Sic peramic mucks xốp

Các mucks gốm sic xốp được cung cấp bởi veteksemia được làm từ cacbua silicon xốp có độ tinh khiết cao (SIC), chick gốm này đảm bảo lưu lượng khí đồng đều, độ phẳng tuyệt vời và độ ổn định nhiệt trong điều kiện nhiệt độ và chân không cao. Đó là lý tưởng cho các hệ thống kẹp chân không, trong đó xử lý wafer không tiếp xúc, không có hạt là rất quan trọng.

. Thuộc tính vật liệu chính và lợi ích hiệu suất

1. Độ dẫn nhiệt tuyệt vời & điện trở nhiệt độ

Carbide silicon cung cấp độ dẫn nhiệt cao (120 Hàng200 W/m · k) và có thể chịu được nhiệt độ hoạt động trên 1600 ° C, làm cho mâm cặp trở nên lý tưởng cho việc khắc plasma, xử lý chùm tia ion và các quá trình lắng đọng nhiệt độ cao.

Vai trò: Đảm bảo tản nhiệt đồng đều, giảm độ cong vênh wafer và cải thiện tính đồng nhất của quá trình.

2. Sức mạnh cơ học và khả năng chống mài mòn vượt trội

Cấu trúc vi mô dày đặc của SIC mang lại độ cứng đặc biệt của Chuck (> 2000 HV) và độ bền cơ học, cần thiết cho các chu kỳ tải/dỡ hàng lặp lại và môi trường xử lý khắc nghiệt.

Vai trò: Kéo dài tuổi thọ của Chuck trong khi duy trì sự ổn định và độ chính xác bề mặt.

3. Độ xốp được kiểm soát để phân phối chân không đồng nhất

Cấu trúc xốp được điều chỉnh tinh xảo của gốm cho phép hút chân không nhất quán trên bề mặt wafer, đảm bảo vị trí wafer an toàn với ô nhiễm hạt tối thiểu.

Vai trò: Tăng cường khả năng tương thích phòng sạch và đảm bảo xử lý wafer không có thiệt hại.

4. Kháng hóa chất tuyệt vời

Sự trơ của SIC đối với khí ăn mòn và môi trường plasma bảo vệ mâm cặp khỏi sự suy giảm trong quá trình khắc ion phản ứng hoặc làm sạch hóa học.

Vai trò: Giảm thiểu thời gian chết và tần suất làm sạch, giảm chi phí hoạt động.

. Dịch vụ hỗ trợ và tùy biến của Vetekemon

Tại Veteksemonon, chúng tôi cung cấp đầy đủ các dịch vụ phù hợp để đáp ứng nhu cầu chính xác của các nhà sản xuất chất bán dẫn:

● Thiết kế kích thước hình học & lỗ chân lông tùy chỉnh: Chúng tôi cung cấp Chucks ở nhiều kích cỡ, độ dày và mật độ lỗ rỗng được tùy chỉnh theo thông số kỹ thuật thiết bị và yêu cầu chân không của bạn.

● Tạo mẫu quay vòng nhanh: Thời gian dẫn ngắn và hỗ trợ sản xuất MOQ thấp cho các dòng R & D và thí điểm.

● Dịch vụ sau bán hàng đáng tin cậy: Từ hướng dẫn cài đặt đến giám sát vòng đời, chúng tôi đảm bảo sự ổn định hiệu suất dài hạn và hỗ trợ kỹ thuật.

. Ứng dụng

● Thiết bị xử lý khắc và plasma

● Phòng cấy và ủ ion

● Hệ thống đánh bóng cơ học hóa học (CMP)

● Các nền tảng kiểm tra và đo lường

● Hệ thống giữ chân không và kẹp trong môi trường phòng sạch

Cửa hàng sản phẩm Vekekemeicon: