Làm thế nào để chọn Khay than chì MOCVD?

Câu 1: Khay than chì MOCVD là gì và tại sao nó lại quan trọng như thế nào đối với quá trình epiticular?

Tấm than chì hơi hóa học hóa học kim loại (MOCVD), còn được gọi là khay than chì MOCVD hoặc moCVD Graphit, là một thành phần độ tinh khiết cao được sử dụng để sửa các wafer bán dẫn trong quá trình tăng trưởng epitic. Trong quá trình epiticular, nó hoạt động như một yếu tố sưởi ấm và đảm bảo phân bố nhiệt độ đồng đều, đóng vai trò không thể thay thế trong việc gửi màng mỏng trong các ứng dụng như các thiết bị bán dẫn tiên tiến, sản xuất LED và pin mặt trời.

Khay than chì có thể chịu được nhiệt độ khắc nghiệt (lên tới 1.800 ° C) và môi trường khí ăn mòn, làm cho nó trở thành một vật liệu không thể thiếu cho các hệ thống MOCVD nhiệt độ cao, chống ăn mòn. Hiệu suất của nó ảnh hưởng trực tiếp đến tính nhất quán của quá trình và năng suất wafer.

Câu 2: Thuộc tính vật liệu nào nên được ưu tiên khi chọn khay than chì MOCVD?

Chọn tấm than chì bên phải yêu cầu đánh giá tính chất vật lý và hóa học của nó:

● Độ tinh khiết cao (hơn 99,999%):

Thông thường, các tạp chất như kim loại hoặc tro có thể làm ô nhiễm quá trình epiticular. Chọn một nhà cung cấp độ nhạy cảm than chì tinh khiết cao như Vetksemonon đảm bảo các khiếm khuyết tối thiểu trong epilayer bán dẫn.

●  Ổn định nhiệt tuyệt vời:

Trong quá trình xử lý thực tế, các tấm than chì phải có khả năng chịu được một số cú sốc nhiệt nhất định và duy trì tính toàn vẹn cấu trúc trong các chu kỳ nhiệt độ nhanh. Veteksemonon Mật độ than chì mật độ cao đảm bảo phân bố nhiệt đồng đều, điều này rất quan trọng cho sự phát triển màng đồng đều.

●  Kháng ăn mòn tuyệt vời:

Trong môi trường quá trình MOCVD, than chì thường tiếp xúc với khí ăn mòn (ví dụ: amoniac, hydro). Các tấm than chì MOCVD chống ăn mòn nhiệt độ cao với cấu trúc hạt mịn giảm thiểu ăn mòn và kéo dài tuổi thọ dịch vụ.

●  Sức mạnh cơ học hiệu suất cao:

Trong quy trình epiticular, các khay than chì MOCVD phải hỗ trợ nhiều tấm wafer mà không bị cong vênh. Theo số liệu thống kê của Veteksemon trong xử lý thực tế, cường độ uốn của tấm than chì phải là ≥50 MPa để tránh nứt khay.

Câu 3: Kịch bản ứng dụng ảnh hưởng đến việc lựa chọn các khay than chì MOCVD như thế nào?

Các quy trình MOCVD khác nhau yêu cầu thiết kế tấm than chì phù hợp:

●  Tăng trưởng epiticular của LED/Photonics:

Các tấm than chì MOCVD siêu mịn được sử dụng trong quy trình epitaxy để giảm sự tạo ra hạt và đảm bảo các lớp không có khuyết tật.

Ví dụ, các tấm than chì MOCVD Veteksemonon (hoặc các tấm than chì Veteksemonon cho MOCVD) được thiết kế cho Epitaxy GaN và GaAs và cung cấp quản lý nhiệt được tối ưu hóa.

●  Sản xuất bán dẫn điện:

Kết hợp với số liệu thống kê thử nghiệm của chất bán dẫn Semikera, các tấm có khả năng chống oxy hóa tăng cường thường được ưa thích cho các quá trình silicon cacbua (SIC) hoặc gallium nitride (GAN).

●  Sản xuất thông lượng cao:

Các khay đa wafer yêu cầu xử lý chính xác để phù hợp với thiết kế lò phản ứng. Các khay than chì MOCVD có thể tùy chỉnh từ nhà cung cấp bán dẫn Semikera đáng tin cậy có thể phù hợp với cấu hình công cụ cụ thể.

Q4: Những cân nhắc chính để tìm nhà cung cấp tấm than chì MOCVD đáng tin cậy là gì?

●  Chứng nhận và Kiểm tra:

Xác minh rằng nhà cung cấp cung cấp chứng nhận vật liệu (ví dụ: báo cáo độ tinh khiết, kiểm tra mật độ) và cung cấp xử lý bề mặt sau xử lý (ví dụ: lớp phủ để giảm độ xốp). Là nhà sản xuất thiết bị bán dẫn và phương pháp bán dẫn hàng đầu của Trung Quốc, các tấm than chì Veteksemia MOCVD đã được các cơ quan chính phủ chứng nhận cho các thí nghiệm giới hạn nghiêm ngặt, và kết quả kiểm tra độ tinh khiết và mật độ của các sản phẩm của nó vượt xa các đồng nghiệp.

●  Khả năng tùy chỉnh:

Các nhà cung cấp cảm nhận than chì có độ tinh khiết cao hàng đầu nên tùy chỉnh kích thước, mẫu lỗ và lớp phủ để đáp ứng các yêu cầu của lò phản ứng của bạn. Cả Veteksemonon và Semikera SemicDuctor đều có khả năng dịch vụ tùy chỉnh của các sản phẩm và công nghệ liên quan và hoàn toàn có khả năng đáp ứng các nhu cầu tùy chỉnh khác nhau của bạn.

●  Tuổi thọ và hiệu quả chi phí:

Mặc dù than chì rẻ hơn có thể tiết kiệm chi phí trả trước, các tấm than chì kém hơn sẽ dẫn đến thay thế và thời gian chết thường xuyên, ảnh hưởng nghiêm trọng đến hiệu quả sản xuất bình thường. Chọn các tấm than chì Veteksemonon và các sản phẩm chất lượng khác sẽ cho phép doanh nghiệp của bạn đạt được sản xuất đáng tin cậy lâu dài.

Câu 5: Làm thế nào để mở rộng tuổi thọ dịch vụ của các khay than chì MOCVD?

●  Ngăn chặn quá trình oxy hóa: Sử dụng thanh lọc khí trơ trong chu kỳ sưởi/làm mát.

●  Làm sạch thường xuyên: Sử dụng các phương pháp không hấp thụ (như khắc khô) để loại bỏ dư lượng lắng đọng.

●  Tránh căng thẳng cơ học: Xử lý khay cẩn thận trong quá trình tải/dỡ tải.

Lời khuyên tốt nhất của Veteksemon cho bạn:

Đối với các tấm than chì MOCVD có khả năng chống ăn mòn nhiệt độ cao, ưu tiên cho các nhà cung cấp có chuyên môn về vật liệu cấp bán dẫn.

Các mẫu thử trong điều kiện quy trình thực tế để xác minh hiệu suất.

Khám phá các lớp phủ tiên tiến (như lớp phủ SIC, lớp phủ TAC) để tăng cường độ bền và độ tin cậy trong môi trường khắc nghiệt.

Để biết thêm thông tin về tấm Graphite MOCVD lớp phủ SIC, bấm vào đây.

Để biết thêm thông tin về tấm Graphite MOCVD lớp phủ TAC, bấm vào đây.