Các sản phẩm
CMP đánh bóng bùn
  • CMP đánh bóng bùnCMP đánh bóng bùn

CMP đánh bóng bùn

Sơn đánh bóng CMP (bùn đánh bóng cơ học hóa học) là một vật liệu hiệu suất cao được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn và xử lý vật liệu chính xác. Chức năng cốt lõi của nó là đạt được độ phẳng tốt và đánh bóng bề mặt vật liệu dưới tác dụng hiệp đồng của ăn mòn hóa học và mài cơ học để đáp ứng các yêu cầu về độ phẳng và chất lượng bề mặt ở cấp độ nano. Mong được tư vấn thêm của bạn.

Sơn đánh bóng CMP của Vetekemon chủ yếu được sử dụng như một chất mài mòn đánh bóng trong bùn đánh bóng cơ học hóa học CMP để phẳng vật liệu bán dẫn. Nó có những lợi thế sau:

Đường kính và liên kết hạt của các hạt có thể được kiểm soát tự do;
Các hạt được phân phối monodispersed và phân bố kích thước hạt là đồng nhất;
Hệ thống phân tán ổn định;
Thang đo sản xuất hàng loạt là lớn và sự khác biệt giữa các lô là nhỏ;
Nó không dễ dàng để ngưng tụ và giải quyết.


Các chỉ số hiệu suất cho các sản phẩm sê-ri độ tinh khiết cực cao

Tham số
Đơn vị
Các chỉ số hiệu suất cho các sản phẩm sê-ri độ tinh khiết cực cao

Giám mục
Giám mục2
Giám mục3
Giám mục4
Giám mục-5
Giám mục6
Giám mục7
Kích thước hạt silica trung bình
nm
35 ± 5
45 ± 5
65 ± 5
75 ± 5
85 ± 5
100 ± 5
120 ± 5
Phân phối kích thước hạt nano (PDI)
1 <0,15
<0,15
<0,15
<0,15
<0,15
<0,15
<0,15
Dung dịch pH
1 7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
Nội dung vững chắc
% 20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
Vẻ bề ngoài
-
Màu xanh nhạt
Màu xanh da trời
Trắng
Off-Trắng
Off-Trắng
Off-Trắng
Off-Trắng
Hình thái hạt x
X :
Ổn định các ion
Các amin hữu cơ / vô cơ
Thành phần nguyên liệu Y
Và : M-TMOS ; e-you
Nội dung tạp chất kim loại
300ppb


Ứng dụng sản phẩm bùn CMP


● Vật liệu ILD mạch tích hợp CMP

● Vật liệu Poly-Si mạch tích hợp CMP

● Vật liệu wafer silicon tinh thể bán dẫn CMP

● Vật liệu cacbua silicon bán dẫn CMP

● Vật liệu STI mạch tích hợp CMP

● Vật liệu lớp hàng rào kim loại và kim loại tích hợp CMP


Thẻ nóng: CMP đánh bóng bùn
Gửi yêu cầu
Thông tin liên lạc
  • Địa chỉ

    Đường Wangda, đường Ziyang, Hạt Wuyi, Thành phố Jinhua, Tỉnh Chiết Giang, Trung Quốc

  • điện thoại

    +86-18069220752

Nếu có thắc mắc về Lớp phủ silicon cacbua, Lớp phủ cacbua Tantalum, Than chì đặc biệt hoặc bảng giá, vui lòng để lại email của bạn cho chúng tôi và chúng tôi sẽ liên hệ trong vòng 24 giờ.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept