Các sản phẩm
Sic phủ than chì than chì cho EPI
  • Sic phủ than chì than chì cho EPISic phủ than chì than chì cho EPI
  • Sic phủ than chì than chì cho EPISic phủ than chì than chì cho EPI
  • Sic phủ than chì than chì cho EPISic phủ than chì than chì cho EPI

Sic phủ than chì than chì cho EPI

Đế gia nhiệt wafer epiticular loại thùng là một sản phẩm có công nghệ xử lý phức tạp, rất khó khăn đối với thiết bị và khả năng gia công. Chất bán dẫn Vetek có thiết bị tiên tiến và kinh nghiệm phong phú trong việc xử lý chất nhạy cảm thùng than chì được phủ SiC cho EPI, có thể cung cấp giống như tuổi thọ ban đầu của nhà máy, thùng epiticular hiệu quả hơn về mặt chi phí. Nếu bạn quan tâm đến dữ liệu của chúng tôi, vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Chất bán dẫn VeTeklà nhà sản xuất và nhà cung cấp Trung Quốc, chủ yếu sản xuất chất nhạy cảm thùng than chì phủ SiC cho EPI với nhiều năm kinh nghiệm. Hy vọng sẽ xây dựng mối quan hệ kinh doanh với bạn.EPI (Epitaxy)là một quá trình quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn tiên tiến. Nó liên quan đến việc lắng đọng các lớp vật liệu mỏng trên đế để tạo ra các cấu trúc thiết bị phức tạp. Chất nhạy cảm thùng than chì được phủ SiC cho EPI thường được sử dụng làm chất nhạy cảm trong lò phản ứng EPI do tính dẫn nhiệt tuyệt vời và khả năng chịu nhiệt độ cao. VớiLớp phủ CVD-SiC, nó trở nên chống lại ô nhiễm, xói mòn và sốc nhiệt. Điều này dẫn đến một tuổi thọ dài hơn cho sự nhạy cảm và chất lượng phim được cải thiện.


Ưu điểm của Chất nhạy cảm thùng than chì phủ SiC của chúng tôi:


Giảm ô nhiễm: Bản chất trơ của SIC ngăn không cho các tạp chất tuân thủ bề mặt nhạy cảm, làm giảm nguy cơ ô nhiễm các màng bị lắng đọng.

Tăng khả năng chống xói mòn: SiC có khả năng chống xói mòn cao hơn đáng kể so với than chì thông thường, mang lại tuổi thọ dài hơn cho chất cảm ứng.

Cải thiện độ ổn định nhiệt: SIC có độ dẫn nhiệt tuyệt vời và có thể chịu được nhiệt độ cao mà không bị biến dạng đáng kể.

Chất lượng phim nâng cao: Độ ổn định nhiệt được cải thiện và giảm ô nhiễm dẫn đến màng lắng đọng chất lượng cao hơn với độ đồng đều và kiểm soát độ dày được cải thiện.


Ứng dụng:

Chất nhạy cảm thùng than chì được phủ SiC được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng EPI khác nhau, bao gồm:

✔ Đèn LED dựa trên GaN

✔ Điện tử công suất

Thiết bị quang điện tử

Transitor tần số cao

Cảm biến

Thông số sản phẩm của Chất nhạy cảm thùng than chì phủ SiC

Tính chất vật lý củathan chì đẳng tĩnh
Tài sản Đơn vị Giá trị điển hình
Mật độ lớn g/cm³ 1.83
độ cứng HSD 58
Điện trở suất μΩ.m 10
Sức mạnh uốn MPA 47
Cường độ nén MPA 103
Độ bền kéo MPA 31
Mô đun của trẻ GPa 11.8
Mở rộng nhiệt (CTE) 10-6K-1 4.6
Độ dẫn nhiệt W·m-1· K-1 130
Kích thước hạt trung bình mm 8-10
Độ xốp % 10
Nội dung tro trang/phút 10 (sau khi được thanh lọc)

        Lưu ý: Trước khi phủ, chúng tôi sẽ thực hiện quá trình tinh chế lần đầu, sau khi phủ, sẽ thực hiện quá trình tinh chế lần thứ hai.

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD sic

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC
Tài sản Giá trị điển hình
Cấu trúc tinh thể FCC polycrystalline pha, chủ yếu (111) định hướng
Mật độ lớp phủ SiC 3,21 g/cm³
Độ cứng lớp phủ CVD sic Độ cứng 2500 Vickers (tải 500g)
kích thước hạt 2 ~ 10 mm
Độ tinh khiết hóa học 99,9995%
Công suất nhiệt 640 J · kg-1· K-1
Nhiệt độ thăng hoa 2700
Sức mạnh uốn 415 MPa RT 4 điểm
Mô-đun của Young 430 GPA 4pt uốn cong, 1300 ℃
Độ dẫn nhiệt 300W · m-1· K-1
Mở rộng nhiệt (CTE) 4,5×10-6K-1

Chất bán dẫn VeTekChất nhạy cảm thùng than chì được phủ SiC cho EPICửa hàng sản xuất

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI products shops

Thẻ nóng: Sic phủ than chì than chì cho EPI
Gửi yêu cầu
Thông tin liên lạc
  • Địa chỉ

    Đường Wangda, đường Ziyang, Hạt Wuyi, Thành phố Jinhua, Tỉnh Chiết Giang, Trung Quốc

  • điện thoại/

    +86-18069220752

Nếu có thắc mắc về Lớp phủ silicon cacbua, Lớp phủ cacbua Tantalum, Than chì đặc biệt hoặc bảng giá, vui lòng để lại email của bạn cho chúng tôi và chúng tôi sẽ liên hệ trong vòng 24 giờ.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept