Thuyền Cassette Silicon

Thuyền Cassette Silicon do Veteksemiaon cung cấp được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về nhiệt, cơ học và kiểm soát ô nhiễm trong chế tạo tấm bán dẫn hiện đại. Được sản xuất từ ​​​​đơn tinh thể hoặc polysilicon có độ tinh khiết cực cao và được xử lý theo tiêu chuẩn sạch hàng đầu trong ngành, Thuyền Cassette Silicon hoạt động như một hệ thống vận chuyển quan trọng cho các tấm bán dẫn trải qua quá trình oxy hóa, khuếch tán, ủ và các chu trình nhiệt dựa trên lò khác. Các đặc tính vật liệu nội tại của nó—độ trơ hóa học ở nhiệt độ cao, độ giãn nở nhiệt tương ứng với các tấm silicon và nồng độ tạp chất kim loại cực thấp—cho phép nó giảm thiểu việc tạo hạt và ứng suất nhiệt, đảm bảo tính đồng nhất và độ lặp lại cần thiết cho quá trình sản xuất tiểu micron và nút tiên tiến.

Trong các bệ lò thẳng đứng và nằm ngang, Thuyền Cassette Silicon cung cấp khoảng cách giữa các tấm wafer chính xác và hỗ trợ cơ học ổn định, cho phép truyền nhiệt ổn định và dòng khí đồng đều trong toàn bộ mẻ. Bằng cách loại bỏ các tương tác giữa các vật liệu thường liên quan đến chất mang thạch anh hoặc gốm, nó giúp bảo vệ bề mặt tấm bán dẫn khỏi bị nhiễm bẩn trong quá trình ngâm ở nhiệt độ cao trong thời gian dài, ngay cả ở nhiệt độ lên tới 1200°C. Sự liên kết vật liệu giữa chất mang và chất nền này cũng làm giảm các đường trượt, vết nứt nhỏ và cong vênh, khiến thuyền đặc biệt thuận lợi cho các ứng dụng như tăng trưởng oxit dày, khuếch tán truyền động, ủ cấy ghép ở nhiệt độ cao và xử lý epiticular thiết bị điện.

Được thiết kế để tích hợp liền mạch với các hệ thống tải tự động, mô-đun chuyển FOUP sang lò và xử lý tấm bán dẫn bằng rô-bốt, Thuyền Cassette Silicon của Veteksemiaon hỗ trợ cả môi trường sản xuất 200 mm và 300 mm và tuân thủ các thông số kỹ thuật OEM của lò nung hàng đầu. Độ chính xác kích thước cao, hình học khe được tối ưu hóa và quá trình hoàn thiện bề mặt tiên tiến góp phần mang lại độ đồng đều nhiệt vượt trội, giảm sai sót và kéo dài tuổi thọ vận hành—các yếu tố trực tiếp nâng cao năng suất quy trình và thời gian hoạt động của thiết bị.

Được hỗ trợ bởi chuyên môn khoa học vật liệu của Veteksemian và quản lý chất lượng nghiêm ngặt, Thuyền Cassette Silicon mang lại hiệu suất ổn định trong nhiều chu kỳ nhiệt, lượng hạt thải ra thấp và hoạt động có thể dự đoán được trong các môi trường đòi hỏi nhiệt độ cao như O₂, H₂, N₂ hoặc hỗn hợp khí trơ. Đối với các nhà máy yêu cầu tăng cường kiểm soát ô nhiễm, cấu hình nhiệt có thể dự đoán được và khả năng tương thích với quá trình sản xuất thiết bị thế hệ tiếp theo, Thuyền Cassette Silicon tăng cường độ tin cậy của quy trình, cải thiện tính đồng nhất ở cấp độ tấm bán dẫn và cho phép sản xuất chất bán dẫn khối lượng lớn một cách nhất quán.