Quá trình oxy hóa và lò khuếch tán

Các lò oxy hóa và khuếch tán được sử dụng trong các trường khác nhau như thiết bị bán dẫn, thiết bị riêng biệt, thiết bị quang điện tử, thiết bị điện tử, pin mặt trời và sản xuất mạch tích hợp quy mô lớn. Chúng được sử dụng cho các quá trình bao gồm khuếch tán, oxy hóa, ủ, hợp kim và thiêu kết các tấm wafer.

Vetek S bán dẫn là nhà sản xuất hàng đầu chuyên sản xuất các thành phần than chì, silicon cacbua và thạch anh tinh khiết cao trong các lò oxy hóa và khuếch tán. Chúng tôi cam kết cung cấp các thành phần lò chất lượng cao cho các ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện, và đi đầu trong công nghệ phủ bề mặt, như CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon, v.v.

Những lợi thế của các thành phần silicon bán dẫn vetek:

● Điện trở nhiệt độ cao (lên đến 1600)

● Độ dẫn nhiệt tuyệt vời và độ ổn định nhiệt

● Khả năng chống ăn mòn hóa học tốt

● Hệ số giãn nở nhiệt thấp

● Sức mạnh và độ cứng cao

● Đời sống dịch vụ lâu dài

Trong các lò oxy hóa và khuếch tán, do sự hiện diện của nhiệt độ cao và khí ăn mòn, nhiều thành phần đòi hỏi phải sử dụng các vật liệu nhiệt độ cao và chống ăn mòn, trong đó silicon cacbua (SIC) là một lựa chọn thường được sử dụng. Sau đây là các thành phần cacbua silicon phổ biến được tìm thấy trong lò oxy hóa và lò khuếch tán:

● Thuyền wafer

Thuyền wafer silicon cacbua là một thùng chứa được sử dụng để mang theo các tấm silicon, có thể chịu được nhiệt độ cao và sẽ không phản ứng với các tấm silicon.

● Ống lò

Ống lò là thành phần cốt lõi của lò khuếch tán, được sử dụng để chứa các tấm silicon và kiểm soát môi trường phản ứng. Các ống lò cacbua silicon có hiệu suất chống ăn mòn và nhiệt độ cao tuyệt vời.

● Tấm vách ngăn

Được sử dụng để điều chỉnh luồng khí và phân phối nhiệt độ bên trong lò

● ống bảo vệ cặp nhiệt điện

Được sử dụng để bảo vệ nhiệt độ đo các cặp nhiệt điện khỏi tiếp xúc trực tiếp với khí ăn mòn.

● Cantilever Paddle

Các mái chèo đúc hẫng cacbua silicon có khả năng chống lại nhiệt độ cao và ăn mòn, và được sử dụng để vận chuyển thuyền silicon hoặc thuyền thạch anh mang bánh silicon vào các ống lò khuếch tán.

● kim phun khí

Được sử dụng để đưa khí phản ứng vào lò, nó cần phải có khả năng chống lại nhiệt độ cao và ăn mòn.

● tàu sân bay

Hãng vận chuyển thuyền wafer silicon cacbua được sử dụng để sửa chữa và hỗ trợ các tấm silicon, có những ưu điểm như sức mạnh cao, khả năng chống ăn mòn và ổn định cấu trúc tốt.

● Cửa lò

Lớp phủ hoặc linh kiện silicon cacbua cũng có thể được sử dụng ở bên trong cửa lò.

● Phần tử sưởi ấm

Các yếu tố gia nhiệt cacbua silicon phù hợp với nhiệt độ cao, công suất cao và có thể nhanh chóng tăng nhiệt độ lên hơn 1000.

● Lớp lót sic

Được sử dụng để bảo vệ thành bên trong của các ống lò, nó có thể giúp giảm sự mất năng lượng nhiệt và chịu được môi trường khắc nghiệt như nhiệt độ cao và áp suất cao.

