Cacbua tantalum (TAC) là gì？

Cacbua tantalum (TAC)là một hợp chất nhị phân của tantalum (TA) và carbon (C), với công thức hóa học thường được biểu thị dưới dạng TACₓ (trong đó x dao động từ 0,4 đến 1). Nó được phân loại là một vật liệu gốm chịu lửa với độ cứng tuyệt vời, độ ổn định nhiệt độ cao và độ dẫn kim loại.

1. Cấu trúc của cacbua tantalum

1.1 Thành phần hóa học và cấu trúc tinh thể

Carbide tantalum là một hợp chất gốm nhị phân bao gồm tantalum (TA) và carbon (C).

Cấu trúc tinh thể của nó là khối tập trung vào mặt (FCC), mang lại cho nó độ cứng và độ ổn định tuyệt vời.

1.2 Tính chất liên kết

Liên kết cộng hóa trị mạnh làm cho cacbua tantalum cực kỳ khó khăn và chống biến dạng.

TAC có hệ số khuếch tán cực thấp và vẫn ổn định ngay cả ở nhiệt độ cao.

Lớp phủ cacbua tantalum (TAC) trên mặt cắt bằng kính hiển vi

2. Tính chất vật lý của cacbua tantalum

2.1 Điểm nóng chảy cực cao

Với điểm nóng chảy 3,880 ° C, cacbua tantalum có một trong những điểm nóng chảy cao nhất của bất kỳ vật liệu nào đã biết, dẫn đến sự ổn định tuyệt vời ở nhiệt độ cực cao.

2.2 Độ cứng tuyệt vời

Với độ cứng MoHS khoảng 9-10, nó gần với kim cương và do đó được sử dụng rộng rãi trong các lớp phủ chống mài mòn.

2.3 Độ dẫn điện tốt

Không giống như hầu hết các vật liệu gốm, TAC có độ dẫn điện giống như kim loại cao, khiến nó có giá trị cho các ứng dụng trong một số thiết bị điện tử nhất định.

2.4 Đang ăn mòn và oxy hóa

TAC cực kỳ chống ăn mòn axit và duy trì tính toàn vẹn cấu trúc của nó trong môi trường khắc nghiệt trong thời gian dài.

Tuy nhiên, TAC có thể oxy hóa thành pentoxide tantalum (TA₂O₅) trong không khí trên 1.500 ° C. 

3. Các sản phẩm cacbua tantalum thành phẩm phổ biến

3.1 Các bộ phận phủ cacbua tantalum

● CVD Tantalum cacbua phủ: Được sử dụng trong epitaxy bán dẫn và xử lý nhiệt độ cao.

● Các bộ phận than chì phủ cacbua tantalum: Được sử dụng trong lò nhiệt độ cao và buồng xử lý wafer. Các ví dụ bao gồm than chì xốp bọc cacbua tantalum, giúp cải thiện đáng kể hiệu quả quá trình và chất lượng tinh thể bằng cách tối ưu hóa dòng khí trong quá trình tăng trưởng tinh thể SIC, giảm căng thẳng nhiệt, cải thiện tính đồng nhất nhiệt, tăng cường kháng ăn mòn và ức chế khuếch tán tạp chất.

● Tấm xoay phủ cacbua tantalum: Tấm quay phủ TAC của Vetekemon có thành phần có độ tinh khiết cao với hàm lượng tạp chất dưới 5PPM và cấu trúc dày đặc và đồng nhất, được sử dụng rộng rãi trong hệ thống LPE EPI, hệ thống AIXTRON, hệ thống NUFLARE, Hệ thống TEL CVD, Hệ thống VEECO, Hệ thống TSI. hệ thống, hệ thống TSI.

● Máy sưởi phủ TAC: Sự kết hợp của điểm nóng chảy cực cao của lớp phủ TAC (~ 3880 ° C) cho phép nó hoạt động ở nhiệt độ rất cao, đặc biệt là trong sự phát triển của các lớp epiticular của gallium nitride (GAN) trong quá trình lắng đọng hóa chất hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD).

● Tantalum cacbua tráng: CVD TAC được phủ các hình chữ nhật thường đóng vai trò chính trong sự phát triển của các tinh thể đơn sic của Pvt.

3.2 Công cụ cắt và các bộ phận chống hao mòn

● Các dụng cụ cắt cacbua phủ cacbua tantalum: Cải thiện cuộc sống công cụ và độ chính xác gia công.

● Vòi phun hàng không vũ trụ và tấm chắn nhiệt: Cung cấp bảo vệ trong nhiệt độ cực cao và môi trường ăn mòn.

3.3 Sản phẩm gốm cao hiệu suất cao của cacbua

● Hệ thống bảo vệ nhiệt tàu vũ trụ (TPS): Đối với tàu vũ trụ và xe siêu âm.

● Lớp phủ nhiên liệu hạt nhân: Bảo vệ viên nhiên liệu hạt nhân khỏi ăn mòn.

4. Các ứng dụng cacbua tantalum trong sản xuất chất bán dẫn

4.1 Các chất mang phủ cacbua tantalum (Masceptor) cho các quá trình epiticular

Vai trò: Lớp phủ cacbua tantalum được áp dụng cho các chất mang than chì cải thiện tính đồng nhất nhiệt và độ ổn định hóa học trong lắng đọng hơi hóa học (CVD) và các quá trình lắng đọng hóa học hóa học kim loại (MOCVD).

Lợi thế: Giảm ô nhiễm quá trình và tuổi thọ của tàu sân bay kéo dài.

4.2 Các thành phần khắc và lắng đọng

Vòng chuyển Wafer và khiên: Lớp phủ cacbua tantalum giúp cải thiện độ bền của buồng khắc huyết tương.

Lợi thế: Chịu được môi trường khắc tích cực và làm giảm lượng mưa gây ô nhiễm.

4.3 Các yếu tố gia nhiệt nhiệt độ cao

Ứng dụng trong SIC CVD Tăng trưởng: Các yếu tố gia nhiệt phủ cacbua tantalum cải thiện tính ổn định và hiệu quả của quy trình chế tạo wafer silicon cacbua (SIC).

4.4 Lớp phủ bảo vệ cho thiết bị sản xuất chất bán dẫn

Tại sao bạn cần lớp phủ TAC?  Sản xuất bán dẫn liên quan đến nhiệt độ khắc nghiệt và khí ăn mòn, và lớp phủ cacbua tantalum có hiệu quả trong việc cải thiện sự ổn định và tuổi thọ của thiết bị.

5. Tại sao chọnBán kết?

Veteksemonon là nhà sản xuất và nhà cung cấp hàng đầu củaLớp phủ cacbua tantalumvật liệu cho ngành công nghiệp bán dẫn ở Trung Quốc. Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm các bộ phận phủ cacbua Tantalum CVD, các bộ phận phủ TAC thiêu kết cho sự phát triển tinh thể SIC hoặc các quá trình epitaxy bán dẫn. Veteksemonon cam kết trở thành một nhà đổi mới và lãnh đạo trong ngành công nghiệp lớp phủ cacbua tantalum thông qua việc lặp lại R & D và công nghệ liên tục.