Tin tức

Thuyền than chì Pecvd là gì?

. Vật liệu của Thuyền Graphite Pecvd là gì?


Tài liệu cốt lõi củaPecvd Thuyền than chì(Tăng cường hóa chất trong huyết tương Thuyền than chì) được làm bằng độ tinh khiết caoVật liệu than chì đẳng hướng. Than chì tinh khiết cao được sử dụng rộng rãi trong các hệ thống PECVD do độ dẫn điện tuyệt vời và độ dẫn nhiệt cao (80 ~ 150 W/m · k). Cái nàyVật liệu than chì tinh khiết caoCó thể duy trì sự ổn định cấu trúc tốt và độ ổn định hóa học trong môi trường nhiệt độ cao, và có thể chống ăn mòn từ khí phản ứng và huyết tương.


. Các tính chất vật lý của Thuyền than chì là gì?


Các tính chất vật lý của thuyền than chì PECVD bao gồm:


● Độ dẫn điện: Chân than isostatic có độ dẫn điện tuyệt vời, cho phép nó quản lý hiệu quả năng lượng điện và thúc đẩy việc sản xuất và duy trì plasma trong quá trình PECVD.

●  Độ dẫn nhiệt: Độ dẫn nhiệt cao của than chì (khoảng 80 ~ 150 W/m · k) giúp duy trì môi trường nhiệt độ ổn định trong quá trình PECVD và đảm bảo lắng đọng đồng đều của màng mỏng.

●  Tỉ trọng: Mật độ của than chì đa tinh thể thương mại dao động từ 1,30 g/cm³ đến 1,88 g/cm³. Mật độ càng cao, các tính chất vật lý và cơ học càng tốt, có thể cải thiện tuổi thọ của sản phẩm.


. Những lợi thế của thuyền than chì PECVD so với Thuyền than chì thông thường là gì?


So với những chiếc thuyền than chì thông thường, những chiếc thuyền than chì PECVD có những lợi thế sau:


Kích thước
Pecvd Thuyền than chì
Thuyền than chì thông thường
Độ tinh khiết và mật độ
≥99,99%, độ xốp <5%
Độ tinh khiết thấp (95 ~ 99%), độ xốp cao (> 10%)
Trị giá
Chi phí ban đầu cao, nhưng chi phí bảo trì toàn diện thấp
Chi phí ban đầu thấp, nhưng thay thế thường xuyên tăng tổng chi phí
Kiểm soát ô nhiễm
Hàm lượng tạp chất <1ppm, tỷ lệ rụng hạt thấp
Các tạp chất kim loại cao, nguy cơ ô nhiễm hạt cao
Kháng ăn mòn
Bảo vệ lớp phủ chống ăn mòn huyết tương/hóa học
Dễ dàng bị ăn mòn bởi các khí phản ứng (như Cl₂, O₂)
Khả năng tương thích quy trình
Thích nghi với môi trường huyết tương có nhiệt độ thấp, nhiệt độ thấp
Chỉ thích hợp cho CVD nhiệt độ cao hoặc các quá trình khuếch tán
Tuổi thọ
> 1000 chu kỳ quá trình (Lớp phủ không thất bại)
Bột và nứt sau < 500 chu kỳ

. Tại sao chọn thuyền than chì PECVD của Vetkemon?


Như chúng ta đã biết, Veteksemonon là nhà sản xuất và nhà cung cấp các sản phẩm lớp bán dẫn vàsản phẩm than chìở Trung Quốc. Của chúng tôiThuyền than chì PECVDchủ yếu được sử dụng trong các ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện, đặc biệt là trong các quy trình PECVD và CVD.


Thuyền than chì thường được sử dụng làm người vận chuyển để mang theo tấm silicon hoặc các vật liệu khác để đảm bảo xử lý và vận chuyển an toàn các vật liệu này trong môi trường nhiệt độ cao và plasma. Ví dụ, trong quy trình sản xuất bán dẫn, các thuyền than chì PECVD của Vetksemonon được thiết kế cho các quá trình lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma. Thuyền than chì đóng vai trò lắng đọng các lớp thụ động silicon nitride (SINₓ) và các màng hằng số điện môi thấp (thấp K).


Trong trường quang điện, các thuyền than chì PECVD được sử dụng để chuẩn bị pin mặt trời màng mỏng dựa trên silicon (như silicon vô định hình a-si: h) và các lớp thụ động trở lại của tế bào perc. Thuyền than chì PECVD của Vetekemon tối ưu hóa quá trình phủ bằng cách định vị hiệu quả các tấm silicon và tạo ra sự phóng điện phát sáng để đạt được sự lắng đọng lớp phủ đồng đều.


Quan trọng hơn, Veteksemonon có thể cung cấp các sản phẩm và dịch vụ kỹ thuật tùy chỉnh, và có thể thiết kế và sản xuất các sản phẩm thuyền than chì theo các thông số kỹ thuật khác nhau theo yêu cầu quy trình thực tế của bạn. Chọn veteksemia có nghĩa là chọn một công ty hàng đầu trong ngành với sức mạnh mạnh mẽ trong các ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện. Chúng tôi chân thành mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn.


what is a PECVD graphite boat?

Tin tức liên quan
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept