ăn mòn của chất nền bằng khí xử lý; đồng thời, lớp phủ SiC dày và đồng nhất của chúng tôi hoạt động như một rào cản chắc chắn, ngăn chặn đáng kể sự thăng hoa ở nhiệt độ cao. Thử nghiệm trong thế giới thực cho thấy rằng, trong cùng điều kiện quy trình, các bộ phận nhạy cảm với Veteksemiaon có tốc độ suy giảm hiệu suất chậm hơn và tuổi thọ sử dụng hiệu quả dài hơn, dẫn đến chi phí vận hành trên mỗi tấm wafer thấp hơn.

5. Chứng thực xác minh chuỗi sinh thái

Quá trình xác minh chuỗi sinh thái của Veteksemiaon EPI Susceptor Part bao gồm nguyên liệu thô cho sản xuất, đã đạt chứng nhận tiêu chuẩn quốc tế và có một số công nghệ được cấp bằng sáng chế để đảm bảo độ tin cậy và tính bền vững của nó trong lĩnh vực bán dẫn và năng lượng mới.

Để biết thông số kỹ thuật chi tiết, sách trắng hoặc sắp xếp thử nghiệm mẫu, vui lòng liên hệ với Nhóm hỗ trợ kỹ thuật của chúng tôi để khám phá cách Veteksemian có thể nâng cao hiệu quả quy trình của bạn.

Các lĩnh vực ứng dụng chính

Kho sản phẩm Veteksemiaon