View as

Ống xử lý SiC

Chất bán dẫn Vetek cung cấp các ống xử lý SIC hiệu suất cao để sản xuất chất bán dẫn. Các ống xử lý SIC của chúng tôi vượt trội trong quá trình oxy hóa, quá trình khuếch tán. Với chất lượng vượt trội và sự khéo léo, các ống này cung cấp độ ổn định nhiệt độ cao và độ dẫn nhiệt để xử lý chất bán dẫn hiệu quả. Chúng tôi cung cấp giá cả cạnh tranh và tìm cách trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Sic Cantilever Paddle

Mái chèo SiC Cantilever của VeTek Semiconductor được sử dụng trong các lò xử lý nhiệt để xử lý và hỗ trợ thuyền bán dẫn. Độ ổn định nhiệt độ cao và độ dẫn nhiệt cao của vật liệu SiC đảm bảo hiệu quả và độ tin cậy cao trong quá trình xử lý chất bán dẫn. Chúng tôi cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng cao với giá cả cạnh tranh và mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Thuyền wafer silicon cacbua cho lò ngang

Thuyền wafer SiC có yêu cầu cao về độ tinh khiết của vật liệu. Vetek Semiconductor cung cấp SiC độ tinh khiết >99,96% SiC kết tinh lại cho sản phẩm này. VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cung cấp chuyên nghiệp tại Trung Quốc về thuyền wafer silicon cacbua cho lò nung ngang, với nhiều năm kinh nghiệm về R&D và sản xuất, có thể kiểm soát chất lượng tốt và đưa ra một mức giá cạnh tranh. Bạn có thể yên tâm mua thuyền wafer silicon cacbua cho lò ngang từ chúng tôi.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Thuyền wafer silicon cacbua phủ SiC

Thuyền wafer silicon silicon phủ SIC được thiết kế với 165 khe để mang theo wafer.Vetek SemicDuctor là nhà sản xuất và nhà cung cấp chuyên nghiệp tại Trung Quốc cho SIC Silicon Carbide Wafer, với nhiều năm kinh nghiệm về R & D và sản xuất, có thể kiểm soát tốt chất lượng và cung cấp một khả năng cạnh tranh giá. Chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi và có cuộc thảo luận thêm về hợp tác.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Mái chèo hòn hạm cacbua silicon

Padilever Cantilever Cantilever của Vetek bán dẫn là một thành phần quan trọng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt phù hợp với lò khuếch tán hoặc lò LPCVD trong các quy trình nhiệt độ cao như khuếch tán và RTP. Mái chèo Cantilever silicon của chúng tôi được thiết kế và sản xuất cẩn thận với khả năng chống nhiệt độ cao và sức mạnh cơ học tuyệt vời, và có thể vận chuyển một cách an toàn và đáng tin cậy đến ống quy trình trong các điều kiện quá trình khắc nghiệt cho các quy trình nhiệt độ cao khác nhau như khuếch tán và RTP. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc. Hãy tự do hỏi chúng tôi.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Chất mang wafer silicon nguyên chất cao

Vetek S bán dẫn HIỂU TƯỢNG SILICON CARBIDE CAO CẤP LÀ những thành phần quan trọng trong xử lý chất bán dẫn, được thiết kế để giữ an toàn và vận chuyển các tấm silicon tinh tế, đóng vai trò chính trong tất cả các giai đoạn sản xuất. Hãng vận chuyển wafer silicon nguyên chất cao của Bán dẫn được thiết kế và sản xuất cẩn thận để đảm bảo hiệu suất và độ tin cậy tuyệt vời. Bán dẫn Vetek cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh và chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc. Hãy tự do hỏi chúng tôi.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Là một nhà sản xuất và nhà cung cấp chuyên nghiệp Quá trình oxy hóa và lò khuếch tán tại Trung Quốc, chúng tôi có nhà máy riêng của chúng tôi. Cho dù bạn cần các dịch vụ tùy chỉnh để đáp ứng các nhu cầu cụ thể của khu vực của bạn hoặc muốn mua nâng cao và bền Quá trình oxy hóa và lò khuếch tán được thực hiện tại Trung Quốc, bạn có thể để lại cho chúng tôi một tin nhắn.

Mã QR

Về chúng tôi

Các sản phẩm

Liên hệ chúng tôi

Điện thoại
+86-18069220752
Số fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Địa chỉ
Đường Wangda, đường Ziyang, Hạt Wuyi, Thành phố Jinhua, Tỉnh Chiết Giang, Trung Quốc

Trình đơn web

Tìm kiếm sản phẩm

Ngôn ngữ

Thoát khỏi menu

Quá trình oxy hóa và lò khuếch tán

Những lợi thế của các thành phần silicon bán dẫn vetek:

Ống xử lý SiC

Sic Cantilever Paddle

Thuyền wafer silicon cacbua cho lò ngang

Thuyền wafer silicon cacbua phủ SiC

Mái chèo hòn hạm cacbua silicon

Chất mang wafer silicon nguyên chất cao

Gửi yêu cầu

Mã QR

Về chúng tôi

Các sản phẩm

Liên hệ chúng tôi

Điện thoại

Số fax

E-mail

Địa chỉ