Lớp phủ CVD TAC

Lớp phủ CVD TAC (Lớp phủ Carbide Tantalum Carbide Tantalum) là một sản phẩm lớp phủ chủ yếu bao gồm cacbua tantalum (TAC). Lớp phủ TAC có độ cứng cực cao, khả năng chống mài mòn và khả năng chống nhiệt độ cao, làm cho nó trở thành một lựa chọn lý tưởng để bảo vệ các thành phần thiết bị chính và cải thiện độ tin cậy của quá trình. Nó là một vật liệu không thể thiếu trong xử lý chất bán dẫn.

Các sản phẩm Lớp phủ CVD TaC thường được sử dụng trong buồng phản ứng, chất mang bán dẫn và thiết bị khắc và đóng các vai trò quan trọng sau trong đó.

Lớp phủ CVD TAC thường được sử dụng cho các thành phần bên trong của các buồng phản ứng như chất nền, tấm tường và các yếu tố sưởi ấm. Kết hợp với điện trở nhiệt độ cao tuyệt vời, nó có thể chống lại sự xói mòn của nhiệt độ cao, khí ăn mòn và huyết tương, do đó kéo dài hiệu quả tuổi thọ của thiết bị và đảm bảo sự ổn định của quá trình và độ tinh khiết của sản xuất sản phẩm.

Ngoài ra, các chất mang wafer được phủ TaC (như thuyền thạch anh, đồ đạc cố định, v.v.) cũng có khả năng chịu nhiệt và chống ăn mòn hóa học tuyệt vời. Chất mang wafer có thể cung cấp sự hỗ trợ đáng tin cậy cho wafer ở nhiệt độ cao, ngăn ngừa ô nhiễm và biến dạng của wafer và do đó cải thiện hiệu suất chip tổng thể.

Hơn nữa, lớp phủ TAC của chất bán dẫn Vetek cũng được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị lắng đọng màng khắc và mỏng khác nhau, như khắc huyết tương, hệ thống lắng đọng hơi hóa học, v.v. , do đó đảm bảo tính chính xác và độ lặp lại của quá trình.

Dù yêu cầu cụ thể của bạn là gì, chúng tôi sẽ phù hợp với giải pháp tốt nhất cho nhu cầu lớp phủ CVD TAC của bạn và mong muốn được tư vấn của bạn bất cứ lúc nào.

Các cửa hàng sản phẩm lớp phủ CVD TAC của Vetek TAC:

Tổng quan về chuỗi công nghiệp epitaxy chip bán dẫn: